Was soll ich tun, wenn die EFU-Luftvolumenberechnung von Halbleitergeräten nicht den Anforderungen entspricht? Test-, Fehlerbehebungs- und Anpassungsmethoden

Die EFU-Luftvolumenberechnung von Halbleitergeräten entspricht nicht den Anforderungen und der Lüfter kann nicht direkt ausgetauscht oder die Leistung erhöht werden. Wenn die Berechnung des Luftvolumens nicht den Anforderungen entspricht, stimmt das berechnete Kaliber möglicherweise nicht mit den tatsächlichen Arbeitsbedingungen überein, der Systemwiderstand wird unterschätzt, der Filterwiderstand ändert sich, die Lufteinlassbedingungen weichen von der Auslegung ab, der Betriebspunkt des Lüfters ist versetzt oder die Messmethode ist verzerrt. Bei Halbleitergeräten werden hohe Anforderungen an die Stabilität des Luftvolumens gestellt. Wenn die Luftvolumenstandards nicht eingehalten werden, kann dies Auswirkungen auf die Windgeschwindigkeit, die Schutzwirkung und den Geräteertrag haben. Um diese Art von Problem zu lösen, müssen wir zunächst die Arbeitsbedingungen auf einheitliche Weise messen und dann in der Reihenfolge berechnetes Kaliber, Systemwiderstand, Filterstatus, Lufteinlassbedingungen und Lüfterbetriebspunkt prüfen. Passen Sie nach dem Finden der Ursache an und kehren Sie nach der Behandlung zum erneuten Testen zu den ursprünglichen Arbeitsbedingungen zurück. Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Luftvolumenberechnungen, Systemwiderstände und Lüfterarbeitspunkte können anhand von Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Es ist nicht erforderlich, zur Bestätigung zwischen der Ventilatorfabrik, der Filterfabrik und der kompletten Maschinenfabrik hin und her zu wechseln. Aus diesem Grund greifen viele Hersteller von Halbleiterausrüstungen auf die Konfigurationsanweisungen von Aili Industrial zurück, wenn es um Probleme mit der EFU-Luftmenge geht, die nicht dem Standard entspricht.

Vereinheitlichen Sie zunächst die Arbeitsbedingungen: Die Luftmengendaten müssen vergleichbar sein

Die Luftmengenberechnung entspricht nicht den Anforderungen. Überprüfen Sie zunächst, ob die Messbedingungen konsistent sind. Auf welchem ​​Filterzustand, welchem ​​externen statischen Druck und welchen Drehzahlverhältnissen basiert die berechnete Luftmenge? Unter welchen Bedingungen wird die tatsächliche Luftmenge gemessen? Die Arbeitsbedingungen der beiden sind unterschiedlich und die Daten können nicht direkt verglichen werden. Der Innenwiderstand von Halbleitergeräten weicht von den Standardtestbedingungen ab und es kommt häufig vor, dass das gemessene Luftvolumen unter dem berechneten Wert liegt. Bei der Fehlerbehebung vereinheitlichen Sie zunächst den Filterstatus, den externen statischen Druck und die Lüftergeschwindigkeit und vergleichen dann die berechneten Werte mit den tatsächlich gemessenen Werten.

Methoden zur Luftvolumenberechnung und Einheitenumrechnung finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? Luftversorgungsbereich, der Zielwindgeschwindigkeit und der Einheitenumrechnungsmethode bestehen darin, die berechneten Werte und die gemessenen Werte unter demselben Kaliber zu vergleichen.Die Berechnungsschritte im

Berechnungskaliber prüfen: effektive Fläche und Windgeschwindigkeitswerte

Inkonsistenzen im Berechnungskaliber sind ein häufiger Grund dafür, dass die Luftmenge nicht den Anforderungen entspricht. Ist die effektive Filterfläche abzüglich der Grenze? Gibt es eine Grundlage für die Festlegung der Zielwindgeschwindigkeit? Sind die Luftvolumeneinheiten einheitlich? Werden mehrteilige Filter nach Gesamtfläche berechnet? Das Berechnungskaliber ist falsch und die berechnete Luftmenge entspricht nicht den Geräteanforderungen. Überprüfen Sie bei der Fehlerbehebung zunächst das Berechnungskaliber und stellen Sie dann fest, ob es sich um ein Berechnungsproblem oder ein Geräteproblem handelt.

Informationen zur Berechnungsmethode der Gegenwindgeschwindigkeit finden Sie unterWie berechnet man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit? Für die Schritte unter „Ermitteln der effektiven Filterfläche und der durchschnittlichen Windgeschwindigkeit“ vereinheitlichen Sie das Berechnungskaliber und vergleichen Sie es dann.

Systemwiderstand prüfen: Filter, Lufteinlass- und -auslasswiderstand

Der Systemwiderstand wird unterschätzt, was ein weiterer häufiger Grund dafür ist, dass die Luftmenge nicht der Norm entspricht. Bei der Berechnung wird nur der Filterwiderstand berechnet, nicht der Lufteinlasswiderstand, der Kastenluftkanalwiderstand und der Luftauslasswegwiderstand; oder die Berechnung basiert auf dem Anfangswiderstand des neuen Filters, ohne Berücksichtigung der Erhöhung des Betriebswiderstands. Der Systemwiderstand wird unterschätzt, der Betriebspunkt des Ventilators ist in Richtung kleiner Luftmenge verschoben und die gemessene Luftmenge ist niedriger als der berechnete Wert. Bei der Untersuchung sollte der Gesamtsystemwiderstand entsprechend dem Unterpunkt Widerstand erneut überprüft werden.

Die detaillierte Berechnungsmethode des Systemwiderstands finden Sie unterWie berechnet man den statischen EFU-Arbeitsdruck? Addition des Widerstands von Filtern, Lufteinlässen und Geräteluftkanälen . Die Überlagerungsmethode zur Um den Innenwiderstand des Geräts zu bestimmen, lesen Sie bitteWie ermittelt man den Innenwiderstand von EFU-Geräten? Berechnungen, Messungen, Einflussfaktoren und Akzeptanzmethoden .Beschreibung von

Überprüfen Sie die Bedingungen des Lufteinlasses: ob sich Kopffreiheit und Quelle geändert haben

Auch Änderungen der Lufteinlassbedingungen führen dazu, dass das gemessene Luftvolumen unter dem berechneten Wert liegt. Der Lufteinlass wird durch Bauwerke, Kabel oder angrenzende Bauteile blockiert und der Einlasswiderstand erhöht sich; Der Lufteinlass befindet sich in der Nähe von Prozessabgasen oder Verschmutzungsquellen und die EFU atmet Luft mit Partikeln ein, was die Belastung des Filters erhöht. Die Lufteinlassrichtung steht im Widerspruch zum Luftstrom im Inneren des Geräts und der Einlassluftstrom ist instabil. Die interne Struktur von Halbleitergeräten ist kompakt und Änderungen der Lufteinlassbedingungen wirken sich eher auf das Luftvolumen aus.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Lufteinlassraum und Einlasswiderstand finden Sie unterWie kann der EFU-Lufteinlassraum bestätigt werden? Gerätezeichnungen, Installationsbedingungen und Abnahmemethoden .Überprüfungsmethoden in

Überprüfen Sie den Betriebspunkt des Ventilators: Drehzahl und Einstellspielraum

Die Abweichung vom Arbeitspunkt des Ventilators ist die direkte Ursache dafür, dass die Luftmenge nicht der Norm entspricht. Die Drehzahl wird niedriger als der Auslegungswert eingestellt und die Luftmenge nimmt ab; der Widerstand erhöht sich, nachdem der Filter Staub angesammelt hat, und der Arbeitspunkt verschiebt sich in Richtung eines kleinen Luftvolumens; Der Einstellspielraum des Lüfters reicht nicht aus und kann die Widerstandsänderung nicht ausgleichen. Bestätigen Sie bei der Fehlerbehebung die aktuelle Geschwindigkeit, die Position des Arbeitspunkts und den Einstellspielraum, anstatt nur auf den Luftvolumenwert zu achten.

Bezüglich des Zusammenhangs zwischen Ventilatorbetriebspunkt und Luftmenge siehe bitteWie wählt man einen EFU-Radialventilator aus? Arbeitspunkt, Leistung, Temperaturanstieg und Dauerbetriebsanforderungen . Prüfmethoden für Informationen zur Geschwindigkeitseinstellung finden Sie unterWie stelle ich die EFU-Lüftergeschwindigkeit ein? Kalibrierung von Luftvolumen, statischem Druck, Geräusch und Betriebsgetriebe .Erläuterung zur

Messmethoden prüfen: Messpunkte, Instrumente und Berechnungen

Wenn die Methode zur Messung des Luftvolumens verzerrt ist, ist der tatsächlich gemessene Wert niedriger als der berechnete Wert. Die Messpunktposition liegt nicht auf der effektiven Luftaustrittsfläche, die Anzahl der Messpunkte reicht nicht aus, das Gerät ist nicht kalibriert und der Filterstatus während der Messung weicht von den Berechnungsbedingungen ab, was zu Abweichungen führt. Bei der Fehlerbehebung müssen Sie zunächst die Messmethode bestätigen und dann feststellen, ob ein Problem mit dem Gerät selbst vorliegt. Bei Halbleitergeräten werden hohe Anforderungen an die Datengenauigkeit gestellt, die Messmethoden sind nicht einheitlich und die Schlussfolgerungen können leicht verzerrt sein.

Informationen zur Windgeschwindigkeitsmessung und Gleichmäßigkeitsbewertung finden Sie unterWie bewertet man die Gleichmäßigkeit der EFU-Windgeschwindigkeit? Messpunkten, Mittelungen, Abweichungen und Akzeptanzmethoden .Messmethoden in

Anpassungsmethode: Je nach Grund entsprechend anpassen

Nachdem die Ursache gefunden wurde, sollte die Anpassungsmethode der Ursache entsprechen. Wenn das Berechnungskaliber falsch ist, führen Sie eine Neuberechnung durch. Wenn der Systemwiderstand unterschätzt wird, berechnen Sie die Eingangs- und Ausgangswiderstände. Wenn sich die Einlassbedingungen ändern, passen Sie die Einbaulage an oder machen Sie den Abstand frei. Wenn die Lüftergeschwindigkeit nicht ausreicht, passen Sie die Geschwindigkeit an. Wenn die Messmethode abweicht, wiederholen Sie den Test mit demselben Kaliber. Kehren Sie nach der Einstellung zu den ursprünglichen Arbeitsbedingungen zurück und messen Sie das Luftvolumen, den statischen Druck und die Leistung erneut, um zu bestätigen, dass der Gesamtzustand der Maschine wieder in den normalen Bereich zurückgekehrt ist, und aktualisieren Sie die Konstruktionsunterlagen.

Im EFU-Projekt organisierte Aili Industries die Anpassung und erneute Prüfung des Luftvolumens entsprechend den Gerätemodellen und ordnete das Berechnungskaliber, den Systemwiderstand und den Lüfterbetriebspunkt der vollständigen Maschinenkonfiguration zu. Die Gerätefabrik kann direkt vergleichenDie vollständige Maschinenbeschreibung auf der EFU-Geräte-Lüfter-Filtereinheit -Seite gleicht die Einstellprotokolle mit den Werksdaten ab.

Das EFU-Luftvolumenpaket von Aili Industrial

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Luftvolumenberechnungen, Systemwiderstände und Lüfterbetriebspunkte können anhand von Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden, und die Abstimmung zwischen Filtern, Kästen, Lufteinlässen und Lüftern muss nicht zwischen Lieferanten weitergegeben werden. Für Halbleitergeräte mit klaren Anforderungen an das Luftvolumen kann Ai Li Industrial Prototypentests und Chargenhärtung gemäß dem Bestätigungsdiagramm organisieren und das Kaliber, den Systemwiderstand und den Arbeitspunkt in überprüfbare vollständige Maschinendaten berechnen. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit und das DC-Geschwindigkeitsregelungsschema können eingesehen werdenDie Strukturbeschreibung auf der Seite zur DC-Geschwindigkeitsregelung der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit .Steuerungsanweisungen auf

So erstellen Sie ausführbare Bestätigungsergebnisse

Führen Sie zunächst die vorläufige Überprüfung der Informationen durch und führen Sie dann die technische Bestätigung des zu kaufenden Modells durch. Fügen Sie Berechnungskaliber, Systemwiderstand, Lufteinlassbedingungen, Lüfterbetriebspunkte und Messmethoden zur Zusatzliste hinzu und organisieren Sie dann einen Vergleich, nachdem der Lieferant geantwortet hat. Die bestätigten Luftmengendaten, die vollständige Maschinenkonfiguration und die Schnittstelle werden zur Auftragsausführung verwendet, und Beispielparameter können nicht als Ersatz für diese Projektdaten verwendet werden. Bei der EFU-Lieferung konfiguriert Aili Industrial die komplette Maschine gemäß der Bestätigungszeichnung und den tatsächlichen Anforderungen. Der Filter, der Ventilator und der Kasten entsprechen einzeln gemäß der Bestellliste, was es dem Gerätehersteller erleichtert, die Luftmengenberechnung, die nicht den Anforderungen entspricht, zu bearbeiten und sie auf die überprüfbaren Gesamtbedingungen der Maschine abzustimmen.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Es sollte vermieden werden, die berechneten Werte direkt mit den tatsächlich gemessenen Werten zu vergleichen, ohne die Arbeitsbedingungen zu vereinheitlichen. Es sollte vermieden werden, nur am Lüfter zu zweifeln und das berechnete Kaliber und den Systemwiderstand zu ignorieren. Es sollte vermieden werden, die Änderungen der Lufteintrittsbedingungen zu ignorieren. Es sollte vermieden werden, nur auf das Luftvolumen zu schauen, ohne den statischen Druck und die Leistung zu betrachten. Es sollte vermieden werden, die Geräteanomalie zu beurteilen, wenn die Messmethoden nicht einheitlich sind. Wenn die Luftmengenberechnung nicht den Anforderungen entspricht, liegt möglicherweise ein Problem mit dem Berechnungskaliber, dem Systemwiderstand, den Lufteinlassbedingungen, dem Betriebspunkt des Ventilators oder der Messmethode vor. Der Umfang der Fehlerbehebung muss Schritt für Schritt eingegrenzt werden. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen und das Berechnungskaliber, den Widerstand und die Messbedingungen zusammen auflisten.

Verwandte Fragen und Antworten

Wird eine Erhöhung der Drehzahl zwangsläufig die Luftmenge proportional erhöhen?

unsicher. Die Systemwiderstandskurve und die Lüfterleistungskurve bestimmen gemeinsam den neuen Betriebspunkt.

Wie kann die EFU-Luftvolumenuntersuchung von Halbleitergeräten gefördert werden, wenn die Projektinformationen unvollständig sind?

Das allgemeine Diagramm der Ausrüstung, des verfügbaren Platzes, der Zielluftmenge oder -geschwindigkeit, des Filtergrades, der Stromversorgung und der Steuermethode kann zunächst bereitgestellt werden, und der Lieferant wird die zu bestätigenden Punkte formulieren; Bevor die wichtigsten Arbeitsbedingungen bestätigt werden, ist es nicht angebracht, eine Entscheidung auf der Grundlage des Aussehens oder einer einzelnen Bewertung zu treffen. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen und das Berechnungskaliber, den Widerstand und die Messbedingungen zusammen auflisten.

Welche konkreten Informationen muss ich für diese Frage vorbereiten?

Bereiten Sie aktuelle Projektinformationen zu Messbedingungen, Systemwiderständen und Lüfterbetriebspunkten vor. Die Gesamtzeichnung der Ausrüstung, das EFU-Bestätigungsblatt und das vollständige Maschinentestprotokoll sollten der tatsächlich gekauften Konfiguration entsprechen; Bei Unstimmigkeiten zwischen Katalog, Bestätigungszeichnung und Lieferprotokoll sollten zunächst Version und Geltungsbereich ermittelt werden. Wenn die EFU-Luftvolumenberechnung von Halbleitergeräten nicht den Anforderungen entspricht, können Sie auf die vollständigen Anweisungen zur Maschinen- und Filterunterstützung zurückgreifen, die von Aili Industrial je nach Modell bereitgestellt werden.

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