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Que dois-je faire si le calcul du volume d'air EFU des équipements semi-conducteurs ne répond pas aux exigences ? Méthodes de test, de dépannage et de réglage

Nombre de vues : 4418     Auteur : Aili Industry Heure de sortie : 2027-05-12 Source : Ai Li Industriel

Enquête

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Que dois-je faire si le calcul du volume d'air EFU des équipements semi-conducteurs ne répond pas aux exigences ? Méthodes de test, de dépannage et de réglage

Le calcul du volume d'air EFU des équipements semi-conducteurs ne répond pas aux exigences et le ventilateur ne peut pas être directement remplacé ou la puissance augmentée. Si le calcul du volume d'air ne répond pas aux exigences, il se peut que le calibre calculé ne soit pas cohérent avec les conditions de travail réelles, que la résistance du système soit sous-estimée, que la résistance du filtre change, que les conditions d'entrée d'air soient différentes de celles de conception, que le point de fonctionnement du ventilateur soit décalé ou que la méthode de mesure soit biaisée. Les équipements à semi-conducteurs ont des exigences élevées en matière de stabilité du volume d'air, et le non-respect des normes de volume d'air peut affecter la vitesse du vent face, l'effet de protection et le rendement de l'équipement. Pour faire face à ce type de problème, il faut d'abord mesurer les conditions de travail de manière unifiée, puis vérifier dans l'ordre du calibre calculé, la résistance du système, l'état du filtre, les conditions d'entrée d'air et le point de fonctionnement du ventilateur. Ajustez après avoir trouvé la cause et revenez aux conditions de travail d'origine après le traitement pour un nouveau test. Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Les calculs du volume d'air, la résistance du système et les points de fonctionnement du ventilateur peuvent être vérifiés selon les dessins des équipements au sein du même système de fabrication. Il n'est pas nécessaire d'aller et venir entre l'usine de ventilateurs, l'usine de filtres et l'usine de machines complètes pour confirmation. C'est pourquoi de nombreuses usines d'équipements à semi-conducteurs se référeront aux instructions de configuration d'Aili Industrial lorsqu'elles traiteront des problèmes de volume d'air inférieur aux normes EFU.

Tout d’abord, unifier les conditions de travail : les données de volume d’air doivent être comparables

Le calcul du volume d'air ne répond pas aux exigences. Tout d’abord, vérifiez si les conditions de mesure sont cohérentes. Le volume d'air calculé est basé sur quel état du filtre, quelle pression statique externe et quelles conditions de vitesse ? Dans quelles conditions le volume d’air réel est-il mesuré ? Les conditions de travail des deux sont différentes et les données ne peuvent pas être directement comparées. La résistance interne des équipements semi-conducteurs est différente des conditions de test standard et il est courant que le volume d'air mesuré soit inférieur à la valeur calculée. Lors du dépannage, unifiez d'abord l'état du filtre, la pression statique externe et la vitesse du ventilateur, puis comparez les valeurs calculées avec les valeurs mesurées réelles.

Articles en état de fonctionnement

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

état du filtre

Si les filtres calculés et mesurés sont les mêmes

Nouvel élément filtrant utilisé pour le calcul, ancien élément filtrant utilisé pour la mesure réelle

Pression statique externe

Résistance externe calculée et mesurée

calibre incohérent

Vitesse du ventilateur

Conditions de vitesse calculées et mesurées

Comparaison directe de différentes vitesses

Méthode de mesure

Points de mesure, instruments, méthodes

Les méthodes de mesure ne sont pas uniformes

Pour les méthodes de calcul du volume d'air et de conversion d'unités, veuillez vous référer àComment calculer le volume d'air nominal EFU ? la zone d'alimentation en air, la vitesse du vent cible et la méthode de conversion d'unité consistent à comparer les valeurs calculées et les valeurs mesurées sous le même calibre.Les étapes de calcul dans

Vérifier le calibre du calcul : valeurs de surface effective et de vitesse du vent

L'incohérence dans le calibre de calcul est une raison courante pour laquelle le volume d'air ne répond pas aux exigences. La zone de filtrage effective est-elle moins la bordure ? Existe-t-il une base pour définir la vitesse cible du vent ? Les unités de volume d'air sont-elles uniformes ? Les filtres multipièces sont-ils calculés en fonction de la surface totale ? Le calibre de calcul est erroné et le volume d'air calculé ne correspond pas aux exigences de l'équipement. Lors du dépannage, vérifiez d'abord le calibre de calcul, puis déterminez s'il s'agit d'un problème de calcul ou d'un problème d'équipement.

élément calculé

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

Surface efficace

S'il faut déduire les frontières

Calculer en utilisant la zone extérieure

vitesse du vent cible

Y a-t-il une base pour la valeur ?

La valeur de la vitesse du vent n'a aucune base

Unités unifiées

Unités de volume d'air, de surface et de vitesse du vent

Unités de mélange

Configuration multi-puces

S'il faut calculer en fonction de la superficie totale

Calculé sur la base d'une seule commande uniquement

Pour la méthode de calcul de la vitesse du vent face, veuillez vous référer àComment calculer la vitesse du vent à la surface de l'EFU ? Pour les étapes de la section Comment déterminer la zone de filtration efficace et la vitesse moyenne du vent , unifiez le calibre de calcul, puis comparez.

Vérifier la résistance du système : résistance du filtre, de l'entrée et de la sortie d'air

La résistance du système est sous-estimée, ce qui constitue une autre raison courante pour laquelle le volume d'air ne répond pas à la norme. Lors du calcul, seule la résistance du filtre est calculée, pas la résistance d'entrée d'air, la résistance du conduit d'air du boîtier et la résistance du trajet de sortie d'air ; soit le calcul est basé sur la résistance initiale du nouveau filtre, sans tenir compte de l'augmentation de la résistance de fonctionnement. La résistance du système est sous-estimée, le point de fonctionnement du ventilateur est orienté vers un petit volume d'air et le volume d'air réel mesuré est inférieur à la valeur calculée. Au cours de l'enquête, la résistance totale du système doit être revérifiée en fonction de la résistance du sous-élément.

Terme de résistance

Ce qui devrait être confirmé

Impact sur le volume d'air

résistance du filtre

Résistance initiale et résistance à la course

La résistance augmente et le volume d’air diminue

Résistance d'entrée d'air

Dégagement et contrôle d'entrée

L'entrée est bloquée et le volume d'air diminue.

Résistance du conduit d'air de la boîte

Partage et structure du courant interne

Le débit d'air est réduit en raison de mauvais conduits d'air

Résistance du trajet de sortie d'air

Structure de sortie d'air et chemin d'équipement

La contre-pression augmente et le volume d’air diminue

Pour la méthode de calcul détaillée de la résistance du système, veuillez vous référer àComment calculer la pression statique de travail de l'EFU ? pour ajouter la résistance des filtres, des entrées d'air et des conduits d'air des équipements . La méthode de superposition Pour déterminer la résistance interne de l'équipement, veuillez vous référer àComment déterminer la résistance interne des équipements EFU ? calculs, mesures, facteurs d'influence et méthodes d'acceptation .Description des

Vérifier les conditions d'entrée d'air : si la hauteur libre et la source ont changé

Les changements dans les conditions d'entrée d'air entraîneront également que le volume d'air mesuré soit inférieur à la valeur calculée. L'entrée d'air est bloquée par des structures, des câbles ou des composants adjacents, et la résistance d'entrée augmente ; l'entrée d'air est proche des sources d'échappement du procédé ou de pollution, et l'EFU inhale de l'air contenant des particules, augmentant ainsi la charge sur le filtre ; la direction d'entrée d'air est en conflit avec le flux d'air à l'intérieur de l'équipement et le flux d'air d'entrée est instable. La structure interne des équipements semi-conducteurs est compacte et les changements dans les conditions d'entrée d'air sont plus susceptibles d'affecter le volume d'air.

Article d'admission d'air

Ce qui devrait être confirmé

Impact sur le volume d'air

Dégagement d'entrée d'air

La zone autour de l’entrée est-elle bloquée ?

Hauteur sous plafond insuffisante et volume d'air réduit

Source d'entrée d'air

Est-ce proche de l'échappement du procédé ?

Charge de filtrage accrue

Sens d'entrée

Est-ce que cela entre en conflit avec le flux d'air de l'appareil ?

Débit d’air d’entrée instable

Lieu d'installation

Est-ce cohérent avec la position de conception ?

Les changements de position affectent le volume d'air

Concernant la relation entre l'espace d'entrée d'air et la résistance d'entrée, veuillez vous référer àComment confirmer l'espace d'entrée d'air de l'EFU ? les dessins d'équipement, les conditions d'installation et les méthodes d'acceptation .Méthodes de vérification dans

Vérifier le point de fonctionnement du ventilateur : vitesse de rotation et marge de réglage

L'écart du point de fonctionnement du ventilateur est la cause directe du fait que le volume d'air ne répond pas à la norme. La vitesse de rotation est réglée à un niveau inférieur à la valeur de conception et le volume d'air diminue ; la résistance augmente après que le filtre accumule de la poussière et le point de travail se déplace vers un petit volume d'air ; la marge de réglage du ventilateur est insuffisante et ne peut pas compenser le changement de résistance. Lors du dépannage, confirmez la vitesse actuelle, la position du point de travail et la marge de réglage, plutôt que de simplement regarder la valeur du volume d'air.

Article de fan

Ce qui devrait être confirmé

Impact sur le volume d'air

Vitesse actuelle

La vitesse réelle est-elle conforme à la conception ?

Faible vitesse, faible volume d'air

Emplacement du point de travail

Position sur courbe du ventilateur

Modifications du volume d'air au point de travail compensé

Marge d'ajustement

Capacité de compensation après l'augmentation de la résistance

Marge insuffisante, le volume d'air diminue

Puissance d'entrée

Comparaison de la puissance actuelle et de la valeur de conception

Les anomalies de puissance affectent le jugement

Concernant la relation entre le point de fonctionnement du ventilateur et le volume d'air, veuillez vous référer àComment choisir le ventilateur centrifuge EFU ? exigences de point de fonctionnement, de puissance, d'échauffement et de fonctionnement continu . Méthodes de vérification des Pour la méthode de réglage de la vitesse, veuillez vous référer àComment régler la vitesse du ventilateur EFU ? l'étalonnage du volume d'air, de la pression statique, du bruit et des équipements de fonctionnement .Explication sur

Vérifier les méthodes de mesure : points de mesure, instruments et calculs

Si la méthode de mesure du volume d'air est biaisée, la valeur réelle mesurée sera inférieure à la valeur calculée. L'emplacement du point de mesure n'est pas sur la surface effective de sortie d'air, le nombre de points de mesure est insuffisant, l'instrument n'est pas calibré et l'état du filtre pendant la mesure est différent des conditions de calcul, ce qui entraînera des écarts. Lors du dépannage, vous devez d'abord confirmer la méthode de mesure, puis déterminer s'il y a un problème avec l'équipement lui-même. Les équipements semi-conducteurs ont des exigences élevées en matière de précision des données, les méthodes de mesure ne sont pas uniformes et les conclusions sont facilement biaisées.

Éléments de mesure

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

Emplacement du point de mesure

S'agit-il d'un débouché efficace

Le point de mesure est décentré

Nombre de points de mesure

Moyenne sur un seul point ou sur plusieurs points ?

Sous-représentation d’un seul point

État de l'instrument

Est-ce dans la période de validité de l'étalonnage ?

Biais des instruments

Conditions de mesure

État et vitesse du filtre

Les conditions de travail sont différentes des conditions de calcul

Pour la mesure de la vitesse du vent et l'évaluation de l'uniformité, veuillez vous référer àComment évaluer l’uniformité de la vitesse du vent de l’EFU ? des points de mesure, moyennes, écarts et méthodes d'acceptation .Méthodes de mesure

Méthode d'ajustement : Ajuster en conséquence en fonction de la raison

Après avoir trouvé la cause, la méthode de réglage doit correspondre à la cause. Si le calibre de calcul est erroné, recalculez ; si la résistance du système est sous-estimée, calculer les résistances d'entrée et de sortie ; si les conditions d'entrée changent, ajustez la position d'installation ou dégagez le jeu ; si la vitesse du ventilateur est insuffisante, ajustez la vitesse ; si la méthode de mesure s'écarte, retestez selon le même calibre. Après réglage, revenez aux conditions de travail d'origine et mesurez à nouveau le volume d'air, la pression statique et la puissance pour confirmer que l'état global de la machine est revenu à la plage normale, et mettez à jour les enregistrements de conception.

Ajustements

Ce qui devrait être confirmé

Exigences d'enregistrement

Correction du calcul

Surface effective et diamètre de résistance

Calculer les mises à jour des enregistrements

Réglage de l'entrée d'air

Nettoyage de la hauteur sous plafond ou réglage de la position

Dossier d'installation

Réglage de la vitesse

Vitesse et point de travail

Enregistrement de paramètres

Nouveau test de la machine entière

Volume d'air, pression statique, puissance

Retester l'archivage des données

Dans le projet EFU, Aili Industries a organisé l'ajustement et les nouveaux tests du volume d'air en fonction des modèles d'équipement, et a mappé le calibre de calcul, la résistance du système et le point de fonctionnement du ventilateur à la configuration complète de la machine. L'usine d'équipement peut comparer directementLa description complète de la machine sur la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU fait correspondre les enregistrements de réglage avec les données d'usine.

Ensemble de volume d'air EFU d'Aili Industrial

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Les calculs de volume d'air, la résistance du système et les points de fonctionnement des ventilateurs peuvent être vérifiés par rapport aux dessins d'équipement au sein du même système de fabrication, et la correspondance entre les filtres, les boîtiers, les entrées d'air et les ventilateurs n'a pas besoin d'être transmise aux fournisseurs. Pour les équipements semi-conducteurs ayant des exigences claires en matière de volume d'air, Ai Li Industrial peut organiser des tests de prototypes et un durcissement par lots selon le diagramme de confirmation, et calculer le calibre, la résistance du système et le point de travail en données de machine complètes et vérifiables. Les machines associées peuvent être référencéesde l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU et le schéma de régulation de la vitesse CC peuvent être consultésLa description de la structure sur la page la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU de régulation de vitesse CC .Instructions de contrôle sur

Comment générer des résultats de confirmation exécutables

Effectuez d’abord la sélection préliminaire des informations, puis effectuez une confirmation technique sur le modèle à acheter. Ajoutez le calibre de calcul, la résistance du système, les conditions d'entrée d'air, les points de fonctionnement des ventilateurs et les méthodes de mesure à la liste supplémentaire, puis organisez une comparaison après la réponse du fournisseur. Les données confirmées sur le volume d'air, la configuration complète de la machine et l'interface sont utilisées pour l'exécution des commandes, et les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer ces données de projet. Dans la fourniture EFU, Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles. Le filtre, le ventilateur et le boîtier correspondent un par un selon la liste de commande, ce qui permet à l'usine d'équipement de traiter plus facilement le calcul du volume d'air qui ne répond pas aux exigences et de le régler sur les conditions complètes vérifiables de la machine.

Des malentendus à éviter

Il faut éviter de comparer directement les valeurs calculées avec les valeurs réelles mesurées sans unifier les conditions de travail. Il faut éviter de douter uniquement du ventilateur et d'ignorer le calibre calculé et la résistance du système. Il faut éviter d'ignorer les changements dans les conditions d'entrée d'air. Il faut éviter de regarder uniquement le volume d’air sans regarder la pression statique et la puissance. Il convient d'éviter de juger de l'anomalie de l'équipement si les méthodes de mesure ne sont pas unifiées. Si le calcul du volume d'air ne répond pas aux exigences, il peut s'agir d'un problème lié au calibre de calcul, à la résistance du système, aux conditions d'entrée d'air, au point de fonctionnement du ventilateur ou à la méthode de mesure. L'étendue du dépannage doit être réduite étape par étape. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins de l'équipement, et répertorier ensemble le calibre de calcul, la résistance et les conditions de mesure.

Questions et réponses connexes

L'augmentation de la vitesse de rotation augmentera-t-elle nécessairement le volume d'air proportionnellement ?

incertain. La courbe de résistance du système et la courbe de performance du ventilateur détermineront conjointement le nouveau point de fonctionnement.

Comment promouvoir l'étude du volume d'air de l'EFU sur les équipements semi-conducteurs lorsque les informations sur le projet sont incomplètes ?

Le schéma général de l'équipement, l'espace disponible, le volume d'air cible ou la vitesse du vent, le niveau de filtration, l'alimentation électrique et la méthode de contrôle peuvent être fournis en premier, et le fournisseur formulera les éléments à confirmer ; avant que les conditions de travail clés ne soient confirmées, il n'est pas approprié de les finaliser sur la base de l'apparence ou d'une seule note. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins de l'équipement, et répertorier ensemble le calibre de calcul, la résistance et les conditions de mesure.

De quelles informations spécifiques ai-je besoin pour préparer cette question ?

Préparez les informations du projet actuel concernant les conditions de mesure, la résistance du système et les points de fonctionnement des ventilateurs. Le dessin général de l'équipement, la feuille de confirmation EFU et le dossier complet de test de la machine doivent correspondre à la configuration réelle achetée ; si le catalogue, le dessin de confirmation et le dossier de livraison sont incohérents, la version et le champ d'application doivent être vérifiés en premier. Lorsque le calcul du volume d'air EFU de l'équipement semi-conducteur ne répond pas aux exigences, vous pouvez vous référer aux instructions complètes de support de la machine et du filtre fournies par Aili Industrial selon le modèle.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Vérifier les éléments

Confirmer les points clés

Conditions de mesure

L'état du filtre, la pression statique externe et la vitesse de rotation sont unifiés

Calculer le calibre

Surface effective, valeur de vitesse du vent, unité cohérente

résistance du système

Filtre, entrée d'air, boîte, sous-éléments de sortie d'air

Conditions d'entrée d'air

Dégagement, source, direction, emplacement d'installation

Point de fonctionnement du ventilateur

Vitesse, position du point de travail, marge de réglage

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Les calculs de volume d'air, la résistance du système et les points de fonctionnement des ventilateurs peuvent être vérifiés par rapport aux dessins d'équipement au sein du même système de fabrication, et la correspondance entre les filtres, les boîtiers, les entrées d'air et les ventilateurs n'a pas besoin d'être transmise aux fournisseurs. L'usine d'équipement effectue l'inspection du volume d'air et l'appariement complet des machines au sein du même système, ce qui est plus facile à maintenir la cohérence que la coordination entre fournisseurs.

apprendreProduits Aili Industrial EFU et configurations personnalisées , la structure complète de la machine peut être visualiséeUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU , le schéma de contrôle peut être consultéUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de régulation de vitesse cc , l'ensemble de filtres peut être consultéFiltres à air HEPA et ULPA , interfaces non standard visiblesEFU personnalisé . Veuillez soumettre les éléments de contrôle, l'utilisation de l'équipement et la quantité estimée dans cet article pour faciliter la confirmation du modèle correspondant et de l'étendue de la fourniture.

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