Was soll ich tun, wenn die EFU-Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit von Halbleitergeräten nicht den Anforderungen entspricht? Test-, Fehlerbehebungs- und Anpassungsmethoden

Die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit der Halbleiterausrüstung EFU entspricht nicht den Anforderungen und der Lüfter kann nicht direkt ausgetauscht oder die Luftmenge nicht erhöht werden. Wenn die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit nicht den Anforderungen entspricht, kann dies an einer unangemessenen Anordnung der Messpunkte, inkonsistenten Messbedingungen, einer durch die Struktur der Luftaustrittsfläche verursachten Abweichung des Luftstroms, einer ungleichmäßigen Filterinstallation, ungleichmäßigen Lufteintrittsbedingungen oder einer Abweichung des Lüfterarbeitspunkts liegen. Bei Halbleitergeräten werden hohe Anforderungen an die Stabilität der Windgeschwindigkeit gestellt, und eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit kann sich auf die Abdeckung des Schutzbereichs und die Waferausbeute auswirken. Um diese Art von Problem zu lösen, müssen wir zunächst die Messarbeitsbedingungen und den Messpunktplan vereinheitlichen, dann die Messpunkte, die Struktur, den Filter und den Lüfter in der Reihenfolge überprüfen, nach der Ermittlung der Ursache anpassen und nach der Behandlung nach demselben Plan erneut testen. Das EFU-Fertigungssystem von Airee Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Luftaustrittsfläche und der Arbeitspunkt der gesamten Maschine können anhand der Gerätezeichnungen im selben Fertigungssystem überprüft werden. Es besteht keine Notwendigkeit, zwischen der Ventilatorfabrik, der Filterfabrik und der kompletten Maschinenfabrik hin und her zu bestätigen. Aus diesem Grund beziehen sich viele Hersteller von Halbleiterausrüstungen auf die Konfigurationsanweisungen von Airee Industrial, wenn sie sich mit der Frage der Gleichmäßigkeit der EFU-Windgeschwindigkeit befassen.

Vereinheitlichen Sie zunächst den Messstellenplan: Das Messstellenlayout sollte die gesamte Windaustrittsfläche abbilden können.

Wenn die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit nicht den Anforderungen entspricht, müssen Sie zunächst prüfen, ob der Messpunktplan sinnvoll ist. Decken die Messpunkte die gesamte wirksame Luftaustrittsfläche ab? Ist die Anzahl der Messpunkte ausreichend? Liegt der Messpunktstandort im gültigen Bereich? Es wird nur ein Punkt in der Mitte gemessen, und der Randbereich mit niedriger Geschwindigkeit kann nicht gemessen werden. die Anzahl der Messpunkte ist zu gering und die Verteilungsabweichung wird gemittelt. Führen Sie bei der Fehlerbehebung zunächst eine erneute Messung gemäß dem Rastermesspunktplan durch, um sicherzustellen, dass die Messpunkte die gesamte Luftaustrittsfläche abbilden können, und stellen Sie dann fest, ob die Gleichmäßigkeit tatsächlich nicht dem Standard entspricht.

Informationen zu Methoden zur Anordnung von Windgeschwindigkeitsmesspunkten und zur Bewertung der Gleichmäßigkeit finden Sie unterWie bewertet man die Gleichmäßigkeit der EFU-Windgeschwindigkeit? Messpunkten, Mittelwert, Abweichung und Abnahmeverfahren .Messstellenplan in

Einheitliche Messbedingungen: Beim Filterelement muss der statische Druck außerhalb der Maschine konstant sein

Die Gleichmäßigkeit der Luftgeschwindigkeit ist kein fester Wert und variiert je nach Filterwiderstand und Systembedingungen. Ob bei der Messung ein Filter verwendet wird, wie hoch der statische Druck außerhalb der Maschine ist, wie hoch die Drehzahl oder der Gang des Ventilators ist und wo sich die Messebene auf der Luftaustrittsfläche befindet – all das hat Einfluss auf die Windgeschwindigkeitsverteilung. Die ohne Filter gemessene Windgeschwindigkeitsverteilung kann nicht die tatsächliche Verteilung nach der Installation wiedergeben. Bei der Fehlerbehebung vereinheitlichen Sie zunächst den Filterstatus, den externen statischen Druck und die Lüftergeschwindigkeit und vergleichen Sie dann die Messergebnisse.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Messarbeitsbedingungen und Luftvolumen finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? Luftversorgungsbereich, die Zielwindgeschwindigkeit und die Einheitenumrechnungsmethode . Das Berechnungskaliber im Informationen zur Berechnungsmethode der Gegenwindgeschwindigkeit finden Sie unterWie berechnet man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit? So ermitteln Sie die effektive Filterfläche und die durchschnittliche Windgeschwindigkeit .

Prüfen Sie die Struktur der Luftaustrittsfläche: ob Strömungsumlenkung und Strömungsausgleich sinnvoll sind

Die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Windaustrittsfläche ist ungleichmäßig, und die Struktur ist ein häufiger Grund. Die Lufteinlassumleitungsstruktur ist unangemessen und der Luftstrom ist auf eine Seite ausgerichtet. die Luftausgleichsplatte im Inneren des Kastens fehlt oder die Öffnungen sind uneben und der Luftstrom konzentriert sich in der Mitte; Die Luftauslassstruktur ist asymmetrisch und die Windgeschwindigkeit ist ungleichmäßig verteilt. Bei der Inspektion ist es notwendig, die Struktur in der Nähe der Luftaustrittsfläche zu überprüfen und zu bestätigen, ob die Strömungsumlenkung, der Strömungsausgleich und die Luftaustrittsrichtung angemessen sind. Wenn das strukturelle Problem nicht gelöst wird, kann die ungleichmäßige Verteilung nicht durch die Geschwindigkeit des Luftreglers behoben werden.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Kastenstruktur und Luftstromorganisation finden Sie unterWie gestaltet man die EFU-Box? Festigkeit, Abdichtung, Lufteinlass und -auslass sowie Wartungspunkte .Strukturelle Überprüfungsmethoden für

Überprüfen Sie den Filter: ob er gleichmäßig eingebaut und abgedichtet ist

Auch ein ungleichmäßiger Einbau oder eine schlechte Abdichtung des Filters wirken sich auf die Windgeschwindigkeitsverteilung aus. Die Filterinstallation ist schief und die örtliche Windgeschwindigkeit ist unterschiedlich; Der Dichtungsdruck ist ungleichmäßig, die lokale Umgehung ist abnormal und die Windgeschwindigkeitsverteilung ist abnormal. Der Filterrahmen wird verformt und der lokale Luftstrom blockiert. Überprüfen Sie bei der Inspektion die Installationsrichtung des Filters, den Kompressionsstatus und die Ebenheit des Rahmens und stellen Sie sicher, dass der Filter gleichmäßig auf der gesamten Luftauslassoberfläche installiert ist.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Dichtungsstruktur und vollständiger Maschinendichtung finden Sie unterWie kann ich das EFU-Installationssiegel bestätigen? Gerätezeichnungen, Installationsbedingungen und Abnahmemethoden .Überprüfungsmethoden in

Überprüfen Sie die Lufteinlassbedingungen: ob der Einlassluftstrom gleichmäßig ist

Ungleiche Bedingungen am Lufteinlass führen auch zu einer ungleichmäßigen Verteilung der Windgeschwindigkeit auf der Auslassoberfläche. Der Lufteinlass befindet sich in der Nähe der Struktur oder der Kabel und ist teilweise blockiert. Der Lufteinlass befindet sich in der Nähe der Prozessabluft und der Einlassluftstrom ist turbulent. Die Lufteinlassrichtung steht im Widerspruch zum Luftstrom im Inneren des Geräts und der Einlassluftstrom ist instabil. Überprüfen Sie bei der Inspektion den Lufteinlassabstand, die Lufteinlassquelle und die Lufteinlassrichtung und stellen Sie sicher, dass der Einlassluftstrom gleichmäßig ist.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Lufteinlassraum und Einlasswiderstand finden Sie unterWie kann der EFU-Lufteinlassraum bestätigt werden? Gerätezeichnungen, Installationsbedingungen und Abnahmemethoden .Überprüfungsmethoden in

Überprüfen Sie den Arbeitspunkt des Ventilators: Luftmenge und -verteilung sollten zusammen betrachtet werden

Eine Abweichung vom Betriebspunkt des Ventilators kann sich auch in einer ungleichmäßigen Windgeschwindigkeitsverteilung äußern. Bei zu niedriger Lüftergeschwindigkeit reicht die Luftmenge nicht aus und die Windgeschwindigkeit am Rand der Luftaustrittsfläche wird deutlich gedämpft; Ist die Lüftergeschwindigkeit zu hoch, nehmen die Turbulenzen des Luftstroms zu und die Verteilung wird schlechter. Bei der Fehlerbehebung ist es notwendig, die aktuelle Geschwindigkeit, die Position des Arbeitspunkts und den Einstellspielraum zu bestätigen und das Luftvolumen und die Verteilung gemeinsam zu beurteilen, anstatt nur die Verteilungsdaten zu betrachten.

Informationen zum Zusammenhang zwischen dem Lüfterarbeitspunkt und der Anpassung der gesamten Maschine finden Sie unterWie wählt man einen EFU-Radialventilator aus? Arbeitspunkt, Leistung, Temperaturanstieg und Dauerbetriebsanforderungen .Prüfmethoden für

Anpassungsmethode: Je nach Grund entsprechend anpassen

Nachdem die Ursache gefunden wurde, sollte die Anpassungsmethode der Ursache entsprechen. Wenn der Messpunktplan unzumutbar ist, ordnen Sie ihn entsprechend dem Raster neu an. Wenn die Messbedingungen inkonsistent sind, vereinheitlichen Sie den Filterstatus und die Geschwindigkeit. Wenn die Struktur eine ungleichmäßige Verteilung verursacht, fügen Sie eine Strömungsführung hinzu oder passen Sie die Strömungsplatte an. Wenn der Filter ungleichmäßig installiert ist, installieren Sie ihn erneut und überprüfen Sie die Kompression. Bei ungleichmäßigen Lufteinlassverhältnissen die Einbaulage anpassen oder den Spalt reinigen; Wenn der Betriebspunkt des Ventilators falsch ist, passen Sie die Geschwindigkeit an. Messen Sie nach der Anpassung die Windgeschwindigkeitsverteilung erneut gemäß demselben Messpunktplan, um sicherzustellen, dass der Durchschnittswert und die Abweichung wieder in den zulässigen Bereich fallen.

Im EFU-Projekt organisierte Aili Industries die Anpassung und Nachprüfung der Windgeschwindigkeit anhand von Gerätemodellen und ordnete den Messpunktplan, die strukturellen Bedingungen und die Betriebspunkte der Ventilatoren der vollständigen Maschinenkonfiguration zu. Die Gerätefabrik kann direkt vergleichenDie vollständige Maschinenbeschreibung auf der EFU-Geräte-Lüfter-Filtereinheit -Seite gleicht die Einstellprotokolle mit den Werksdaten ab.

Das EFU-Windgeschwindigkeitspaket von Aili Industrial

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Luftaustrittsfläche und der Arbeitspunkt der gesamten Maschine können anhand der Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Die Luftführungsstruktur, das Strömungsausgleichsdesign und die komplette Maschinenschnittstelle müssen nicht zwischen mehreren Lieferanten übertragen werden. Für Halbleitergeräte, die eine gleichmäßige Windgeschwindigkeit erfordern, kann Aili Industries Prototypentests und Chargenaushärtung gemäß dem Bestätigungsdiagramm organisieren und den Messpunktplan, Beurteilungsstandards und vollständige Maschinendaten in überprüfbare vollständige Maschinendaten umwandeln. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit und das DC-Geschwindigkeitsregelungsschema können eingesehen werdenDie Strukturbeschreibung auf der Seite zur DC-Geschwindigkeitsregelung der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit .Steuerungsanweisungen auf

So erstellen Sie ausführbare Bestätigungsergebnisse

Führen Sie zunächst die vorläufige Überprüfung der Informationen durch und führen Sie dann die technische Bestätigung des zu kaufenden Modells durch. Nehmen Sie den Messpunktplan, die Messarbeitsbedingungen, die Luftauslassstruktur, den Filterstatus, die Lufteinlassbedingungen und die Lüfterarbeitspunkte in die Zusatzliste auf und organisieren Sie dann einen Vergleich, nachdem der Lieferant geantwortet hat. Der bestätigte Messstellenplan, die vollständige Maschinenkonfiguration und die Schnittstelle werden zur Auftragsausführung verwendet und Beispielparameter können nicht als Ersatz für die Daten dieses Projekts verwendet werden. Bei der EFU-Lieferung konfiguriert Aili Industrial die komplette Maschine gemäß der Bestätigungszeichnung und den tatsächlichen Anforderungen. Ventilatoren, Filter, Kästen und Steuerungen entsprechen jedem Element in der Bestellliste, was es für den Gerätehersteller einfacher macht, Probleme zu lösen, bei denen die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit nicht den Anforderungen entspricht, und sie auf die überprüfbaren Bedingungen der gesamten Maschine zu übertragen.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Es sollte vermieden werden, die Gleichmäßigkeit nur durch Messung des Mittelpunkts zu beurteilen, die Messung der Windgeschwindigkeitsverteilung ohne Filterelement zu vermeiden, den Durchschnittswert ohne Betrachtung der Abweichung zu betrachten, strukturelle Probleme nicht als Lüfterprobleme zu behandeln und zu vermeiden, dass das Problem gelöst ist, ohne nach der Anpassung erneut nach demselben Plan zu testen. Wenn die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit nicht den Anforderungen entspricht, liegt möglicherweise ein Problem mit der Messstelle, den Arbeitsbedingungen, der Struktur, dem Filter, dem Lufteinlass oder dem Ventilator vor. Der Umfang der Fehlerbehebung muss Schritt für Schritt eingegrenzt werden. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Messpunkte, Arbeitsbedingungen und baulichen Gegebenheiten aufgeführt sind.

Verwandte Fragen und Antworten

Wird eine Erhöhung der Drehzahl zwangsläufig die Luftmenge proportional erhöhen?

unsicher. Die Systemwiderstandskurve und die Lüfterleistungskurve bestimmen gemeinsam den neuen Betriebspunkt.

Wie kann die Untersuchung der EFU-Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit gefördert werden, wenn die Projektinformationen unvollständig sind?

Das allgemeine Diagramm der Ausrüstung, der verfügbare Platz, die Zielluftmenge oder Windgeschwindigkeit, der Filtergrad, die Stromversorgung und die Steuerungsmethode können zunächst bereitgestellt werden, und der Lieferant wird die zu bestätigenden Punkte formulieren; Bevor die wichtigsten Arbeitsbedingungen bestätigt sind, ist es nicht angebracht, eine Entscheidung auf der Grundlage des Aussehens oder einer einzelnen Bewertung zu treffen. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Messpunkte, Arbeitsbedingungen und baulichen Gegebenheiten aufgeführt sind.

Welche konkreten Informationen muss ich für diese Frage vorbereiten?

Bereiten Sie aktuelle Projektinformationen zu Messbedingungen, Systemwiderständen und Lüfterbetriebspunkten vor. Die Gesamtzeichnung der Ausrüstung, das EFU-Bestätigungsblatt und das vollständige Maschinentestprotokoll sollten der tatsächlich gekauften Konfiguration entsprechen; Bei Unstimmigkeiten zwischen Katalog, Bestätigungszeichnung und Lieferprotokoll sollten zunächst Version und Geltungsbereich ermittelt werden. Wenn Sie sich mit Halbleitergeräten befassen, deren EFU-Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit nicht den Anforderungen entspricht, können Sie sich auf die vollständigen Anweisungen zur Maschinen- und Strukturunterstützung beziehen, die von Aili Industry nach Modell bereitgestellt werden.

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Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Luftaustrittsfläche und der Arbeitspunkt der gesamten Maschine können anhand der Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Die Luftführungsstruktur, das Strömungsausgleichsdesign und die komplette Maschinenschnittstelle müssen nicht zwischen mehreren Lieferanten übertragen werden. Die Gerätefabrik führt die Prüfung der Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit und die vollständige Maschinenanpassung innerhalb desselben Systems durch, was einfacher ist, die Konsistenz aufrechtzuerhalten als eine lieferantenübergreifende Koordination.

lernenAili Industrial EFU-Produkte und kundenspezifische Konfigurationen , die komplette Maschinenstruktur kann eingesehen werdenEFU-Geräteventilator-Filtereinheit , das Steuerungsschema kann eingesehen werdenDC-Geschwindigkeitsregulierende EFU-Geräte-Lüfterfiltereinheit , Filterpaket kann besichtigt werdenHEPA- und ULPA-Luftfilter , nicht standardmäßige Schnittstellen können angezeigt werdenBenutzerdefinierte EFU . Bitte reichen Sie in diesem Artikel die Prüfpunkte, den Geräteverbrauch und die geschätzte Menge ein, um die Bestätigung des entsprechenden Modells und Lieferumfangs zu erleichtern.