Comment vérifier les exigences ULPA en matière de faible dégazage ?

Les trois mots « faible dégazage » apparaissent de plus en plus fréquemment dans les documents de marchés publics. Semi-conducteurs, panneaux d'affichage, optique de précision, produits pharmaceutiques : de nombreux processus ont une tolérance de plus en plus faible aux composés organiques volatils présents dans l'air. En tant qu'élément clé du circuit d'alimentation en air, les filtres sont naturellement inclus dans le périmètre de contrôle.

Mais le « faible dégazage » en lui-même n’est pas un indicateur qui peut être établi seul. Ce à quoi il veut répondre, c'est : quelle substance, dans quelles conditions et quelle quantité est rejetée. Si ces trois éléments ne sont pas clairs, la vérification est impossible.

Une situation courante dans les projets réels est la suivante : le document d'approvisionnement indique 'un faible dégazage requis' et le fournisseur répond 'nos produits ont un faible dégazage'. Les deux parties pensent être parvenues à un consensus, mais ce n'est qu'après le contrôle d'acceptation qu'elles découvrent que le « faible dégazage » qu'elles comprennent n'est pas du tout la même chose. Par conséquent, la première étape de la vérification ne consiste pas à trouver une méthode de détection, mais à rédiger clairement les exigences.

Précisons d’abord à quoi fait spécifiquement référence le terme « libération ».

« Release » est un terme général et différents projets se concentrent sur des objectifs complètement différents.

Les processus de semi-conducteurs se concentrent généralement sur les siloxanes, les plastifiants, les amines, les gaz acides, etc. Ces substances peuvent former des films sur la surface de la tranche ou affecter les performances de la résine photosensible. Certains projets répertorieront des composés cibles spécifiques, tandis que d'autres donneront des limites pour le carbone organique total (COT) ou les composés organiques volatils totaux (COVT).

Les industries pharmaceutiques et biomédicales peuvent être concernées par les particules et les micro-organismes, et les exigences en matière de dégazage chimique dépendent du processus spécifique. Si la zone de remplissage aseptique est sensible à certains types de volatiles, des exigences de contrôle correspondantes seront également proposées.

Les panneaux d'affichage et les optiques de précision peuvent être concernés par l'impact de certains composés organiques sur les revêtements ou les propriétés optiques.

Différentes cibles correspondent à différentes méthodes de détection et normes de jugement. D'une manière générale, un « faible dégazage » signifie que le fournisseur ne peut pas confirmer quelles normes sont utilisées pour les tests, quelles substances sont testées et quelles sont les limites. Pour les méthodes de vérification spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes de l’accord technique.

Les conditions de test doivent également être claires. La température, l'humidité, le temps de contact et les méthodes d'échantillonnage affectent tous les résultats de dégazage. Pour un même produit, le volume de dégagement de gaz à 25°C et 60°C peut différer plusieurs fois. Les conditions d'essai doivent être notées sur le rapport. Le dégazage des données hors de ces conditions ne peut pas expliquer le problème.

La gamme de matériaux doit couvrir l'ensemble du produit

C’est là que les choses ont tendance à mal tourner.

Vous ne pouvez pas simplement tester le matériau du filtre. Un ULPA se compose d'un matériau filtrant, d'une couche de support, d'une colle d'étanchéité des bords, d'un cadre extérieur, d'un joint d'étanchéité et de matériaux d'emballage. Le dégazage peut provenir de n’importe lequel d’entre eux, et pas seulement du média filtrant lui-même.

Les produits d'étanchéité pour bords sont une source courante. Le colloïde peut libérer des substances volatiles organiques pendant le processus de durcissement ou lors d'un fonctionnement à long terme. Les caractéristiques de libération de gaz des différentes formulations colloïdales varient considérablement.

Les joints et les traitements de cadre sont également inclus. Les joints en caoutchouc ou en silicone peuvent libérer du siloxane ; le processus de revêtement, d'anodisation ou de passivation de la structure métallique peut laisser des résidus chimiques.

L’impact des matériaux d’emballage est facilement négligé. Une contamination croisée peut se produire si l'élément filtrant entre en contact avec des matériaux d'emballage contenant des substances volatiles pendant le transport et le stockage. Certains projets exigent que les matériaux d'emballage soient également inclus dans l'évaluation du dégazage.

Par conséquent, les échantillons de test fournis lors de la vérification doivent représenter la configuration complète du produit à fournir. Si seul un petit morceau de matériau filtrant est mesuré, le niveau de dégazage de l’ensemble du produit ne peut pas être déduit. Lors de sélections spécifiques, veuillez vous référer aux instructions de comparaison entre les matériaux filtrants en fibre de verre et en PTFE. impliquant filtres à air HEPA/ULPA , même logique. Vérification des

Les échantillons de test doivent être représentatifs des configurations réelles

La plage d'échantillons des tests de dégagement de gaz détermine directement si la conclusion de la vérification peut être utilisée.

L'échantillon est toujours la pièce entière. L'échantillon de matériau filtrant est pratique pour les tests en laboratoire, mais il ne couvre pas le colloïde, les joints et le cadre extérieur. Le test de la pièce entière est plus proche de l’état d’utilisation réel, mais les méthodes de test et les exigences en matière d’équipement sont plus élevées. La méthode à utiliser dépend des limites et des conditions de test requises par le projet.

Statut de l'échantillon. S'agit-il d'un élément filtrant tout neuf qui n'a pas été installé, ou est-il dans un état qui fonctionne depuis un certain temps ? Certains matériaux dégagent beaucoup de gaz au début et ont tendance à se stabiliser après un certain temps de fonctionnement. Si le projet se concentre sur l'état de fonctionnement à long terme, les conditions de détection doivent y correspondre.

Lieu de prélèvement. Le lieu et la manière dont l’échantillon est prélevé affectent les résultats. Qu'il s'agisse du côté sortie d'air ou du côté entrée d'air, de l'état statique ou de l'état de fonctionnement, tout doit être clarifié dans le plan de détection.

Choix de la méthode de détection. La spectrométrie de masse par chromatographie thermique-désorption gazeuse (TD-GC-MS) est une méthode courante pour détecter la libération de matière organique, mais les tubes d'échantillonnage, les conditions de désorption et les bases de données peuvent être différents selon les laboratoires. Si le projet nécessite une comparaison des données de différents fournisseurs, les méthodes de test doivent être unifiées. Pour des éléments de test spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes pour les tests en usine.

Vérification des échantillons et cohérence des lots

Après avoir réussi le test en laboratoire, comment garantir la cohérence du produit réel ?

Vérification d'un échantillon. Pour les projets avec des exigences strictes en matière de dégagement de gaz, il est recommandé de procéder d'abord à une vérification des échantillons - de prélever des échantillons en fonction de l'ensemble de la configuration à fournir et de les tester dans des conditions de travail réelles. Après avoir confirmé que le niveau de dégazage est dans la limite, passez à la production en série.

Premier élément confirmé. Lorsque la production en série commence, la première pièce est inspectée pour confirmer qu’elle correspond à l’échantillon. Une fois la première pièce passée, les produits suivants seront fabriqués en utilisant le même processus et les mêmes matériaux.

Gestion du changement. En cas de changements dans le fournisseur de matériaux, la formulation de colloïdes ou le processus de production, les effets de dégazage doivent être réévalués. On ne peut pas supposer que « le nom du matériau est le même » signifie que le niveau de dégagement de gaz est le même. Pour des procédures spécifiques, veuillez vous référer aux instructions relatives aux changements de lots de matériaux filtrants.

Des contrôles ponctuels réguliers. Pour les projets d'approvisionnement à long terme, des inspections aléatoires peuvent être effectuées selon la période convenue pour garantir le respect continu des exigences. La fréquence et les éléments des contrôles aléatoires sont déterminés en fonction du niveau de risque. impliquant La sélection du filtre à ultra haute efficacité ULPA peut être vérifiée en fonction des exigences du processus.

Conservation des enregistrements. Les informations sur les échantillons, les conditions de test, les résultats et les conclusions de chaque test doivent être archivées. Ces enregistrements seront utilisés pour des audits ultérieurs ou pour la recherche de problèmes.

Exemple de jugement de projet

Un projet d'équipement de semi-conducteurs exige que l'ULPA réponde aux exigences de faible dégazage, et le document d'approvisionnement indique que « le volume de dégazage répond aux normes de l'industrie ».

Le fournisseur a fourni un rapport de test TD-GC-MS du matériau filtrant, qui a montré que la principale teneur en matières volatiles était inférieure à la limite de détection. L'équipe du projet estime que les exigences sont satisfaites et achète en gros.

Après que l'équipement ait fonctionné pendant un certain temps, des traces de contamination par le siloxane ont été détectées sur la surface de la tranche en aval. L'enquête a révélé que la source de contamination était le joint d'étanchéité : le joint utilise une formule conventionnelle de gel de silice et libère du siloxane à la température de fonctionnement, mais cela n'a pas été abordé dans le rapport d'essai du matériau filtrant.

Méthode de traitement : Remplacer par un joint à faible dégazage et refaire l'intégralité du test de dégazage pour confirmer qu'il n'y a plus de contamination.

Le point clé dans ce cas est le suivant : le rapport sur les médias filtrants ne peut pas représenter l’intégralité du produit. Le dégazage peut provenir de n’importe quel composant et la portée de la vérification doit couvrir l’ensemble de la configuration. impliquant filtre HEPA haute efficacité est la même. La logique de sélection du

Liste de contrôle de sélection et d'acceptation

À propos du package de vérification des rejets de gaz d'Aili Industrial

La clé de la vérification d’un faible dégazage est de faire correspondre l’objet cible, la gamme de matériaux et les conditions de test. Ces trois points doivent être clairement rédigés au stade de l'accord, et il y aura une base pour une mise en œuvre ultérieure.

Aili Industry dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir Filtre ultra haute efficacité ULPA、Filtre HEPA à haute efficacité et équipement d'alimentation en air de support. Pour les projets comportant des exigences en matière de dégagement de gaz, nous pouvons vous aider à vérifier le type de matériau filtrant et la configuration complète du matériau en fonction des conditions du processus, de la liste des objets cibles et des exigences d'installation. Lorsque le filtre est associé à des équipements tels que FFU et EFU, les informations sur le matériau et les conditions d'interface peuvent également être confirmées de manière uniforme.

Lors de votre demande, indiquez les exigences en matière de dégazage, la liste des objets cibles et les méthodes de détection pour aider à confirmer la solution matérielle et le processus de vérification appropriés. La vérification spécifique sera soumise aux documents techniques et aux résultats d'essais confirmés par le projet.