Làm cách nào để xác minh các yêu cầu về lượng khí thải thấp của ULPA?

Ba từ “lượng khí thải thấp” xuất hiện ngày càng thường xuyên trong các tài liệu đấu thầu. Chất bán dẫn, bảng hiển thị, quang học chính xác, dược phẩm - nhiều quy trình có khả năng chịu đựng ngày càng thấp đối với các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi trong không khí. Là một thành phần quan trọng trong đường dẫn khí, các bộ lọc đương nhiên được đưa vào phạm vi kiểm soát.

Nhưng bản thân 'lượng khí thải thấp' không phải là một chỉ báo có thể được thiết lập một mình. Điều nó muốn trả lời là: chất gì, trong điều kiện nào và lượng được giải phóng là bao nhiêu. Nếu ba mục này không rõ ràng thì việc xác minh là không thể.

Một tình huống phổ biến trong các dự án thực tế là: tài liệu mua sắm nêu rõ 'yêu cầu lượng khí thải thấp' và nhà cung cấp trả lời 'sản phẩm của chúng tôi có lượng khí thải thấp'. Cả hai bên đều nghĩ rằng họ đã đạt được sự đồng thuận, nhưng chỉ sau khi kiểm tra chấp nhận, họ mới phát hiện ra rằng 'lượng khí thải thấp' mà họ hiểu hoàn toàn không giống nhau. Vì vậy, bước đầu tiên trong việc xác minh không phải là tìm ra phương pháp phát hiện mà là viết ra các yêu cầu một cách rõ ràng.

Trước tiên chúng ta hãy làm rõ việc “phát hành” đề cập cụ thể đến điều gì.

'Phát hành' là một thuật ngữ chung và các dự án khác nhau tập trung vào các mục tiêu hoàn toàn khác nhau.

Các quy trình bán dẫn thường tập trung vào siloxan, chất hóa dẻo, amin, khí axit, v.v. Những chất này có thể tạo thành màng trên bề mặt wafer hoặc ảnh hưởng đến hiệu suất quang điện. Một số dự án sẽ liệt kê các hợp chất mục tiêu cụ thể, trong khi những dự án khác sẽ đưa ra giới hạn về tổng lượng carbon hữu cơ (TOC) hoặc tổng hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (TVOC).

Các ngành công nghiệp dược phẩm và y sinh có thể quan tâm đến các hạt vật chất và vi sinh vật, và các yêu cầu về thoát khí hóa học phụ thuộc vào quy trình cụ thể. Nếu khu vực chiết rót vô trùng nhạy cảm với một số loại chất dễ bay hơi nhất định thì các yêu cầu kiểm soát tương ứng cũng sẽ được đưa ra.

Bảng hiển thị và quang học chính xác có thể liên quan đến tác động của một số hợp chất hữu cơ lên ​​lớp phủ hoặc tính chất quang học.

Các mục tiêu khác nhau tương ứng với các phương pháp phát hiện và tiêu chuẩn đánh giá khác nhau. Nói chung, 'lượng khí thoát ra thấp' có nghĩa là nhà cung cấp không thể xác nhận tiêu chuẩn nào được sử dụng để thử nghiệm, chất nào được thử nghiệm và giới hạn là gì. Để biết các phương pháp xác minh cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan của thỏa thuận kỹ thuật.

Các điều kiện thử nghiệm cũng phải rõ ràng. Nhiệt độ, độ ẩm, thời gian tiếp xúc và phương pháp lấy mẫu đều ảnh hưởng đến kết quả thoát khí. Đối với cùng một sản phẩm, lượng khí thoát ra ở 25°C và 60°C có thể khác nhau nhiều lần. Các điều kiện thử nghiệm cần được ghi chú trong báo cáo. Việc thải dữ liệu ra khỏi điều kiện không thể giải thích được vấn đề.

Phạm vi vật liệu phải bao gồm toàn bộ sản phẩm

Đây là nơi mọi thứ có xu hướng đi sai nhiều nhất.

Bạn không thể chỉ kiểm tra vật liệu lọc. ULPA bao gồm vật liệu lọc, lớp hỗ trợ, keo dán cạnh, khung bên ngoài, miếng đệm kín và vật liệu đóng gói. Sự thoát khí có thể đến từ bất kỳ thứ nào trong số này, không chỉ từ chính phương tiện lọc.

Chất bịt kín cạnh là một nguồn phổ biến. Chất keo có thể giải phóng các chất bay hơi hữu cơ trong quá trình đóng rắn hoặc trong quá trình hoạt động lâu dài. Đặc tính giải phóng khí của các công thức keo khác nhau rất khác nhau.

Các miếng đệm và phương pháp xử lý khung cũng được bao gồm. Các miếng đệm cao su hoặc silicon có thể giải phóng siloxane; quá trình phủ, anodizing hoặc thụ động hóa khung kim loại có thể để lại dư lượng hóa chất.

Tác động của vật liệu đóng gói dễ bị bỏ qua. Nhiễm bẩn chéo có thể xảy ra nếu phần tử lọc tiếp xúc với vật liệu đóng gói có chứa chất dễ bay hơi trong quá trình vận chuyển và bảo quản. Một số dự án yêu cầu vật liệu đóng gói cũng được đưa vào đánh giá lượng khí thoát ra.

Do đó, các mẫu thử nghiệm được cung cấp trong quá trình xác minh phải đại diện cho toàn bộ cấu hình sản phẩm sẽ được cung cấp. Nếu chỉ đo một phần nhỏ vật liệu lọc thì không thể suy ra mức thoát khí của toàn bộ sản phẩm. Khi lựa chọn cụ thể, vui lòng tham khảo hướng dẫn so sánh giữa sợi thủy tinh và vật liệu lọc PTFE. liên quan đến bộ lọc không khí HEPA/ULPA , logic tương tự. Xác minh

Mẫu thử nghiệm phải đại diện cho cấu hình thực tế

Phạm vi mẫu thử nghiệm giải phóng khí trực tiếp xác định xem có thể sử dụng kết luận xác minh hay không.

Mẫu vẫn là nguyên bộ. Mẫu vật liệu lọc thuận tiện cho việc thử nghiệm trong phòng thí nghiệm nhưng không che phủ lớp keo, vòng đệm và khung bên ngoài. Thử nghiệm toàn bộ gần với trạng thái sử dụng thực tế hơn, nhưng yêu cầu về phương pháp thử nghiệm và thiết bị cao hơn. Việc sử dụng phương pháp nào tùy thuộc vào giới hạn và điều kiện thử nghiệm mà dự án yêu cầu.

Tình trạng mẫu. Đây có phải là một phần tử lọc hoàn toàn mới chưa được lắp đặt hay nó đang ở trạng thái đã chạy được một thời gian? Một số vật liệu có độ thoát khí cao ở giai đoạn đầu và có xu hướng ổn định sau khi chạy một thời gian. Nếu dự án tập trung vào trạng thái hoạt động lâu dài thì các điều kiện phát hiện phải tương ứng với điều kiện này.

Vị trí lấy mẫu. Lấy mẫu ở đâu và như thế nào sẽ ảnh hưởng đến kết quả. Cho dù đó là phía thoát khí hay phía nạp khí, trạng thái tĩnh hay trạng thái chạy, tất cả đều cần được làm rõ trong kế hoạch phát hiện.

Lựa chọn phương pháp phát hiện. Phép đo khối phổ sắc ký khí giải hấp nhiệt (TD-GC-MS) là phương pháp phổ biến để phát hiện sự giải phóng chất hữu cơ, nhưng các ống lấy mẫu, điều kiện giải hấp và cơ sở dữ liệu có thể khác nhau ở các phòng thí nghiệm khác nhau. Nếu dự án yêu cầu so sánh dữ liệu từ các nhà cung cấp khác nhau thì các phương pháp thử nghiệm phải được thống nhất. Đối với các hạng mục thử nghiệm cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan để thử nghiệm tại nhà máy.

Xác minh mẫu và tính nhất quán của lô

Sau khi vượt qua bài kiểm tra trong phòng thí nghiệm, làm thế nào để đảm bảo tính nhất quán của sản phẩm thực tế?

Xác minh mẫu. Đối với các dự án có yêu cầu nghiêm ngặt về xả khí, trước tiên nên tiến hành xác minh mẫu - tạo mẫu theo toàn bộ cấu hình được cung cấp và thử nghiệm chúng trong điều kiện làm việc thực tế. Sau khi xác nhận rằng mức thoát khí nằm trong giới hạn, hãy tiến hành sản xuất hàng loạt.

Mục đầu tiên đã được xác nhận. Khi bắt đầu sản xuất hàng loạt, sản phẩm đầu tiên sẽ được kiểm tra để xác nhận rằng nó phù hợp với mẫu. Sau khi sản phẩm đầu tiên được thông qua, các sản phẩm tiếp theo sẽ được sản xuất bằng quy trình và vật liệu tương tự.

Thay đổi quản lý. Nếu có những thay đổi về nhà cung cấp nguyên liệu, công thức keo hoặc quy trình sản xuất thì tác động thải khí phải được đánh giá lại. Không thể cho rằng “tên vật liệu giống nhau” nghĩa là mức độ thoát khí giống nhau. Để biết các quy trình cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan đến thay đổi lô vật liệu lọc.

Kiểm tra tại chỗ thường xuyên. Đối với các dự án cung cấp dài hạn, việc kiểm tra ngẫu nhiên có thể được thực hiện theo khoảng thời gian đã thỏa thuận để đảm bảo liên tục tuân thủ các yêu cầu. Tần suất và các hạng mục kiểm tra ngẫu nhiên được xác định theo mức độ rủi ro. liên quan đến Việc lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được kiểm tra dựa trên các yêu cầu của quy trình.

Lưu giữ hồ sơ. Thông tin về mẫu, điều kiện thử nghiệm, kết quả và kết luận phán đoán của từng thử nghiệm phải được lưu trữ. Những hồ sơ này sẽ được sử dụng cho các lần kiểm tra tiếp theo hoặc truy tìm vấn đề.

Ví dụ về đánh giá dự án

Một dự án thiết bị bán dẫn yêu cầu ULPA phải đáp ứng các yêu cầu về lượng khí thải thấp và tài liệu mua sắm nêu rõ rằng 'khối lượng khí thải đáp ứng các tiêu chuẩn ngành'.

Nhà cung cấp đã cung cấp báo cáo thử nghiệm TD-GC-MS của vật liệu lọc, cho thấy hàm lượng chất dễ bay hơi chính nằm dưới giới hạn phát hiện. Nhóm dự án tin rằng các yêu cầu đã được đáp ứng và mua hàng với số lượng lớn.

Sau khi thiết bị đã hoạt động được một thời gian, một lượng vết ô nhiễm siloxane được phát hiện trên bề mặt wafer ở hạ lưu. Cuộc điều tra cho thấy nguồn ô nhiễm là do miếng đệm kín - miếng đệm sử dụng công thức silica gel thông thường và giải phóng siloxane ở nhiệt độ vận hành, nhưng điều này không được đề cập trong báo cáo thử nghiệm vật liệu lọc.

Phương pháp xử lý: Thay thế bằng miếng đệm có lượng khí thoát ra thấp và thực hiện lại toàn bộ quá trình kiểm tra lượng khí thoát ra để xác nhận rằng ô nhiễm không còn xảy ra nữa.

Điểm mấu chốt trong trường hợp này là: báo cáo phương tiện lọc không thể đại diện cho toàn bộ sản phẩm. Sự thoát khí có thể đến từ bất kỳ thành phần nào và phạm vi xác minh phải bao trùm toàn bộ cấu hình. liên quan đến bộ lọc hiệu suất cao HEPA là như nhau. Logic lựa chọn của

Danh sách kiểm tra lựa chọn và chấp nhận

Giới thiệu về gói xác minh phát thải khí của Aili Industrial

Chìa khóa để xác minh lượng khí thải thấp là phải phù hợp với đối tượng mục tiêu, phạm vi vật liệu và điều kiện thử nghiệm. Ba nội dung này cần được ghi rõ ràng trong giai đoạn thỏa thuận và sẽ có cơ sở để thực hiện sau này.

Aili Industry có khả năng sản xuất độc lập về bộ lọc, quạt, hệ thống điều khiển và gia công kim loại tấm và có thể cung cấp Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA、Bộ lọc hiệu suất cao HEPA và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án có yêu cầu giải phóng khí, chúng tôi có thể hỗ trợ kiểm tra loại vật liệu lọc và toàn bộ cấu hình vật liệu dựa trên điều kiện quy trình, danh sách đối tượng mục tiêu và yêu cầu lắp đặt. Khi bộ lọc được kết hợp với các thiết bị như FFU và EFU, thông tin vật liệu và điều kiện giao diện cũng có thể được xác nhận một cách thống nhất.

Khi tìm hiểu, hãy nêu rõ các yêu cầu về khí thải, danh sách đối tượng mục tiêu và phương pháp phát hiện để giúp xác nhận giải pháp vật liệu phù hợp và quy trình xác minh. Việc xác minh cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.