ULPA の低アウトガス要件を検証するにはどうすればよいですか?

「低アウトガス」という言葉が調達文書に頻繁に登場するようになりました。半導体、ディスプレイパネル、精密光学機器、医薬品など、多くのプロセスでは、空気中の揮発性有機化合物に対する耐性がますます低くなってきています。フィルタもエア供給経路のキーコンポーネントとして当然管理範囲に含まれます。

しかし、「低アウトガス」そのものは単独で確立できる指標ではありません。答えたいのは、どのような物質が、どのような条件で、どれだけ放出されるかということです。 この3点が明確でないと検証は不可能です。

実際のプロジェクトでは、調達書類に「低アウトガスが要求される」と記載されているのに、サプライヤーが「当社の製品は低アウトガスです」と返答するという状況がよくあります。両者は合意に達したと思っていますが、受け入れられて初めて、彼らが理解している「低ガス放出」がまったく同じものではないことがわかります。したがって、検証の最初のステップは、検出方法を見つけることではなく、要件を明確に書き出すことです。

まず「リリース」とは具体的に何を指すのかを明確にしてみましょう。

「ガス放出」は一般的な用語であり、異なるプロジェクトはまったく異なる目標に焦点を当てています。

半導体プロセスでは通常、シロキサン、可塑剤、アミン、酸性ガスなどが重点的に使用されます。これらの物質はウェーハ表面に膜を形成したり、フォトレジストの性能に影響を与えたりする可能性があります。特定のターゲット化合物をリストするプロジェクトもあれば、総有機炭素 (TOC) または総揮発性有機化合物 (TVOC) の制限を与えるプロジェクトもあります。

製薬および生物医学産業では粒子状物質や微生物が懸念される場合があり、化学物質のガス放出の要件は特定のプロセスによって異なります。無菌充填エリアが特定の種類の揮発性物質に敏感な場合は、対応する管理要件も提示されます。

ディスプレイパネルや精密光学機器では、コーティングや光学特性に対する特定の有機化合物の影響が懸念される場合があります。

対象が異なれば、検出方法や判定基準も異なります。 一般的に、「低アウトガス」とは、サプライヤーがテストにどのような基準が使用されるか、どのような物質がテストされるか、および制限が何であるかを確認できないことを意味します。具体的な検証方法については、技術契約の関連説明を参照してください。

試験条件も明確でなければなりません。 温度、湿度、接触時間、サンプリング方法はすべてガス放出結果に影響します。同じ製品でも、25℃と60℃ではガス放出量が数倍異なる場合があります。試験条件は報告書に記載する必要があります。条件外のガス放出データでは問題を説明できません。

材料範囲は製品全体をカバーする必要があります

ここが、物事が最もうまくいかない傾向にあるところです。

フィルターの材質をテストするだけでは済みません。 ULPA は、フィルター材料、支持層、エッジシール接着剤、外枠、シールガスケット、およびパッケージング材料で構成されます。ガスの発生は、フィルター媒体自体からだけでなく、これらのいずれかから発生する可能性があります。

エッジシーラントが一般的なソースです。 コロイドは、硬化プロセス中または長期間の操作中に有機揮発性物質を放出する可能性があります。異なるコロイド配合物のガス放出特性は大きく異なります。

ガスケットとフレーム処理も含まれます。 ゴムまたはシリコンのガスケットはシロキサンを放出する可能性があります。金属フレームのコーティング、陽極酸化処理、または不動態化処理により、化学残留物が残る場合があります。

梱包材の影響は見落とされがちです。 輸送および保管中にフィルターエレメントが揮発性物質を含む包装材料と接触すると、相互汚染が発生する可能性があります。一部のプロジェクトでは、梱包材もガス放出評価に含める必要があります。

したがって、検証中に提供されるテストサンプルは、提供される製品構成全体を表す必要があります。 フィルター材の小片のみを測定した場合、製品全体のガス放出レベルを推定することはできません。特定の選択を行う場合は、ガラス繊維と PTFE フィルター素材の比較手順を参照してください。関与する HEPA/ULPA エアフィルター の検証、同じロジック。

テストサンプルは実際の構成を代表するものでなければなりません

ガス放出試験のサンプル範囲は、検証結果が使用できるかどうかを直接決定します。

サンプルはまだ全編です。 フィルター素材のサンプルは実験室でのテストに便利ですが、コロイド、シール、外枠はカバーされていません。全体のピーステストは実際の使用状態に近くなりますが、テスト方法と機器の要件はより高くなります。どの方法を使用するかは、プロジェクトに必要な制限とテスト条件によって異なります。

サンプルのステータス。 フィルタエレメントは未装着の新品ですか、それとも一定期間使用した状態ですか？一部の材料は、初期段階でのガス放出が多く、一定期間の運転後に安定する傾向があります。プロジェクトが長期的な稼働状況に焦点を当てている場合、検出条件はこれに対応する必要があります。

サンプリング場所。 サンプルをどこでどのように採取するかが結果に影響します。排気側なのか吸気側なのか、静止状態なのか稼働状態なのかなどを検知計画で明確にする必要があります。

検出方法の選択。 昇温脱離ガスクロマトグラフィー質量分析 (TD-GC-MS) は有機物の放出を検出する一般的な方法ですが、サンプリング チューブ、脱着条件、データベースは研究室によって異なる場合があります。プロジェクトでさまざまなサプライヤーからのデータを比較する必要がある場合、テスト方法を統一する必要があります。特定のテスト項目については、工場テストの関連指示を参照してください。

サンプルの検証とバッチの一貫性

ラボテストに合格した後、実際の製品の一貫性をどのように確認しますか?

サンプル検証。 ガス放出要件が厳しいプロジェクトの場合は、最初にサンプル検証を行うことをお勧めします。提供される全体構成に従ってサンプルを作成し、実際の作業条件下でテストします。アウトガス量が規定値内であることを確認の上、量産に進みます。

最初の項目が確認されました。 量産が開始されると、最初のピースが検査され、サンプルと一致していることが確認されます。最初の作品が合格すると、次の製品は同じプロセスと材料で生産されます。

変更管理。 材料供給者、コロイド配合、または製造プロセスに変更があった場合は、ガス放出の影響を再評価する必要があります。 「材質名が同じ」ということは、ガスの放出レベルが同じであるとは考えられません。具体的な手順については、フィルター材のバッチ変更に関する手順を参照してください。

定期的なスポットチェック。 長期供給プロジェクトの場合は、合意された期間に従って抜き打ち検査を実施し、要件の継続的な遵守を確保することができます。抜き取り検査の頻度や項目はリスクレベルに応じて決定されます。関与する ULPA超高性能フィルタの選択を確認できます。 プロセス要件に基づいて

記録の保持。 各試験のサンプル情報、試験条件、結果および判定結果はアーカイブされる必要があります。これらの記録は、その後の監査や問題の追跡に使用されます。

プロジェクトの判断例

ある半導体装置プロジェクトでは低アウトガス要件を満たすことがULPAに求められており、調達文書には「アウトガス量は業界標準に準拠している」と記載されている。

サプライヤーはフィルター素材の TD-GC-MS テストレポートを提供し、主要な揮発性物質の含有量が検出限界未満であることを示しました。プロジェクト チームは要件が満たされていると信じており、大量に購入します。

装置を一定期間稼働させた後、下流のウェーハ表面で微量のシロキサン汚染が検出されました。調査の結果、汚染源はシーリングガスケットであることが判明しました。ガスケットは従来のシリカゲル配合を使用しており、動作温度でシロキサンを放出しますが、これはフィルター材料のテストレポートには記載されていませんでした。

処置方法: アウトガスの少ないガスケットに交換し、アウトガステスト全体をやり直して、汚染が発生しなくなったことを確認します。

この場合の重要な点は、フィルターメディアレポートは製品全体を表すことができないということです。 ガス放出は任意の 1 つのコンポーネントから発生する可能性があり、検証の範囲は構成全体をカバーする必要があります。関与する HEPA高効率フィルター の選択ロジックも同様です。

選択と承認のチェックリスト

Aili Industrialのガス放出検証パッケージについて

低アウトガス検証の鍵は、対象物、材料範囲、試験条件を一致させることです。この3項目は契約段階で明確に記載し、その後の実施に向けた根拠を設ける必要があります。

Aili Industry は、フィルター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、 ULPA超高性能フィルター、HEPA高効率フィルター とそれに対応した給気装置。ガス放出要件のあるプロジェクトの場合、プロセス条件、対象物リスト、設置要件に基づいてフィルター材質の種類と材質全体の構成を確認するお手伝いをいたします。 FFUやEFUなどの機器とフィルタをマッチングさせると、材料情報や界面状態も一元的に確認できます。

お問い合わせの際は、適切な材料ソリューションと検証プロセスを確認するために、ガス放出要件、対象物リスト、検出方法を明記してください。具体的な検証は、プロジェクトによって確認された技術文書およびテスト結果に従うものとします。