Как проверить требования ULPA по низкой дегазации?

Три слова «низкое газовыделение» все чаще встречаются в закупочной документации. Полупроводники, панели дисплеев, прецизионная оптика, фармацевтика — многие процессы становятся все менее устойчивыми к летучим органическим соединениям в воздухе. В качестве ключевого компонента на пути подачи воздуха фильтры, естественно, входят в объем регулирования.

Но «низкая дегазация» сама по себе не является показателем, который можно установить в одиночку. Он хочет ответить: какое вещество, при каких условиях и в каком количестве высвобождается. Если эти три пункта не ясны, проверка невозможна.

Обычная ситуация в реальных проектах: в документе о закупке указано «необходимо низкое газовыделение», а поставщик отвечает: «Наша продукция имеет низкое газовыделение». Обе стороны думают, что достигли консенсуса, но только после приемочной проверки они обнаруживают, что понятная им «низкая дегазация» — это совсем не одно и то же. Поэтому первый шаг проверки — не найти метод обнаружения, а четко прописать требования.

Давайте сначала проясним, что именно означает «выпуск».

«Релиз» — это общий термин, и разные проекты ориентированы на совершенно разные цели.

В полупроводниковых процессах обычно используются силоксаны, пластификаторы, амины, кислотные газы и т. д. Эти вещества могут образовывать пленки на поверхности пластин или влиять на характеристики фоторезиста. В некоторых проектах будут перечислены конкретные целевые соединения, в то время как в других будут указаны ограничения на общее количество органического углерода (TOC) или общее количество летучих органических соединений (TVOC).

Фармацевтическая и биомедицинская промышленность могут иметь дело с твердыми частицами и микроорганизмами, а требования к химической дегазации зависят от конкретного процесса. Если зона асептического розлива чувствительна к определенным видам летучих веществ, также будут выдвинуты соответствующие требования по контролю.

Панели дисплеев и прецизионная оптика могут быть связаны с воздействием определенных органических соединений на покрытия или оптические свойства.

Разные цели соответствуют разным методам обнаружения и стандартам оценки. Вообще говоря, «низкое выделение газов» означает, что поставщик не может подтвердить, какие стандарты используются для тестирования, какие вещества проверяются и каковы пределы. Конкретные способы проверки указаны в соответствующих указаниях технического соглашения.

Условия тестирования также должны быть ясными. Температура, влажность, время контакта и методы отбора проб влияют на результаты газовыделения. Для одного и того же продукта объем газовыделения при 25°С и 60°С может отличаться в несколько раз. Условия испытаний должны быть отмечены в отчете. Выделение данных из условий не может объяснить проблему.

Ассортимент материалов должен охватывать все изделие.

Именно здесь дела чаще всего идут не так.

Вы не можете просто проверить фильтрующий материал. ULPA состоит из фильтрующего материала, опорного слоя, клея для герметизации кромок, внешней рамы, уплотнительной прокладки и упаковочных материалов. Выделение газа может происходить из-за любого из них, а не только из-за самого фильтрующего материала.

Краевые герметики являются распространенным источником. Коллоид может выделять летучие органические вещества в процессе отверждения или во время длительной эксплуатации. Характеристики газовыделения различных коллоидных составов сильно различаются.

В комплект также входят прокладки и обработка рамы. Резиновые или силиконовые прокладки могут выделять силоксан; процесс покрытия, анодирования или пассивации металлического каркаса может оставить химические остатки.

Влияние упаковочных материалов легко упустить из виду. Перекрестное загрязнение может произойти в случае контакта фильтрующего элемента с упаковочными материалами, содержащими летучие вещества, во время транспортировки и хранения. Некоторые проекты требуют, чтобы упаковочные материалы также были включены в оценку газовыделения.

Таким образом, тестовые образцы, предоставленные во время проверки, должны представлять всю конфигурацию поставляемого продукта. Если измеряется только небольшой кусок фильтрующего материала, невозможно определить уровень газовыделения всего продукта. При выборе конкретного варианта обратитесь к инструкциям по сравнению фильтрующих материалов из стекловолокна и ПТФЭ. с участием воздушных фильтров HEPA/ULPA , логика та же. Проверка

Тестовые образцы должны быть репрезентативными для реальных конфигураций.

От диапазона выборки испытаний на выделение газа напрямую зависит, можно ли использовать заключение поверки.

Образец по-прежнему представляет собой цельный кусок. Образец фильтрующего материала удобен для лабораторных исследований, но не покрывает коллоид, уплотнители и внешний каркас. Испытание всей детали ближе к состоянию фактического использования, но методы испытаний и требования к оборудованию выше. Какой метод использовать, зависит от ограничений и условий тестирования, требуемых проектом.

Образец статуса. Это новый фильтрующий элемент, который не устанавливался, или он находится в состоянии, проработавшем в течение определенного периода времени? Некоторые материалы выделяют большое количество газов на начальном этапе и имеют тенденцию стабилизироваться после эксплуатации в течение определенного периода времени. Если проект ориентирован на долгосрочное рабочее состояние, условия обнаружения должны этому соответствовать.

Место отбора проб. Место и способ взятия пробы влияет на результаты. Будь то сторона выпуска воздуха или сторона впуска воздуха, статическое состояние или рабочее состояние, все это необходимо уточнить в плане обнаружения.

Выбор метода обнаружения. Термодесорбционно-газовая хроматография-масс-спектрометрия (ТД-ГХ-МС) является распространенным методом обнаружения выделения органических веществ, однако пробирки для отбора проб, условия десорбции и базы данных могут различаться в разных лабораториях. Если проект требует сравнения данных от разных поставщиков, методы тестирования должны быть унифицированы. Подробные сведения о тестировании см. в соответствующих инструкциях по заводским испытаниям.

Проверка образцов и согласованность партий

Как после прохождения лабораторных испытаний обеспечить консистенцию настоящего продукта?

Примерная проверка. Для проектов со строгими требованиями по выбросу газов рекомендуется сначала провести проверку образцов – изготовить образцы в соответствии со всей поставляемой конфигурацией и протестировать их в реальных рабочих условиях. Убедившись, что уровень газовыделения находится в пределах нормы, приступайте к серийному производству.

Первый товар подтвержден. Когда начинается массовое производство, первая деталь проверяется на предмет соответствия образцу. После прохождения первой детали последующие изделия будут производиться с использованием того же процесса и материалов.

Управление изменениями. Если произошли изменения в поставщике материала, рецептуре коллоида или производственном процессе, следует провести повторную оценку последствий газовыделения. Нельзя предполагать, что «название материала такое же» означает одинаковый уровень газовыделения. Конкретные процедуры см. в инструкциях по смене партий фильтрующего материала.

Регулярные выборочные проверки. Для долгосрочных проектов поставок выборочные проверки могут проводиться в соответствии с согласованным периодом, чтобы обеспечить постоянное соблюдение требований. Частота и объекты выборочных проверок определяются в зависимости от уровня риска. с участием Выбор сверхвысокоэффективного фильтра ULPA можно проверить в зависимости от технологических требований.

Сохранение записи. Информация об образце, условиях испытаний, результатах и ​​заключениях каждого испытания должна быть заархивирована. Эти записи будут использоваться для последующих проверок или отслеживания проблем.

Пример оценки проекта

Проект полупроводникового оборудования требует, чтобы ULPA отвечала низким требованиям по выделению газа, а в документе о закупках указано, что «объем выделения газа соответствует отраслевым стандартам».

Поставщик предоставил отчет об испытаниях фильтрующего материала методом TD-GC-MS, который показал, что содержание основных летучих веществ было ниже предела обнаружения. Команда проекта считает, что требования соблюдены, и закупает оптом.

После того, как оборудование проработало некоторое время, на последующей поверхности пластины были обнаружены следовые количества силоксанового загрязнения. Расследование показало, что источником загрязнения была уплотнительная прокладка - в прокладке используется обычная формула силикагеля, и при рабочей температуре выделяется силоксан, но это не было отражено в отчете об испытаниях фильтрующего материала.

Метод очистки: Замените прокладку с низким выделением газов и повторите весь тест на выделение газов, чтобы убедиться, что загрязнения больше не происходит.

Ключевым моментом в этом случае является то, что отчет о фильтрующем материале не может отражать весь продукт. Выделение газа может происходить из любого отдельного компонента, и объем проверки должен охватывать всю конфигурацию. с участием высокоэффективного HEPA-фильтра аналогична. Логика выбора

Контрольный список выбора и приемки

О пакете проверки выбросов газа Aili Industrial

Ключом к проверке низкого выделения газов является соответствие целевого объекта, диапазона материалов и условий испытаний. Эти три пункта должны быть четко прописаны на этапе согласования, и тогда появится основа для последующей реализации.

Aili Industry имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла и может предоставить ULPA фильтр сверхвысокой эффективности、Высокоэффективный фильтр HEPA и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов, в которых предусмотрены требования к выбросу газов, мы можем помочь в проверке типа фильтрующего материала и всей конфигурации материала на основе условий процесса, списка целевых объектов и требований к установке. Когда фильтр совместим с таким оборудованием, как FFU и EFU, информация о материале и условиях взаимодействия также может быть подтверждена единообразно.

При запросе укажите требования к дегазации, список целевых объектов и методы обнаружения, чтобы помочь подтвердить подходящее материальное решение и процесс проверки. Конкретной проверке подлежат технические документы и результаты испытаний, подтвержденные проектом.