Как выбрать ULPA для процессов, чувствительных к бору?

В производстве полупроводников существует тип процесса, в котором крайне низкая толерантность к бору. При ионной имплантации, диффузии легирующих примесей и процессе травления в некоторых сложных процессах следовые количества бора могут повлиять на электрические характеристики устройства, и этот эффект часто проявляется только в последующих испытаниях.

При выборе ULPA для этого типа процесса возникает проблема: обычные фильтрующие материалы из стекловолокна сами по себе могут содержать бор.

Бор является распространенной добавкой в ​​процессе производства стекловолокна. Чувствительные к бору процессы находятся под угрозой, если фильтрующий материал выделяет борсодержащие частицы в воздушный поток или если фильтрующий материал удерживает борсодержащие материалы во время производственного процесса. Это не дефект продукта, а неотъемлемое свойство материальной системы. Поэтому при выборе следует учитывать не только марку и стойкость, но и то, подходит ли сам материал для данного процесса.

Для начала давайте проясним, что конкретно означает «чувствительность к бору».

Различные процессы имеют разные опасения по поводу бора. Прежде чем сделать выбор, пожалуйста, ознакомьтесь с фактическими требованиями проекта.

На какие показатели вы ориентируетесь? Это предел содержания бора в фильтрующем материале, концентрация выделения бора в газовом потоке или количество отложений бора на поверхности последующей пластины? Методы обнаружения, диапазоны выборки и стандарты оценки этих трех показателей совершенно различны.

Каковы ограничения? Следовые количества, следовые количества и ультра-следовые количества, соответствующие материалы и требования к тестированию сильно различаются. Некоторые процессы ограничивают бор до уровня частей на миллиард, в то время как другие ограничивают его до уровня частей на миллиард. Чем жестче ограничения, тем выше стоимость проверки и проверки материалов.

Каковы условия тестирования? Температура, влажность, скорость воздушного потока, время контакта — эти условия влияют на поведение бора. Условия испытаний должны быть указаны в протоколе испытаний. Данные о содержании бора, находящиеся в неудовлетворительном состоянии, не могут объяснить проблему. Конкретные способы проверки указаны в соответствующих указаниях технического соглашения.

Откуда возникает риск? Выделяется ли он самим фильтрующим материалом или попадает в процессе производства, транспортировки и установки фильтрующего материала? Разные источники требуют разных мер контроля. Только после четкого подтверждения этих данных мы можем судить, какое материальное решение является более подходящим.

Из каких звеньев можно ввести бор?

Потенциальные источники бора не ограничиваются фильтрующими материалами.

Корпус фильтра. Бор является распространенным компонентом фильтрующих материалов из стекловолокна, тогда как фильтрующие материалы из ПТФЭ обычно не содержат бора. Если проект особенно чувствителен к бору, обычно предпочтительным фильтрующим материалом является ПТФЭ.

Краевые герметики и прокладки. Коллоиды и герметизирующие материалы могут содержать соединения бора или борсодержащие добавки. Даже если сам фильтрующий материал не содержит бора, источником его могут быть эти вспомогательные материалы.

Каркас и отделка. При нанесении покрытия, анодировании и пассивации поверхности металлического каркаса могут использоваться борсодержащие вещества. Некоторые составы для обработки поверхности алюминиевых сплавов содержат бор.

Упаковочные материалы. Если упаковочный материал фильтрующего элемента содержит бор, при транспортировке и хранении может возникнуть перекрестное загрязнение.

производственная среда. Если в оборудовании, инструментах и ​​окружающей среде, с которыми контактируют в процессе изготовления фильтров, присутствуют борсодержащие вещества, возможно также попадание загрязнений.

Поэтому при выборе нужно проверять весь перечень материалов, а не только «содержит ли фильтрующий материал бор?» Обозначение ПТФЭ или описание «с низким содержанием бора» само по себе не доказывает, что все детали будут соответствовать технологическим ограничениям. Каждый фрагмент материала должен быть подкреплен соответствующей информацией.

Как проверить и подтвердить

После определения направления материала этапы проверки и проверки примерно следующие.

Запросите список материалов. Уточните у поставщика состав материала всего изделия — фильтрующий материал, опорный слой, клей для герметизации кромок, внешнюю рамку, уплотнительную прокладку и упаковочные материалы. Подтверждайте по каждому предмету, содержит ли он бор или был ли он обработан низким содержанием бора.

Подтвердите протокол испытаний. Если для проекта требуются данные о содержании бора или выбросах, подтвердите метод обнаружения, диапазон проб, условия испытаний и критерии оценки. Данные образца фильтрующего материала не могут отражать весь готовый продукт, и объект испытаний должен быть подтвержден в соответствии с требованиями проекта. Подробные сведения о тестировании см. в соответствующих инструкциях по заводским испытаниям.

Примерная проверка. Для проектов со строгими требованиями по контролю содержания бора рекомендуется сначала провести выборочную проверку. Проведите тестирование в реальных рабочих условиях, чтобы убедиться, что уровень выброса находится в пределах допустимого. После утверждения образца его можно использовать партиями.

Управление изменениями. Если произошли изменения в поставщиках материалов, рецептурах или производственных процессах, влияние бора следует переоценить. Нельзя предполагать, что «название материала такое же» означает то же исполнение. Конкретные процедуры см. в инструкциях по смене партий фильтрующего материала.

Также следует уделить внимание монтажу и обслуживанию. Инструменты, чистящие средства и перчатки, используемые во время установки, также могут стать источником загрязнения, если они содержат бор. Рабочие процедуры при замене фильтров должны включать требования по контролю содержания бора. с участием Выбор сверхвысокоэффективного фильтра ULPA можно проверить на основе требований конкретного процесса.

Контрольный список выбора и приемки

Пример оценки проекта

Некоторые полупроводниковые процессы чувствительны к бору, поэтому оборудование должно быть оснащено дополнительным ULPA-фильтром.

Поставщик предлагает два решения: обычное стекловолокно U15 и ПТФЭ U15. Марка и стойкость раствора стекловолокна соответствуют требованиям, но сам фильтрующий материал содержит бор, и команда проекта не может подтвердить, находится ли уровень выброса в пределах допустимого. Фильтрующий материал раствора ПТФЭ не содержит бора, но необходимо дополнительно проверить клей для уплотнения кромок, уплотнительную прокладку и обработку поверхности внешней рамы.

Результаты проверки: Клей для герметизации кромок имеет традиционную формулу и не имеет специальной маркировки как с низким содержанием бора; внешняя рама анодирована, а обрабатывающий раствор содержит бор. Команда проекта требует от поставщиков предоставить данные о содержании бора в герметиках кромок и внешних рамах, а также оценить риск выброса бора в технологических условиях.

Ключевым моментом в данном случае является то, что выбор ПТФЭ в качестве фильтрующего материала не означает, что во всем продукте мало бора. Не менее важна проверка вспомогательных материалов. с участием Логика аналогична выбору воздушных фильтров HEPA/ULPA .

О пакетах конфигурации материалов Aili Industrial

Для процессов, чувствительных к бору, основой выбора является управляемость всего материала. Фильтрующий материал представляет собой только одно звено, а коллоид, уплотнения, внешняя рамка и упаковочные материалы должны быть подтверждены по одному.

Aili Industry имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла и может предоставить ULPA фильтр сверхвысокой эффективности、Высокоэффективный фильтр HEPA и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов с особыми требованиями к материалам мы можем помочь в проверке типа фильтрующего материала и всей конфигурации материала с учетом технологических ограничений и условий установки. Когда фильтр совместим с таким оборудованием, как FFU и EFU, информация о материале и условиях взаимодействия также может быть подтверждена единообразно.

При оформлении запроса укажите требования к контролю содержания бора, методы обнаружения и предельные условия, чтобы помочь подтвердить подходящее материальное решение. Конкретный выбор зависит от технической документации и результатов испытаний, подтвержденных проектом.