붕소에 민감한 공정에 대해 ULPA를 선택하는 방법은 무엇입니까?

붕소에 대한 내성이 극도로 낮은 반도체 제조 공정이 있습니다. 이온 주입, 도핑 확산 등의 식각 공정과 일부 고급 공정에서 미량의 붕소 오염이 장치의 전기적 성능에 영향을 미칠 수 있으며, 이 효과는 후속 테스트에서만 나타나는 경우가 많습니다.

이러한 유형의 공정에 ULPA를 선택할 때 문제가 발생합니다. 기존의 유리 섬유 필터 재료 자체에 붕소가 포함될 수 있습니다.

붕소는 유리섬유 제조 과정에서 흔히 사용되는 첨가제입니다. 필터 매체가 공기 흐름에 붕소 함유 입자를 방출하거나 제조 공정 중에 필터 매체에 붕소 함유 물질이 남아 있는 경우 붕소에 민감한 공정은 위험합니다. 이는 제품 결함이 아니라 재료 시스템의 고유한 특성입니다. 따라서 선정 시에는 등급이나 저항성뿐만 아니라 소재 자체가 해당 공정에 적합한지 여부도 고려해야 합니다.

먼저, '붕소에 민감하다'는 것이 구체적으로 무엇을 의미하는지 명확히 합시다.

공정마다 붕소에 대한 관심이 다릅니다. 선택하기 전에 프로젝트의 실제 요구 사항을 이해하십시오.

어떤 지표에 중점을 두고 있나요? 필터 재료의 붕소 함량 한계, 가스 흐름의 붕소 방출 농도, 아니면 다운스트림 웨이퍼 표면의 붕소 증착량입니까? 이 세 가지 지표의 탐지 방법, 표본 범위 및 판단 기준은 완전히 다릅니다.

한계는 무엇입니까? 미량, 미량 및 초미량에 해당하는 재료 및 테스트 요구 사항은 크게 다릅니다. 일부 공정에서는 붕소를 ppb 수준으로 제한하고 다른 공정에서는 ppt 수준으로 제한합니다. 제한이 엄격할수록 재료 심사 및 검증 비용이 높아집니다.

테스트 조건은 무엇입니까? 온도, 습도, 공기 유량, 접촉 시간 등의 조건은 붕소의 방출 거동에 영향을 미칩니다. 테스트 조건은 테스트 보고서에 기록되어야 합니다. 상태가 좋지 않은 붕소 함량 데이터로는 문제를 설명할 수 없습니다. 구체적인 검증 방법은 기술 계약의 관련 지침을 참조하세요.

위험은 어디에서 오는가? 필터재 자체에서 배출되나요, 아니면 필터재 생산, 운송, 설치 과정에서 유입되나요? 소스에 따라 다른 제어 조치가 필요합니다. 이러한 사항을 명확하게 확인한 후에만 어떤 재료 솔루션이 더 적합한지 판단할 수 있습니다.

붕소는 어떤 링크에서 도입될 수 있나요?

붕소의 잠재적 공급원은 필터 매체에만 국한되지 않습니다.

필터 본체. 붕소는 유리 섬유 필터 매체의 일반적인 구성 요소인 반면, PTFE 필터 매체에는 일반적으로 붕소가 포함되어 있지 않습니다. 프로젝트가 붕소에 특히 민감한 경우 일반적으로 PTFE가 선호되는 필터 매체 방향입니다.

가장자리 실런트 및 개스킷. 콜로이드 및 밀봉재에는 붕소 화합물이나 붕소 함유 첨가제가 포함될 수 있습니다. 필터 재료 자체에 붕소가 포함되어 있지 않더라도 이러한 보조 재료가 소스가 될 수 있습니다.

프레임과 마감. 금속 프레임의 코팅, 양극 산화 처리 및 표면 보호 공정에는 붕소 함유 물질이 포함될 수 있습니다. 알루미늄 합금의 일부 표면 처리 제제에는 붕소가 포함되어 있습니다.

포장재. 필터 엘리먼트의 포장재에 붕소가 포함되어 있는 경우 운송 및 보관 중에 교차 오염이 발생할 수 있습니다.

생산 환경. 필터 제조 과정에서 접촉하는 장비, 도구, 환경에 붕소 함유 물질이 존재할 경우 오염이 발생할 수도 있습니다.

따라서 선택할 때 확인해야 할 것은 단순히 '필터재에 붕소가 포함되어 있는가?'가 아닌 전체 재료목록입니다. PTFE 지정 또는 '낮은 붕소' 설명만으로는 모든 부품이 공정 제한 사항을 준수한다는 것을 증명할 수 없습니다. 각 자료는 해당 정보로 뒷받침되어야 합니다.

확인 및 확인 방법

재료 방향을 결정한 후 확인 및 검증을 위한 단계는 대략 다음과 같습니다.

자료 목록을 요청합니다. 필터 재료, 지지층, 가장자리 밀봉 접착제, 외부 프레임, 밀봉 개스킷 및 포장재 등 전체 제품의 재료 구성에 대해 공급업체에 문의하십시오. 붕소 함유 여부, 저붕소 처리 처리 여부를 품목별로 확인하세요.

테스트 보고서를 확인하십시오. 프로젝트에 붕소 함량 또는 방출 데이터가 필요한 경우 검출 방법, 샘플 범위, 테스트 조건 및 판단 기준을 확인하십시오. 필터 재료 샘플의 데이터는 완제품 전체를 나타낼 수 없으며 프로젝트 요구 사항에 따라 테스트 대상을 확인해야 합니다. 특정 테스트 항목에 대해서는 공장 테스트 관련 지침을 참조하십시오.

샘플 검증. 엄격한 붕소 제어 요구 사항이 있는 프로젝트의 경우 먼저 샘플 검증을 수행하는 것이 좋습니다. 실제 작업 조건에서 테스트하여 방출 수준이 한계 내에 있는지 확인하십시오. 샘플이 승인된 후 일괄적으로 사용할 수 있습니다.

변경 관리. 재료 공급업체, 제제 또는 생산 공정이 변경되면 붕소의 영향을 재평가해야 합니다. '재료명이 같다'고 해서 성능이 같다고 단정할 수는 없습니다. 구체적인 절차는 필터 재료 배치 변경과 관련된 지침을 참조하십시오.

설치 및 유지 관리에도 주의를 기울여야 합니다. 설치 중에 사용되는 도구, 세척제, 장갑에도 붕소가 포함되어 있으면 오염이 발생할 수 있습니다. 필터 교체 시 작동 절차에는 붕소 제어 요구 사항이 포함되어야 합니다. 관련된 ULPA 초고효율 필터 의 선택은 특정 공정 요구 사항에 따라 확인할 수 있습니다.

선택 및 승인 체크리스트

프로젝트 판단 예시

특정 반도체 공정은 붕소에 민감하므로 장비에는 옵션으로 제공되는 ULPA 필터를 장착해야 합니다.

공급업체는 기존 유리섬유 U15와 PTFE U15라는 두 가지 솔루션을 제공합니다. 유리섬유 용액의 등급과 저항성은 요구사항을 충족하지만, 필터 재료 자체에 붕소가 포함되어 있어 방출 수준이 한도 내에 있는지 프로젝트 팀에서는 확인할 수 없습니다. PTFE 용액의 필터 재료에는 붕소가 포함되어 있지 않지만 가장자리 밀봉 접착제, 밀봉 개스킷 및 외부 프레임 표면 처리를 추가로 확인해야 합니다.

결과 확인: 가장자리 밀봉 접착제는 일반적인 방식이며 붕소 함량이 낮다는 표시가 특별히 표시되어 있지 않습니다. 외부 프레임은 양극 산화 처리되어 있으며 처리 용액에는 붕소가 포함되어 있습니다. 프로젝트 팀은 공급업체에게 가장자리 밀봉재와 외부 프레임의 붕소 함량에 대한 데이터를 제공하고 공정 조건에서 방출 위험을 평가하도록 요구합니다.

이 경우의 핵심은 필터 재료로 PTFE를 선택한다고 해서 전체 제품의 붕소 함량이 낮다는 의미는 아닙니다. 지원 자료의 검증도 마찬가지로 중요합니다. 관련된 HEPA/ULPA 공기 필터를 선택할 때 논리는 동일합니다 .

Aili Industrial의 재료 구성 패키지 정보

붕소에 민감한 공정의 경우 선택의 핵심은 전체 재료의 제어 가능성입니다. 필터 재료는 하나의 링크일 뿐이며 콜로이드, 씰, 외부 프레임 및 포장 재료를 모두 하나씩 확인해야 합니다.

Aili Industry는 필터, 팬, 제어 시스템 및 판금 가공 분야에서 독립적인 제조 역량을 보유하고 있으며 ULPA 초고효율 필터、HEPA 고효율 필터 및 보조 공기 공급 장비. 특별한 재료 요구 사항이 있는 프로젝트의 경우 프로세스 제한 및 설치 조건을 기반으로 필터 매체 유형 및 전체 재료 구성을 확인하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 필터를 FFU, EFU 등의 장비와 매칭하면 재료정보와 인터페이스 조건도 균일하게 확인할 수 있습니다.

문의 시 적절한 재료 솔루션을 확인하는 데 도움이 되는 붕소 제어 요구 사항, 검출 방법 및 제한 조건을 지정하십시오. 특정 선택은 프로젝트에서 확인한 기술 문서 및 테스트 결과에 따라 달라집니다.