Wie wählt man ULPA für borempfindliche Prozesse aus?

Es gibt einen Prozesstyp in der Halbleiterfertigung, der eine äußerst geringe Toleranz gegenüber Bor aufweist. Bei der Ionenimplantation, der Dotierungsdiffusion und dem Ätzprozess einiger fortgeschrittener Prozesse können Spuren von Borverunreinigungen die elektrische Leistung des Geräts beeinträchtigen, und dieser Effekt wird oft erst in nachfolgenden Tests sichtbar.

Bei der Wahl von ULPA für einen solchen Prozess entsteht ein Problem: Herkömmliche Glasfaserfiltermaterialien können selbst Bor enthalten.

Bor ist ein häufiger Zusatzstoff im Herstellungsprozess von Glasfaser. Borempfindliche Prozesse sind gefährdet, wenn das Filtermedium borhaltige Partikel in den Luftstrom abgibt oder wenn das Filtermedium während des Herstellungsprozesses borhaltige Materialien zurückhält. Hierbei handelt es sich nicht um einen Produktfehler, sondern um eine inhärente Eigenschaft des Materialsystems. Daher sollte bei der Auswahl nicht nur auf Qualität und Beständigkeit geachtet werden, sondern auch darauf, ob das Material selbst für den Prozess geeignet ist.

Lassen Sie uns zunächst klären, was „empfindlich gegenüber Bor“ konkret bedeutet.

Verschiedene Prozesse haben unterschiedliche Bedenken hinsichtlich Bor. Bitte verstehen Sie vor der Auswahl die tatsächlichen Projektanforderungen.

Auf welche Indikatoren konzentrieren Sie sich? Ist es die Grenze des Borgehalts des Filtermaterials, die Freisetzungskonzentration von Bor im Gasstrom oder die Menge der Borablagerung auf der Oberfläche des nachgeschalteten Wafers? Die Nachweismethoden, Stichprobenbereiche und Beurteilungsstandards dieser drei Indikatoren sind völlig unterschiedlich.

Was sind die Grenzen? Spurenmengen, Spurenmengen und Ultraspurenmengen, die entsprechenden Materialien und Testanforderungen variieren stark. Einige Prozesse begrenzen Bor auf den ppb-Bereich, während andere ihn auf den ppt-Bereich begrenzen. Je strenger die Grenzwerte, desto höher sind die Kosten für die Materialprüfung und -verifizierung.

Was sind die Testbedingungen? Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Luftdurchsatz, Kontaktzeit – diese Bedingungen können das Freisetzungsverhalten von Bor beeinflussen. Die Prüfbedingungen sind im Prüfbericht zu vermerken. Falsche Daten zum Borgehalt können das Problem nicht erklären. Spezifische Verifizierungsmethoden entnehmen Sie bitte den entsprechenden Anweisungen der technischen Vereinbarung.

Woher kommt das Risiko? Wird es vom Filtermaterial selbst freigesetzt oder wird es bei der Herstellung, beim Transport und beim Einbau des Filtermaterials eingetragen? Unterschiedliche Quellen erfordern unterschiedliche Kontrollmaßnahmen. Erst nach eindeutiger Bestätigung können wir beurteilen, welche Materiallösung besser geeignet ist.

Über welche Verbindungen kann Bor eingeführt werden?

Potenzielle Borquellen beschränken sich nicht nur auf Filtermedien.

Filterkörper. Bor ist ein häufiger Bestandteil von Glasfaserfiltermedien, während PTFE-Filtermedien normalerweise kein Bor enthalten. Wenn das Projekt besonders empfindlich gegenüber Bor ist, ist PTFE normalerweise die bevorzugte Filtermedienrichtung.

Kantenversiegelungen und Dichtungen. Kolloide und Dichtungsmaterialien können Borverbindungen oder borhaltige Zusätze enthalten. Auch wenn das Filtermaterial selbst kein Bor enthält, können diese Hilfsstoffe eine Quelle sein.

Rahmen und Finish. Bei der Beschichtung, Eloxierung und Oberflächenpassivierung des Metallrahmens können borhaltige Substanzen zum Einsatz kommen. Einige Oberflächenbehandlungsformulierungen für Aluminiumlegierungen enthalten Bor.

Verpackungsmaterialien. Wenn das Verpackungsmaterial des Filterelements Bor enthält, kann es bei Transport und Lagerung zu Kreuzkontaminationen kommen.

Produktionsumgebung. Wenn in den Geräten, Werkzeugen und der Umgebung, mit denen während des Filterherstellungsprozesses in Kontakt kommt, borhaltige Substanzen vorhanden sind, kann es ebenfalls zu einer Verschmutzung kommen.

Daher müssen Sie bei der Auswahl die gesamte Materialliste prüfen und nicht nur „Enthält das Filtermaterial Bor?“ Die PTFE-Bezeichnung oder die Beschreibung „Borarm“ allein beweist nicht, dass alle Teile den Prozessbeschränkungen entsprechen. Jedes Material muss durch entsprechende Informationen unterstützt werden.

So überprüfen und verifizieren Sie

Nach der Bestimmung der Materialrichtung sind die Schritte zur Überprüfung und Überprüfung ungefähr wie folgt.

Fordern Sie eine Materialliste an. Fragen Sie den Lieferanten nach der Materialzusammensetzung des gesamten Produkts – Filtermaterial, Trägerschicht, Kantenversiegelungskleber, Außenrahmen, Dichtung und Verpackungsmaterialien. Bestätigen Sie Punkt für Punkt, ob es Bor enthält oder ob es mit niedrigem Borgehalt behandelt wurde.

Bestätigen Sie den Testbericht. Wenn für das Projekt Daten zum Borgehalt oder zur Freisetzung erforderlich sind, bestätigen Sie die Nachweismethode, den Probenbereich, die Testbedingungen und die Beurteilungskriterien. Die Daten der Filtermaterialprobe können nicht das gesamte fertige Produkt darstellen und das Testobjekt muss gemäß den Projektanforderungen bestätigt werden. Für spezifische Prüfpunkte beachten Sie bitte die entsprechenden Anweisungen zur Werksprüfung.

Probenüberprüfung. Bei Projekten mit strengen Anforderungen an die Borkontrolle wird empfohlen, zunächst eine Probenüberprüfung durchzuführen. Testen Sie unter tatsächlichen Arbeitsbedingungen, um zu bestätigen, ob der Freisetzungsgrad innerhalb des Grenzwerts liegt. Nachdem die Probe genehmigt wurde, kann sie in Chargen verwendet werden.

Änderungsmanagement. Bei Änderungen an Materiallieferanten, Rezepturen oder Produktionsprozessen sollten die Auswirkungen von Bor neu bewertet werden. Es kann nicht davon ausgegangen werden, dass „der gleiche Materialname“ bedeutet, dass die Leistung gleich ist. Spezifische Verfahren finden Sie in den Anweisungen zum Wechsel der Filtermaterialcharge.

Auch auf die Installation und Wartung sollte geachtet werden. Werkzeuge, Reinigungsmittel und Handschuhe, die während der Installation verwendet werden, können ebenfalls zu Verunreinigungen führen, wenn sie Bor enthalten. Die Betriebsverfahren beim Austausch von Filtern sollten Anforderungen an die Borkontrolle berücksichtigen. involvierend Die Auswahl des ULPA-Ultrahocheffizienzfilters kann anhand spezifischer Prozessanforderungen überprüft werden.

Checkliste für Auswahl und Annahme

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Ein bestimmter Halbleiterprozess reagiert empfindlich auf Bor und die Ausrüstung muss mit einem optionalen ULPA-Filter ausgestattet sein.

Der Lieferant bietet zwei Lösungen an: herkömmliche Glasfaser U15 und PTFE U15. Qualität und Beständigkeit der Glasfaserlösung entsprechen den Anforderungen, das Filtermaterial selbst enthält jedoch Bor und das Projektteam kann nicht bestätigen, ob der Freisetzungsgrad innerhalb des Grenzwerts liegt. Das Filtermaterial der PTFE-Lösung enthält kein Bor, aber der Kantendichtungskleber, die Dichtung und die Oberflächenbehandlung des Außenrahmens müssen weiter überprüft werden.

Prüfergebnisse: Der Kantenversiegelungskleber ist eine herkömmliche Formel und nicht ausdrücklich als borarm gekennzeichnet; Der Außenrahmen ist eloxiert und die Behandlungslösung enthält Bor. Das Projektteam verlangt von Lieferanten, dass sie Daten zum Borgehalt von Kantenversiegelungen und Außenrahmen bereitstellen und das Risiko einer Freisetzung unter Prozessbedingungen bewerten.

Der entscheidende Punkt in diesem Fall ist: Die Wahl von PTFE als Filtermaterial bedeutet nicht, dass das gesamte Produkt borarm ist. Ebenso wichtig ist die Überprüfung der unterstützenden Materialien. involvierend Bei der Auswahl von HEPA/ULPA-Luftfiltern gilt die gleiche Logik .

Über die Materialkonfigurationspakete von Aili Industrial

Bei Prozessen, die empfindlich auf Bor reagieren, ist die Kontrollierbarkeit des gesamten Materials der Kern der Auswahl. Das Filtermaterial ist nur ein Glied, und das Kolloid, die Dichtungen, der äußere Rahmen und die Verpackungsmaterialien müssen alle einzeln bestätigt werden.

Aili Industry verfügt über unabhängige Fertigungskapazitäten für Filter, Ventilatoren, Steuerungssysteme und Blechbearbeitung und kann diese bereitstellen Ultrahocheffizienter ULPA-Filter、HEPA-Hochleistungsfilter und unterstützende Luftversorgungsausrüstung. Bei Projekten mit besonderen Materialanforderungen können wir Sie bei der Überprüfung des Filtermedientyps und der gesamten Materialkonfiguration basierend auf Prozessbeschränkungen und Installationsbedingungen unterstützen. Wenn der Filter mit Geräten wie FFU und EFU abgestimmt ist, können auch die Materialinformationen und Schnittstellenbedingungen einheitlich bestätigt werden.

Geben Sie bei einer Anfrage die Borkontrollanforderungen, Nachweismethoden und Grenzbedingungen an, um die geeignete Materiallösung zu bestätigen. Die konkrete Auswahl erfolgt vorbehaltlich der durch das Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Prüfergebnisse.