Comment choisir ULPA pour les procédés sensibles au bore ?

Il existe un type de procédé dans la fabrication de semi-conducteurs qui présente une tolérance extrêmement faible au bore. Lors de l'implantation ionique, de la diffusion par dopage et du processus de gravure de certains processus avancés, des traces de contamination par le bore peuvent affecter les performances électriques du dispositif, et cet effet n'est souvent exposé que lors de tests ultérieurs.

Lors du choix de l'ULPA pour ce type de procédé, un problème se pose : les matériaux filtrants classiques en fibre de verre peuvent eux-mêmes contenir du bore.

Le bore est un additif courant lors du processus de fabrication de la fibre de verre. Les processus sensibles au bore sont menacés si le média filtrant libère des particules contenant du bore dans le flux d'air ou si le média filtrant retient des matériaux contenant du bore pendant le processus de fabrication. Il ne s’agit pas d’un défaut du produit mais d’une propriété inhérente au système matériel. Par conséquent, la sélection ne doit pas uniquement porter sur la qualité et la résistance, mais également sur l’adéquation du matériau lui-même au processus.

Tout d’abord, clarifions ce à quoi « sensible au bore » fait spécifiquement référence.

Différents processus suscitent différentes préoccupations concernant le bore. Veuillez comprendre les exigences réelles du projet avant de sélectionner.

Sur quels indicateurs vous concentrez-vous ? S'agit-il de la limite de teneur en bore du matériau filtrant, de la concentration de bore libérée dans le flux de gaz ou de la quantité de bore déposée sur la surface de la tranche en aval ? Les méthodes de détection, les plages d'échantillonnage et les normes de jugement de ces trois indicateurs sont complètement différentes.

Quelles sont les limites ? Quantités traces, quantités traces et quantités ultra-traces, les matériaux correspondants et les exigences de test varient considérablement. Certains procédés limitent le bore au niveau ppb, tandis que d'autres le limitent au niveau ppt. Plus les limites sont strictes, plus le coût du contrôle et de la vérification des matériaux est élevé.

Quelles sont les conditions de test ? Température, humidité, débit d'air, temps de contact, ces conditions affecteront le comportement de libération du bore. Les conditions d'essai doivent être notées sur le rapport d'essai. Les données sur la teneur en bore qui sont en mauvais état ne peuvent pas expliquer le problème. Pour les méthodes de vérification spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes de l’accord technique.

D'où vient le risque ? Est-il libéré par le matériau filtrant lui-même ou est-il introduit lors de la production, du transport et de l’installation du matériau filtrant ? Différentes sources nécessitent différentes mesures de contrôle. Ce n’est qu’après les avoir clairement confirmés que nous pourrons déterminer quelle solution matérielle est la plus adaptée.

A partir de quels liens peut-on introduire le bore ?

Les sources potentielles de bore ne se limitent pas aux médias filtrants.

Corps de filtre. Le bore est un composant courant dans les médias filtrants en fibre de verre, tandis que les médias filtrants en PTFE ne contiennent généralement pas de bore. Si le projet est particulièrement sensible au bore, le PTFE est généralement la direction préférée du média filtrant.

Scellants et joints de bord. Les colloïdes et les matériaux d'étanchéité peuvent contenir des composés de bore ou des additifs contenant du bore. Même si le matériau filtrant lui-même ne contient pas de bore, ces matériaux auxiliaires peuvent en être une source.

Cadre et finition. Le processus de revêtement, d'anodisation et de passivation de surface du cadre métallique peut impliquer des substances contenant du bore. Certaines formulations de traitement de surface des alliages d’aluminium contiennent du bore.

Matériaux d'emballage. Si le matériau d'emballage de l'élément filtrant contient du bore, une contamination croisée peut se produire pendant le transport et le stockage.

environnement de production. Si des substances contenant du bore sont présentes dans l'équipement, les outils et l'environnement qui sont en contact pendant le processus de fabrication du filtre, une pollution peut également être introduite.

Par conséquent, ce que vous devez vérifier lors de la sélection est la liste complète des matériaux, et pas seulement « le matériau filtrant contient-il du bore ? La désignation PTFE ou la description « faible teneur en bore » ne prouve pas à elle seule que toutes les pièces seront conformes aux limitations du processus. Chaque élément de matériel doit être appuyé par les informations correspondantes.

Comment vérifier et vérifier

Après avoir déterminé la direction du matériau, les étapes de vérification et de vérification sont grossièrement les suivantes.

Demandez une liste de matériaux. Demandez au fournisseur la composition matérielle de l'ensemble du produit : matériau filtrant, couche de support, colle d'étanchéité des bords, cadre extérieur, joint d'étanchéité et matériaux d'emballage. Confirmez élément par élément s'il contient du bore ou s'il a été traité avec une faible teneur en bore.

Confirmez le rapport de test. Si le projet nécessite des données sur la teneur en bore ou sur les rejets, confirmez la méthode de détection, la plage d'échantillonnage, les conditions de test et les critères de jugement. Les données de l'échantillon de matériau filtrant ne peuvent pas représenter l'intégralité du produit fini et l'objet de test doit être confirmé conformément aux exigences du projet. Pour des éléments de test spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes pour les tests en usine.

Vérification d'un échantillon. Pour les projets ayant des exigences strictes en matière de contrôle du bore, il est recommandé de procéder d’abord à une vérification par échantillon. Testez dans des conditions de travail réelles pour confirmer si le niveau de rejet est dans la limite. Une fois l’échantillon approuvé, il peut être utilisé par lots.

Gestion du changement. En cas de changements dans les fournisseurs de matériaux, les formulations ou les processus de production, l'impact du bore doit être réévalué. On ne peut pas supposer que « le nom du matériau est le même » signifie que les performances sont les mêmes. Pour des procédures spécifiques, veuillez vous référer aux instructions relatives aux changements de lots de matériaux filtrants.

L'installation et la maintenance doivent également être prises en compte. Les outils, nettoyants et gants utilisés lors de l'installation peuvent également introduire une contamination s'ils contiennent du bore. Les procédures opérationnelles lors du remplacement des filtres doivent intégrer des exigences de contrôle du bore. impliquant La sélection du filtre à ultra haute efficacité ULPA peut être vérifiée en fonction des exigences spécifiques du processus.

Liste de contrôle de sélection et d'acceptation

Exemple de jugement de projet

Un certain procédé semi-conducteur est sensible au bore et l'équipement doit être équipé d'un filtre ULPA en option.

Le fournisseur propose deux solutions : la fibre de verre conventionnelle U15 et le PTFE U15. La qualité et la résistance de la solution de fibre de verre répondent aux exigences, mais le matériau filtrant lui-même contient du bore et l'équipe du projet ne peut pas confirmer si le niveau de libération est dans la limite. Le matériau filtrant de la solution PTFE ne contient pas de bore, mais la colle d'étanchéité des bords, le joint d'étanchéité et le traitement de surface du cadre extérieur doivent être vérifiés davantage.

Résultats du contrôle : La colle de scellement des bords est une formule conventionnelle et n'est pas spécifiquement étiquetée comme étant à faible teneur en bore ; le cadre extérieur est anodisé et la solution de traitement contient du bore. L'équipe du projet demande aux fournisseurs de fournir des données sur la teneur en bore des mastics d'étanchéité et des cadres extérieurs, et d'évaluer le risque de rejet dans les conditions du processus.

Le point clé dans ce cas est le suivant : choisir le PTFE comme matériau filtrant ne signifie pas que l’ensemble du produit est pauvre en bore. La vérification des pièces justificatives est tout aussi importante. impliquant La logique est la même lors de la sélection des filtres à air HEPA/ULPA .

À propos des packages de configuration matérielle d'Aili Industrial

Pour les processus sensibles au bore, le cœur de la sélection est la contrôlabilité de l’ensemble du matériau. Le matériau filtrant n'est qu'un maillon, et le colloïde, les joints, le cadre extérieur et les matériaux d'emballage doivent tous être confirmés un par un.

Aili Industry dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir Filtre ultra haute efficacité ULPA、Filtre HEPA à haute efficacité et équipement d'alimentation en air de support. Pour les projets nécessitant des matériaux particuliers, nous pouvons vous aider à vérifier le type de média filtrant et la configuration complète du matériau en fonction des limites du processus et des conditions d'installation. Lorsque le filtre est associé à des équipements tels que FFU et EFU, les informations sur le matériau et les conditions d'interface peuvent également être confirmées de manière uniforme.

Lors d'une demande, précisez les exigences de contrôle du bore, les méthodes de détection et les conditions limites pour aider à confirmer la solution matérielle appropriée. La sélection spécifique est soumise aux documents techniques et aux résultats d'essais confirmés par le projet.