كيفية اختيار ULPA للعمليات الحساسة للبورون؟

هناك نوع من العمليات في تصنيع أشباه الموصلات يتميز بقدرة منخفضة للغاية على تحمل البورون. في زرع الأيونات، ونشر المنشطات، وعملية النقش في بعض العمليات المتقدمة، قد تؤثر كميات ضئيلة من التلوث بالبورون على الأداء الكهربائي للجهاز، وغالبًا ما يتم الكشف عن هذا التأثير فقط في الاختبارات اللاحقة.

عند اختيار ULPA لهذا النوع من العمليات، تنشأ مشكلة: قد تحتوي مواد مرشح الألياف الزجاجية التقليدية نفسها على البورون.

البورون هو مادة مضافة شائعة أثناء عملية تصنيع الألياف الزجاجية. تكون العمليات الحساسة للبورون معرضة للخطر إذا أطلقت وسائط الترشيح جزيئات تحتوي على البورون في تيار الهواء، أو إذا احتفظت وسائط الترشيح بمواد تحتوي على البورون أثناء عملية التصنيع. وهذا ليس عيبًا في المنتج ولكنه خاصية متأصلة في نظام المواد. لذلك، لا ينبغي أن ينظر الاختيار فقط إلى الدرجة والمقاومة، ولكن أيضًا إلى ما إذا كانت المادة نفسها مناسبة للعملية.

أولاً، دعونا نوضح ما الذي تشير إليه عبارة 'حساسة للبورون' على وجه التحديد.

العمليات المختلفة لها مخاوف مختلفة بشأن البورون. يرجى فهم متطلبات المشروع الفعلية قبل الاختيار.

ما هي المؤشرات التي تركز عليها؟ هل هو حد محتوى البورون في مادة الترشيح، أو تركيز إطلاق البورون في تدفق الغاز، أو كمية ترسب البورون على سطح الرقاقة النهائية؟ تختلف طرق الكشف ونطاقات العينات ومعايير الحكم لهذه المؤشرات الثلاثة تمامًا.

ما هي الحدود؟ الكميات النزرة، والكميات النزرة، والكميات النزرة للغاية، تختلف المواد المقابلة ومتطلبات الاختبار بشكل كبير. تحدد بعض العمليات البورون عند مستوى جزء في المليون، بينما تحدده عمليات أخرى عند مستوى جزء لكل تريليون. كلما كانت الحدود أكثر صرامة، زادت تكلفة فحص المواد والتحقق منها.

ما هي شروط الاختبار؟ درجة الحرارة، الرطوبة، معدل تدفق الهواء، وقت الاتصال، هذه الظروف سوف تؤثر على سلوك إطلاق البورون. يجب ملاحظة شروط الاختبار في تقرير الاختبار. لا يمكن لبيانات محتوى البورون التي أصبحت خارج الحالة أن تفسر المشكلة. للتعرف على طرق التحقق المحددة، يرجى الرجوع إلى التعليمات ذات الصلة بالاتفاقية الفنية.

من أين يأتي الخطر؟ هل يتم إطلاقه بواسطة مادة الفلتر نفسها، أم يتم طرحه أثناء إنتاج مادة الفلتر ونقلها وتركيبها؟ تتطلب المصادر المختلفة تدابير تحكم مختلفة. فقط بعد التأكد من ذلك بوضوح يمكننا الحكم على الحل المادي الأكثر ملاءمة.

من أي الروابط يمكن إدخال البورون؟

لا تقتصر المصادر المحتملة للبورون على وسائط الترشيح.

جسم الفلتر. البورون هو مكون شائع في وسائط مرشح الألياف الزجاجية، في حين أن وسائط مرشح PTFE عادة لا تحتوي على البورون. إذا كان المشروع حساسًا بشكل خاص للبورون، فعادةً ما يكون PTFE هو الاتجاه المفضل لوسائط الترشيح.

مانعات التسرب وحشوات الحافة. قد تحتوي المواد الغروية ومواد الختم على مركبات البورون أو إضافات تحتوي على البورون. حتى لو كانت مادة الترشيح نفسها لا تحتوي على البورون، فإن هذه المواد المساعدة يمكن أن تكون مصدرًا.

الإطار والانتهاء. قد تشتمل عملية الطلاء ومعالجة الأنودة وعملية التخميل السطحي للإطار المعدني على مواد تحتوي على البورون. تحتوي بعض تركيبات المعالجة السطحية لسبائك الألومنيوم على البورون.

مواد التعبئة والتغليف. إذا كانت مادة التعبئة والتغليف الخاصة بعنصر المرشح تحتوي على البورون، فقد يحدث تلوث تبادلي أثناء النقل والتخزين.

بيئة الإنتاج. في حالة وجود مواد تحتوي على البورون في المعدات والأدوات والبيئة التي يتم الاتصال بها أثناء عملية تصنيع المرشح، فقد يحدث التلوث أيضًا.

لذلك، ما تحتاج إلى التحقق منه عند الاختيار هو قائمة المواد بأكملها، وليس فقط 'هل تحتوي مادة المرشح على البورون؟' لا يثبت تصنيف PTFE أو وصف 'البورون المنخفض' وحده أن جميع الأجزاء ستتوافق مع قيود العملية. يجب أن تكون كل قطعة من المواد مدعومة بالمعلومات المقابلة.

كيفية التحقق والتحقق

بعد تحديد الاتجاه المادي تكون خطوات التحقق والتحقق تقريبًا كما يلي.

طلب قائمة المواد. اسأل المورد عن تركيبة المواد للمنتج بأكمله - مادة الترشيح، وطبقة الدعم، وغراء إغلاق الحواف، والإطار الخارجي، وحشية الختم، ومواد التعبئة والتغليف. تأكد من عنصر بند ما إذا كان يحتوي على البورون أو ما إذا كان قد تمت معالجته بنسبة منخفضة من البورون.

تأكيد تقرير الاختبار. إذا كان المشروع يتطلب محتوى البورون أو بيانات الإطلاق، فتأكد من طريقة الكشف ونطاق العينة وشروط الاختبار ومعايير الحكم. لا يمكن أن تمثل بيانات عينة مادة الترشيح المنتج النهائي بالكامل، ويجب تأكيد كائن الاختبار وفقًا لمتطلبات المشروع. بالنسبة لعناصر اختبار محددة، يرجى الرجوع إلى التعليمات ذات الصلة لاختبار المصنع.

التحقق من العينة. بالنسبة للمشاريع ذات المتطلبات الصارمة لمراقبة البورون، فمن المستحسن إجراء التحقق من العينة أولاً. قم بالاختبار في ظل ظروف العمل الفعلية للتأكد مما إذا كان مستوى الإصدار ضمن الحد الأقصى. بعد الموافقة على العينة، يمكن استخدامها على دفعات.

إدارة التغيير. إذا كانت هناك تغييرات في موردي المواد أو التركيبات أو عمليات الإنتاج، فيجب إعادة تقييم تأثير البورون. لا يمكن الافتراض أن عبارة 'اسم المادة هو نفسه' تعني أن الأداء هو نفسه. للحصول على إجراءات محددة، يرجى الرجوع إلى التعليمات المتعلقة بتغييرات دفعة مادة التصفية.

وينبغي أيضا الاهتمام بالتركيب والصيانة. الأدوات والمنظفات والقفازات المستخدمة أثناء التثبيت قد تؤدي أيضًا إلى التلوث إذا كانت تحتوي على البورون. يجب أن تتضمن إجراءات التشغيل عند استبدال المرشحات متطلبات التحكم في البورون. تنطوي مرشح ULPA عالي الكفاءة بناءً على متطلبات العملية المحددة. يمكن التحقق من اختيار

قائمة الاختيار والقبول

مثال حكم المشروع

تعتبر عملية معينة لأشباه الموصلات حساسة للبورون، ويجب أن تكون المعدات مجهزة بمرشح ULPA اختياري.

يوفر المورد حلين: الألياف الزجاجية التقليدية U15 وPTFE U15. تتوافق درجة ومقاومتها لمحلول الألياف الزجاجية مع المتطلبات، لكن مادة المرشح نفسها تحتوي على البورون، ولا يمكن لفريق المشروع تأكيد ما إذا كان مستوى الإطلاق ضمن الحد المسموح به. لا تحتوي مادة المرشح الخاصة بمحلول PTFE على البورون، ولكن يجب فحص غراء ختم الحواف وحشية الختم ومعالجة سطح الإطار الخارجي بشكل أكبر.

التحقق من النتائج: غراء ختم الحواف عبارة عن تركيبة تقليدية ولم يتم تصنيفها على وجه التحديد على أنها منخفضة البورون؛ الإطار الخارجي مؤكسد ويحتوي محلول المعالجة على البورون. يطلب فريق المشروع من الموردين تقديم بيانات عن محتوى البورون في المواد المانعة لتسرب الحواف والأطر الخارجية، وتقييم مخاطر الإطلاق في ظل ظروف العملية.

النقطة الأساسية في هذه الحالة هي: اختيار PTFE كمادة مرشح لا يعني أن المنتج بأكمله يحتوي على نسبة منخفضة من البورون. التحقق من المواد الداعمة له نفس القدر من الأهمية. تنطوي المنطق هو نفسه عند اختيار مرشحات الهواء HEPA/ULPA .

حول حزم تكوين المواد الخاصة بشركة Aili Industrial

بالنسبة للعمليات الحساسة للبورون، فإن جوهر الاختيار هو إمكانية التحكم في المادة بأكملها. مادة الترشيح هي رابط واحد فقط، والمواد الغروانية، والأختام، والإطار الخارجي ومواد التعبئة والتغليف جميعها تحتاج إلى تأكيد واحدة تلو الأخرى.

تتمتع Aili Industry بقدرات تصنيع مستقلة في مجال المرشحات، والمراوح، وأنظمة التحكم، ومعالجة الصفائح المعدنية، ويمكنها توفيرها مرشح ULPA عالي الكفاءة、مرشح HEPA عالي الكفاءة ومعدات إمداد الهواء الداعمة. بالنسبة للمشاريع ذات متطلبات المواد الخاصة، يمكننا المساعدة في التحقق من نوع وسائط الترشيح وتكوين المادة بالكامل بناءً على قيود العملية وظروف التثبيت. عندما تتم مطابقة المرشح مع معدات مثل FFU وEFU، يمكن أيضًا تأكيد معلومات المواد وشروط الواجهة بشكل موحد.

عند إجراء استفسار، حدد متطلبات التحكم في البورون وطرق الكشف وشروط الحد للمساعدة في تأكيد الحل المادي المناسب. يخضع الاختيار المحدد للوثائق الفنية ونتائج الاختبار التي يؤكدها المشروع.