Làm cách nào để chọn ULPA cho các quy trình nhạy cảm với boron?

Có một loại quy trình trong sản xuất chất bán dẫn có dung sai boron cực thấp. Trong quá trình ăn mòn cấy ion, khuếch tán pha tạp và một số quy trình tiên tiến, lượng ô nhiễm boron có thể ảnh hưởng đến hiệu suất điện của thiết bị và hiệu ứng này thường chỉ được bộc lộ trong các thử nghiệm tiếp theo.

Khi chọn ULPA cho loại quy trình này, một vấn đề nảy sinh: bản thân vật liệu lọc sợi thủy tinh thông thường có thể chứa boron.

Boron là chất phụ gia phổ biến trong quá trình sản xuất sợi thủy tinh. Các quy trình nhạy cảm với boron sẽ gặp rủi ro nếu phương tiện lọc giải phóng các hạt chứa boron trong luồng không khí hoặc nếu phương tiện lọc giữ lại các vật liệu chứa boron trong quá trình sản xuất. Đây không phải là khiếm khuyết của sản phẩm mà là một đặc tính cố hữu của hệ thống vật chất. Do đó, việc lựa chọn không chỉ nên xem xét cấp độ và độ bền mà còn xem liệu bản thân vật liệu có phù hợp với quy trình hay không.

Trước tiên, hãy làm rõ cụ thể cụm từ “nhạy cảm với boron” đề cập đến điều gì.

Các quy trình khác nhau có mối quan tâm khác nhau về boron. Hãy tìm hiểu yêu cầu thực tế của dự án trước khi lựa chọn.

Bạn đang tập trung vào những chỉ số nào? Đó có phải là giới hạn hàm lượng boron của vật liệu lọc, nồng độ boron giải phóng trong dòng khí hay lượng boron lắng đọng trên bề mặt của tấm wafer xuôi dòng? Phương pháp phát hiện, phạm vi mẫu và tiêu chuẩn phán đoán của ba chỉ số này hoàn toàn khác nhau.

Các giới hạn là gì? Lượng vết, lượng vết và lượng siêu vết, các vật liệu tương ứng và yêu cầu thử nghiệm rất khác nhau. Một số quy trình giới hạn boron ở mức ppb, trong khi những quy trình khác giới hạn nó ở mức ppt. Giới hạn càng chặt chẽ thì chi phí sàng lọc và xác minh vật liệu càng cao.

Các điều kiện thử nghiệm là gì? Nhiệt độ, độ ẩm, tốc độ dòng không khí, thời gian tiếp xúc, những điều kiện này sẽ ảnh hưởng đến hoạt động giải phóng boron. Các điều kiện thử nghiệm phải được ghi chú trong báo cáo thử nghiệm. Dữ liệu hàm lượng Boron không đúng điều kiện không thể giải thích được vấn đề. Để biết các phương pháp xác minh cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan của thỏa thuận kỹ thuật.

Rủi ro đến từ đâu? Nó được thải ra bởi chính vật liệu lọc hay được đưa vào trong quá trình sản xuất, vận chuyển và lắp đặt vật liệu lọc? Các nguồn khác nhau yêu cầu các biện pháp kiểm soát khác nhau. Chỉ sau khi xác nhận rõ ràng những điều này, chúng ta mới có thể đánh giá giải pháp vật liệu nào phù hợp hơn.

Boron có thể được giới thiệu từ liên kết nào?

Nguồn boron tiềm năng không bị giới hạn ở phương tiện lọc.

Thân lọc. Boron là thành phần phổ biến trong vật liệu lọc sợi thủy tinh, trong khi vật liệu lọc PTFE thường không chứa boron. Nếu dự án đặc biệt nhạy cảm với boron, PTFE thường là phương tiện lọc được ưu tiên.

Chất bịt kín cạnh và miếng đệm. Chất keo và vật liệu bịt kín có thể chứa các hợp chất boron hoặc các chất phụ gia chứa boron. Ngay cả khi bản thân vật liệu lọc không chứa boron thì những vật liệu phụ này vẫn có thể là một nguồn.

Đóng khung và hoàn thiện. Quá trình phủ, xử lý anodizing và thụ động hóa bề mặt của khung kim loại có thể liên quan đến các chất có chứa boron. Một số công thức xử lý bề mặt cho hợp kim nhôm có chứa boron.

Vật liệu đóng gói. Nếu vật liệu đóng gói của phần tử lọc có chứa boron thì sự lây nhiễm chéo có thể xảy ra trong quá trình vận chuyển và bảo quản.

môi trường sản xuất. Nếu các chất chứa boron có trong thiết bị, dụng cụ và môi trường tiếp xúc trong quá trình sản xuất bộ lọc thì cũng có thể gây ô nhiễm.

Vì vậy, điều bạn cần kiểm tra khi lựa chọn là toàn bộ danh sách vật liệu chứ không chỉ 'vật liệu lọc có chứa boron không?' Chỉ riêng ký hiệu PTFE hoặc mô tả 'boron thấp' không chứng minh được rằng tất cả các bộ phận sẽ tuân thủ các giới hạn của quy trình. Mỗi phần tài liệu phải được hỗ trợ bởi thông tin tương ứng.

Cách kiểm tra và xác minh

Sau khi xác định hướng vật liệu, các bước xác minh và xác minh đại khái như sau.

Yêu cầu danh sách vật liệu. Yêu cầu nhà cung cấp cung cấp thành phần vật liệu của toàn bộ sản phẩm - vật liệu lọc, lớp hỗ trợ, keo dán cạnh, khung bên ngoài, miếng đệm kín và vật liệu đóng gói. Xác nhận từng mục xem nó có chứa boron hay nó đã được xử lý với hàm lượng boron thấp.

Xác nhận báo cáo thử nghiệm. Nếu dự án yêu cầu hàm lượng boron hoặc dữ liệu phát thải, hãy xác nhận phương pháp phát hiện, phạm vi mẫu, điều kiện thử nghiệm và tiêu chí đánh giá. Dữ liệu của mẫu vật liệu lọc không thể đại diện cho toàn bộ thành phẩm và đối tượng thử nghiệm cần được xác nhận theo yêu cầu của dự án. Đối với các hạng mục thử nghiệm cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan để thử nghiệm tại nhà máy.

Xác minh mẫu. Đối với các dự án có yêu cầu kiểm soát boron nghiêm ngặt, nên tiến hành xác minh mẫu trước. Kiểm tra trong điều kiện làm việc thực tế để xác nhận xem mức phát hành có nằm trong giới hạn hay không. Sau khi mẫu được phê duyệt, nó có thể được sử dụng theo lô.

Thay đổi quản lý. Nếu có thay đổi về nhà cung cấp nguyên liệu, công thức hoặc quy trình sản xuất thì tác động của boron cần được đánh giá lại. Không thể cho rằng 'tên vật liệu giống nhau' có nghĩa là hiệu suất là như nhau. Để biết các quy trình cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan đến thay đổi lô vật liệu lọc.

Việc lắp đặt và bảo trì cũng cần được chú ý. Các dụng cụ, chất tẩy rửa và găng tay được sử dụng trong quá trình lắp đặt cũng có thể gây ô nhiễm nếu chúng có chứa boron. Quy trình vận hành khi thay thế bộ lọc phải kết hợp các yêu cầu kiểm soát boron. liên quan đến Việc lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được kiểm tra dựa trên các yêu cầu quy trình cụ thể.

Danh sách kiểm tra lựa chọn và chấp nhận

Ví dụ về đánh giá dự án

Một quy trình bán dẫn nhất định rất nhạy cảm với boron và thiết bị cần được trang bị bộ lọc ULPA tùy chọn.

Nhà cung cấp cung cấp hai giải pháp: sợi thủy tinh thông thường U15 và PTFE U15. Cấp độ và độ bền của dung dịch sợi thủy tinh đáp ứng yêu cầu, nhưng bản thân vật liệu lọc có chứa boron và nhóm dự án không thể xác nhận liệu mức phát hành có nằm trong giới hạn hay không. Vật liệu lọc của dung dịch PTFE không chứa boron, nhưng cần phải kiểm tra thêm keo dán cạnh, miếng đệm kín và xử lý bề mặt khung bên ngoài.

Kiểm tra kết quả: Keo dán cạnh là công thức thông thường và không được dán nhãn cụ thể là hàm lượng boron thấp; khung bên ngoài được anod hóa và dung dịch xử lý có chứa boron. Nhóm dự án yêu cầu các nhà cung cấp cung cấp dữ liệu về hàm lượng boron của chất bịt kín cạnh và khung bên ngoài, đồng thời đánh giá rủi ro thoát ra trong các điều kiện của quy trình.

Điểm mấu chốt trong trường hợp này là: chọn PTFE làm vật liệu lọc không có nghĩa là toàn bộ sản phẩm có hàm lượng boron thấp. Việc xác minh các tài liệu hỗ trợ cũng quan trọng không kém. liên quan đến Logic tương tự khi chọn bộ lọc không khí HEPA/ULPA .

Giới thiệu về các gói cấu hình vật liệu của Aili Industrial

Đối với các quy trình nhạy cảm với boron, cốt lõi của việc lựa chọn là khả năng kiểm soát toàn bộ vật liệu. Vật liệu lọc chỉ có một liên kết và chất keo, con dấu, khung bên ngoài và vật liệu đóng gói đều cần được xác nhận từng cái một.

Aili Industry có khả năng sản xuất độc lập về bộ lọc, quạt, hệ thống điều khiển và gia công kim loại tấm và có thể cung cấp Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA、Bộ lọc hiệu suất cao HEPA và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án có yêu cầu vật liệu đặc biệt, chúng tôi có thể hỗ trợ kiểm tra loại phương tiện lọc và toàn bộ cấu hình vật liệu dựa trên các giới hạn của quy trình và điều kiện lắp đặt. Khi bộ lọc được kết hợp với các thiết bị như FFU và EFU, thông tin vật liệu và điều kiện giao diện cũng có thể được xác nhận một cách thống nhất.

Khi thực hiện yêu cầu, hãy chỉ định các yêu cầu kiểm soát boron, phương pháp phát hiện và điều kiện giới hạn để giúp xác nhận giải pháp vật liệu phù hợp. Việc lựa chọn cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.