¿Cómo elegir ULPA para procesos sensibles al boro?

Existe una clase de procesos en la fabricación de semiconductores que tienen una tolerancia extremadamente baja al boro. En la implantación de iones, la difusión de dopaje y el proceso de grabado de algunos procesos avanzados, trazas de contaminación con boro pueden afectar el rendimiento eléctrico del dispositivo y, a menudo, este efecto sólo queda expuesto en pruebas posteriores.

Al elegir ULPA para este tipo de proceso surge un problema: los propios materiales filtrantes de fibra de vidrio convencionales pueden contener boro.

El boro es un aditivo común durante el proceso de fabricación de fibra de vidrio. Los procesos sensibles al boro están en riesgo si el medio filtrante libera partículas que contienen boro en la corriente de aire, o si el medio filtrante retiene materiales que contienen boro durante el proceso de fabricación. Esto no es un defecto del producto sino una propiedad inherente del sistema material. Por lo tanto, en la selección no sólo se debe considerar la calidad y la resistencia, sino también si el material en sí es adecuado para el proceso.

Primero, aclaremos a qué se refiere específicamente “sensible al boro”.

Diferentes procesos tienen diferentes preocupaciones sobre el boro. Comprenda los requisitos reales del proyecto antes de seleccionarlo.

¿En qué indicadores te estás centrando? ¿Es el límite de contenido de boro del material filtrante, la concentración de liberación de boro en el flujo de gas o la cantidad de deposición de boro en la superficie de la oblea aguas abajo? Los métodos de detección, rangos de muestra y estándares de evaluación de estos tres indicadores son completamente diferentes.

¿Cuáles son los límites? Cantidades de trazas, cantidades de trazas y cantidades de ultratrazas, los materiales correspondientes y los requisitos de prueba varían mucho. Algunos procesos limitan el boro al nivel de ppb, mientras que otros lo limitan al nivel de ppt. Cuanto más estrictos sean los límites, mayor será el costo del examen y verificación del material.

¿Cuáles son las condiciones de prueba? La temperatura, la humedad, el caudal de aire, el tiempo de contacto, estas condiciones pueden afectar el comportamiento de liberación del boro. Las condiciones de la prueba deben anotarse en el informe de la prueba. Los datos sobre el contenido de boro que no están en condiciones no pueden explicar el problema. Para conocer métodos de verificación específicos, consulte las instrucciones pertinentes del acuerdo técnico.

¿De dónde viene el riesgo? ¿Lo libera el propio material filtrante o se introduce durante la producción, transporte e instalación del material filtrante? Diferentes fuentes requieren diferentes medidas de control. Sólo después de confirmarlos claramente podremos juzgar qué solución material es más adecuada.

¿A partir de qué enlaces se puede introducir el boro?

Las fuentes potenciales de boro no se limitan a los medios filtrantes.

Cuerpo del filtro. El boro es un componente común en los medios filtrantes de fibra de vidrio, mientras que los medios filtrantes de PTFE generalmente no contienen boro. Si el proyecto es particularmente sensible al boro, el PTFE suele ser el medio filtrante preferido.

Selladores y juntas de bordes. Los coloides y materiales de sellado pueden contener compuestos de boro o aditivos que contengan boro. Incluso si el material filtrante en sí no contiene boro, estos materiales auxiliares pueden ser una fuente.

Marco y acabado. El recubrimiento, el tratamiento de anodizado y el proceso de pasivación de la superficie de la estructura metálica pueden implicar sustancias que contienen boro. Algunas formulaciones de tratamiento de superficies para aleaciones de aluminio contienen boro.

Materiales de embalaje. Si el material de embalaje del elemento filtrante contiene boro, puede producirse contaminación cruzada durante el transporte y almacenamiento.

entorno de producción. Si hay sustancias que contienen boro en el equipo, las herramientas y el entorno con el que entran en contacto durante el proceso de fabricación del filtro, también se puede introducir contaminación.

Por lo tanto, lo que debe verificar al seleccionar es la lista completa de materiales, no solo '¿el material del filtro contiene boro?' La designación de PTFE o la descripción de 'bajo boro' por sí sola no prueba que todas las piezas cumplirán con las limitaciones del proceso. Cada pieza de material debe estar respaldada por la información correspondiente.

Cómo comprobar y verificar

Después de determinar la dirección del material, los pasos para la verificación y la verificación son aproximadamente los siguientes.

Solicite una lista de materiales. Pregunte al proveedor por la composición del material de todo el producto: material filtrante, capa de soporte, pegamento para sellado de bordes, marco exterior, junta de sellado y materiales de embalaje. Confirme artículo por artículo si contiene boro o si ha sido tratado con bajo contenido de boro.

Confirme el informe de la prueba. Si el proyecto requiere datos de contenido o liberación de boro, confirme el método de detección, el rango de muestra, las condiciones de prueba y los criterios de evaluación. Los datos de la muestra del material filtrante no pueden representar el producto terminado completo y el objeto de prueba debe confirmarse de acuerdo con los requisitos del proyecto. Para elementos de prueba específicos, consulte las instrucciones pertinentes para las pruebas de fábrica.

Verificación de muestra. Para proyectos con requisitos estrictos de control de boro, se recomienda realizar primero una verificación de muestras. Pruebe en condiciones de trabajo reales para confirmar si el nivel de liberación está dentro del límite. Una vez aprobada la muestra, se puede utilizar en lotes.

Gestión del cambio. Si hay cambios en los proveedores de materiales, las formulaciones o los procesos de producción, se debe reevaluar el impacto del boro. No se puede suponer que 'el nombre del material es el mismo' significa que la interpretación es la misma. Para procedimientos específicos, consulte las instrucciones relacionadas con los cambios de lote de material de filtro.

También se debe prestar atención a la instalación y el mantenimiento. Las herramientas, limpiadores y guantes utilizados durante la instalación también pueden introducir contaminación si contienen boro. Los procedimientos operativos al reemplazar filtros deben incorporar requisitos de control de boro. involucrando La selección del filtro de eficiencia ultraalta ULPA se puede verificar en función de los requisitos específicos del proceso.

Lista de verificación de selección y aceptación

Ejemplo de juicio de proyecto

Cierto proceso semiconductor es sensible al boro y el equipo debe estar equipado con un filtro ULPA opcional.

El proveedor ofrece dos soluciones: fibra de vidrio convencional U15 y PTFE U15. El grado y la resistencia de la solución de fibra de vidrio cumplen con los requisitos, pero el material del filtro contiene boro y el equipo del proyecto no puede confirmar si el nivel de liberación está dentro del límite. El material filtrante de la solución de PTFE no contiene boro, pero es necesario comprobar más a fondo el pegamento de sellado de los bordes, la junta de sellado y el tratamiento de la superficie del marco exterior.

Verifique los resultados: el pegamento para sellado de bordes es una fórmula convencional y no está etiquetado específicamente como bajo en boro; el marco exterior está anodizado y la solución de tratamiento contiene boro. El equipo del proyecto exige a los proveedores que proporcionen datos sobre el contenido de boro de los selladores de bordes y marcos exteriores, y que evalúen el riesgo de liberación en las condiciones del proceso.

El punto clave en este caso es: elegir PTFE como material filtrante no significa que todo el producto sea bajo en boro. La verificación de los materiales de apoyo es igualmente importante. involucrando La lógica es la misma al seleccionar filtros de aire HEPA/ULPA .

Acerca de los paquetes de configuración de materiales de Aili Industrial

En procesos sensibles al boro, el punto central de la selección es la controlabilidad de todo el material. El material del filtro es solo un eslabón y el coloide, los sellos, el marco exterior y los materiales de embalaje deben confirmarse uno por uno.

Aili Industry tiene capacidades de fabricación independientes en filtros, ventiladores, sistemas de control y procesamiento de chapa metálica, y puede proporcionar Filtro ULPA de ultra alta eficiencia、Filtro HEPA de alta eficiencia y equipo de suministro de aire de apoyo. Para proyectos con requisitos de materiales especiales, podemos ayudar a verificar el tipo de medio filtrante y la configuración completa del material según las limitaciones del proceso y las condiciones de instalación. Cuando el filtro se combina con equipos como FFU y EFU, la información del material y las condiciones de la interfaz también se pueden confirmar de manera uniforme.

Al realizar una consulta, especifique los requisitos de control de boro, los métodos de detección y las condiciones límite para ayudar a confirmar la solución de material adecuada. La selección específica está sujeta a los documentos técnicos y a los resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.