ULPA 낮은 가스 방출 요구 사항을 확인하는 방법은 무엇입니까?

'낮은 가스 방출'이라는 세 단어가 조달 문서에 점점 더 자주 등장합니다. 반도체, 디스플레이 패널, 정밀 광학, 제약 등 많은 공정에서 공기 중 휘발성 유기 화합물에 대한 내성이 점점 낮아지고 있습니다. 공기 공급 경로의 핵심 구성 요소인 필터는 당연히 제어 범위에 포함됩니다.

그러나 '낮은 가스 방출' 자체는 단독으로 설정할 수 있는 지표가 아닙니다. 그것이 대답하고 싶은 것은: 어떤 물질, 어떤 조건에서, 얼마나 많이 방출되는지입니다. 이 세 가지 항목이 명확하지 않으면 검증이 불가능합니다.

실제 프로젝트의 일반적인 상황은 조달 문서에 '낮은 가스 방출 필요'라고 명시되어 있고 공급업체가 '우리 제품은 낮은 가스 방출이 있습니다'라고 응답하는 것입니다. 양측은 합의에 도달했다고 생각하지만 승인 확인 후에야 그들이 이해하는 '낮은 가스 방출'이 전혀 동일한 것이 아니라는 것을 알게 됩니다. 따라서 검증의 첫 번째 단계는 탐지 방법을 찾는 것이 아니라 요구 사항을 명확하게 작성하는 것입니다.

먼저 '릴리스'가 구체적으로 무엇을 의미하는지 명확히 해보겠습니다.

'릴리스'는 일반적인 용어이며, 서로 다른 프로젝트는 완전히 다른 목표에 중점을 둡니다.

반도체 공정에서는 일반적으로 실록산, 가소제, 아민, 산성 가스 등에 중점을 둡니다. 이러한 물질은 웨이퍼 표면에 필름을 형성하거나 포토레지스트 성능에 영향을 미칠 수 있습니다. 일부 프로젝트에서는 특정 대상 화합물을 나열하는 반면, 다른 프로젝트에서는 총유기탄소(TOC) 또는 총 휘발성 유기화합물(TVOC)에 대한 제한을 제공합니다.

제약 및 생물의학 산업은 입자상 물질과 미생물에 관심을 가질 수 있으며, 화학적 가스 방출에 대한 요구 사항은 특정 공정에 따라 다릅니다. 무균 충전 영역이 특정 유형의 휘발성 물질에 민감한 경우 해당 제어 요구 사항도 제시됩니다.

디스플레이 패널 및 정밀 광학은 특정 유기 화합물이 코팅이나 광학 특성에 미치는 영향과 관련이 있을 수 있습니다.

서로 다른 대상은 서로 다른 탐지 방법과 판단 기준에 해당합니다. 일반적으로 '낮은 가스 방출'은 공급업체가 테스트에 어떤 표준이 사용되는지, 어떤 물질이 테스트되는지, 한계가 무엇인지 확인할 수 없음을 의미합니다. 구체적인 검증 방법은 기술 계약의 관련 지침을 참조하세요.

테스트 조건도 명확해야 합니다. 온도, 습도, 접촉 시간 및 샘플링 방법은 모두 가스 방출 결과에 영향을 미칩니다. 동일한 제품이라도 25°C와 60°C에서의 가스 방출량은 여러 번 다를 수 있습니다. 시험 조건은 보고서에 기재되어야 합니다. 조건을 벗어난 가스 방출 데이터로는 문제를 설명할 수 없습니다.

재료 범위는 전체 제품을 포괄해야 합니다.

이것은 일이 가장 잘못되는 경향이 있는 곳입니다.

필터 재료만 테스트할 수는 없습니다. ULPA는 필터 재료, 지지층, 가장자리 밀봉 접착제, 외부 프레임, 밀봉 개스킷 및 포장 재료로 구성됩니다. 가스 방출은 필터 매체 자체뿐만 아니라 이들 중 어느 것에서도 발생할 수 있습니다.

가장자리 실런트는 일반적인 소스입니다. 콜로이드는 경화 과정이나 장기간 작동 중에 유기 휘발성 물질을 방출할 수 있습니다. 다양한 콜로이드 제제의 가스 방출 특성은 매우 다양합니다.

개스킷과 프레임 처리도 포함되어 있습니다. 고무 또는 실리콘 개스킷은 실록산을 방출할 수 있습니다. 금속 프레임의 코팅, 양극 산화 처리 또는 패시베이션 공정에서 화학적 잔류물이 남을 수 있습니다.

포장재의 영향은 쉽게 간과됩니다. 운송 및 보관 중에 필터 요소가 휘발성 물질이 포함된 포장재와 접촉하면 교차 오염이 발생할 수 있습니다. 일부 프로젝트에서는 가스 방출 평가에 포장재도 포함되도록 요구합니다.

따라서 검증 중에 제공되는 테스트 샘플은 공급될 전체 제품 구성을 나타내야 합니다. 필터 재료의 작은 조각만 측정하면 전체 제품의 가스 방출 수준을 유추할 수 없습니다. 특정 선택을 할 때 유리 섬유와 PTFE 필터 재료 간의 비교 지침을 참조하십시오. 관련된 HEPA/ULPA 공기 필터 검증 , 동일한 논리.

테스트 샘플은 실제 구성을 대표해야 합니다.

가스 방출 테스트의 샘플 범위는 검증 결론을 사용할 수 있는지 여부를 직접적으로 결정합니다.

샘플은 여전히 ​​​​전체입니다. 필터 재료 샘플은 실험실 테스트에 편리하지만 콜로이드, 씰 및 외부 프레임을 덮지는 않습니다. 전체 부품 테스트는 실제 사용 상태에 더 가깝지만 테스트 방법 및 장비 요구 사항은 더 높습니다. 어떤 방법을 사용할지는 프로젝트에서 요구하는 한계와 테스트 조건에 따라 다릅니다.

샘플 상태. 장착되지 않은 새 필터 엘리먼트인가요, 아니면 일정 기간 작동한 상태인가요? 일부 재료는 초기 단계에서 높은 가스 방출을 가지며 일정 기간 동안 작동한 후에 안정화되는 경향이 있습니다. 프로젝트가 장기적인 운영 상태에 초점을 맞추는 경우 감지 조건은 이에 상응해야 합니다.

샘플링 위치. 샘플을 채취하는 장소와 방법은 결과에 영향을 미칩니다. 공기 출구 측이든 공기 입구 측이든, 정적 상태 또는 작동 상태인지 모두 감지 계획에서 명확히 해야 합니다.

탐지 방법의 선택. 열 탈착-가스 크로마토그래피 질량 분석법(TD-GC-MS)은 유기물의 방출을 감지하는 일반적인 방법이지만 샘플링 튜브, 탈착 조건 및 데이터베이스는 실험실마다 다를 수 있습니다. 프로젝트에서 여러 공급업체의 데이터 비교가 필요한 경우 테스트 방법을 통일해야 합니다. 특정 테스트 항목에 대해서는 공장 테스트 관련 지침을 참조하십시오.

샘플 검증 및 배치 일관성

실험실 테스트를 통과한 후 실제 제품의 일관성을 보장하는 방법은 무엇입니까?

샘플 검증. 엄격한 가스 방출 요구 사항이 있는 프로젝트의 경우 먼저 샘플 검증을 수행하는 것이 좋습니다. 공급할 전체 구성에 따라 샘플을 만들고 실제 작업 조건에서 테스트합니다. Outgassing 수준이 허용치 이내인지 확인 후 양산에 들어갑니다.

첫 번째 항목이 확인되었습니다. 대량 생산이 시작되면 첫 번째 제품을 검사하여 샘플과 일치하는지 확인합니다. 첫 번째 작품이 통과된 후 동일한 프로세스와 재료를 사용하여 후속 제품이 생산됩니다.

변경 관리. 재료 공급업체, 콜로이드 제제 또는 생산 공정이 변경된 경우 가스 방출 효과를 재평가해야 합니다. '재료명이 같다'고 해서 가스 방출량이 같다고 단정할 수는 없습니다. 구체적인 절차는 필터 재료 배치 변경과 관련된 지침을 참조하십시오.

정기적인 현장 점검. 장기 공급 프로젝트의 경우, 요구 사항의 지속적인 준수를 보장하기 위해 합의된 기간에 따라 무작위 검사를 수행할 수 있습니다. 위험도에 따라 무작위 점검 빈도와 항목이 결정됩니다. 관련된 ULPA 초고효율 필터 의 선택은 공정 요구사항에 따라 확인할 수 있습니다.

기록 보존. 각 테스트의 시료 정보, 테스트 조건, 결과 및 판단 결론을 보관해야 합니다. 이러한 기록은 후속 감사 또는 문제 추적에 사용됩니다.

프로젝트 판단 예

반도체 장비 프로젝트에서는 낮은 가스 방출 요구 사항을 충족하기 위해 ULPA가 필요하며 조달 문서에는 '가스 방출량이 업계 표준을 충족한다'고 명시되어 있습니다.

공급업체는 필터 재료의 TD-GC-MS 테스트 보고서를 제공했는데, 그 결과 주요 휘발분 함량이 검출 한계 미만인 것으로 나타났습니다. 프로젝트 팀은 요구 사항이 충족되었다고 믿고 대량으로 구매합니다.

장비를 일정 기간 가동한 후, 하류 웨이퍼 표면에서 미량의 실록산 오염이 감지되었습니다. 조사 결과 오염 원인이 밀봉 개스킷인 것으로 밝혀졌습니다. 개스킷은 기존의 실리카겔 방식을 사용하고 작동 온도에서 실록산을 방출하지만 이는 필터 재료 테스트 보고서에서 다루지 않았습니다.

처리 방법: 가스 방출이 적은 가스켓으로 교체하고 전체 가스 방출 테스트를 다시 수행하여 오염이 더 이상 발생하지 않는지 확인합니다.

이 경우 핵심은 필터 미디어 보고서가 전체 제품을 나타낼 수 없다는 것입니다. 가스 방출은 하나의 구성 요소에서 발생할 수 있으며 검증 범위는 전체 구성을 포괄해야 합니다. 관련된 HEPA 고효율 필터 의 선택 논리는 동일합니다.

선택 및 승인 체크리스트

Aili Industrial의 가스 방출 검증 패키지 정보

낮은 가스 방출 검증의 핵심은 대상 물체, 재료 범위 및 테스트 조건을 일치시키는 것입니다. 이 세 가지 항목은 합의 단계에서 명확하게 작성되어야 하며, 이후 이행을 위한 기반이 마련됩니다.

Aili Industry는 필터, 팬, 제어 시스템 및 판금 가공 분야에서 독립적인 제조 역량을 보유하고 있으며 ULPA 초고효율 필터、HEPA 고효율 필터 및 보조 공기 공급 장비. 가스 방출 요구 사항이 있는 프로젝트의 경우 프로세스 조건, 대상 개체 목록 및 설치 요구 사항을 기반으로 필터 재료 유형 및 전체 재료 구성을 확인하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 필터를 FFU, EFU 등의 장비와 매칭하면 재료정보와 인터페이스 조건도 균일하게 확인할 수 있습니다.

문의 시 적절한 재료 솔루션 및 검증 프로세스를 확인하는 데 도움이 되는 가스 방출 요구 사항, 대상 물체 목록 및 감지 방법을 명시하십시오. 구체적인 검증은 프로젝트에서 확인한 기술 문서 및 테스트 결과에 따라야 합니다.