¿Cómo verificar los requisitos de baja desgasificación de ULPA?

Las tres palabras 'baja desgasificación' aparecen cada vez con más frecuencia en los documentos de contratación. Semiconductores, paneles indicadores, óptica de precisión, productos farmacéuticos: muchos procesos tienen una tolerancia cada vez menor a los compuestos orgánicos volátiles en el aire. Como componente clave en la ruta de suministro de aire, los filtros naturalmente se incluyen en el alcance del control.

Pero la 'baja desgasificación' en sí misma no es un indicador que pueda establecerse por sí solo. Lo que quiere responder es: qué sustancia, en qué condiciones y en qué cantidad se libera. Si estos tres elementos no están claros, la verificación es imposible.

Una situación común en proyectos reales es: el documento de adquisición establece 'se requiere baja desgasificación' y el proveedor responde 'nuestros productos tienen baja desgasificación'. Ambas partes creen haber llegado a un consenso, pero sólo después de la prueba de aceptación se dan cuenta de que la 'baja desgasificación' que entienden no es lo mismo en absoluto. Por lo tanto, el primer paso en la verificación no es encontrar un método de detección, sino anotar claramente los requisitos.

Primero aclaremos a qué se refiere específicamente “liberar”.

'Lanzamiento' es un término general y diferentes proyectos se centran en objetivos completamente diferentes.

Los procesos de semiconductores suelen centrarse en siloxanos, plastificantes, aminas, gases ácidos, etc. Estas sustancias pueden formar películas en la superficie de la oblea o afectar el rendimiento del fotoprotector. Algunos proyectos enumerarán compuestos objetivo específicos, mientras que otros darán límites para el carbono orgánico total (TOC) o los compuestos orgánicos volátiles totales (TVOC).

Las industrias farmacéutica y biomédica pueden estar interesadas en partículas y microorganismos, y los requisitos para la desgasificación química dependen del proceso específico. Si la zona de llenado aséptico es sensible a determinados tipos de volátiles, también se propondrán los correspondientes requisitos de control.

Los paneles de visualización y la óptica de precisión pueden estar relacionados con el impacto de ciertos compuestos orgánicos en los recubrimientos o las propiedades ópticas.

Diferentes objetivos corresponden a diferentes métodos de detección y estándares de evaluación. En términos generales, 'baja desgasificación' significa que el proveedor no puede confirmar qué estándares se utilizan para las pruebas, qué sustancias se prueban y cuáles son los límites. Para conocer métodos de verificación específicos, consulte las instrucciones pertinentes del acuerdo técnico.

Las condiciones de prueba también deben ser claras. La temperatura, la humedad, el tiempo de contacto y los métodos de muestreo afectan los resultados de desgasificación. Para el mismo producto, el volumen de liberación de gas a 25°C y 60°C puede diferir varias veces. Las condiciones de la prueba deben anotarse en el informe. Los datos de desgasificación fuera de condiciones no pueden explicar el problema.

La gama de materiales debe cubrir todo el producto.

Aquí es donde las cosas tienden a salir más mal.

No se puede simplemente probar el material del filtro. Un ULPA consta de material filtrante, capa de soporte, pegamento para sellado de bordes, marco exterior, junta de sellado y materiales de embalaje. La desgasificación puede provenir de cualquiera de estos, no solo del propio medio filtrante.

Los selladores de bordes son una fuente común. El coloide puede liberar volátiles orgánicos durante el proceso de curado o durante el funcionamiento a largo plazo. Las características de liberación de gas de diferentes formulaciones coloidales varían ampliamente.

También se incluyen juntas y tratamientos de marco. Las juntas de caucho o silicona pueden liberar siloxano; El proceso de recubrimiento, anodizado o pasivación de la estructura metálica puede dejar residuos químicos.

Es fácil pasar por alto el impacto de los materiales de embalaje. Puede producirse contaminación cruzada si el elemento filtrante entra en contacto con materiales de embalaje que contienen sustancias volátiles durante el transporte y almacenamiento. Algunos proyectos requieren que los materiales de embalaje también se incluyan en la evaluación de desgasificación.

Por lo tanto, las muestras de prueba proporcionadas durante la verificación deben representar la configuración completa del producto que se suministrará. Si sólo se mide una pequeña porción de material filtrante, no se puede deducir el nivel de desgasificación de todo el producto. Al realizar selecciones específicas, consulte las instrucciones de comparación entre materiales de filtro de fibra de vidrio y PTFE. involucrando filtros de aire HEPA/ULPA , misma lógica. Verificación de

Las muestras de prueba deben ser representativas de las configuraciones reales.

El rango de muestra de las pruebas de liberación de gas determina directamente si se puede utilizar la conclusión de la verificación.

La muestra sigue siendo la pieza completa. La muestra del material del filtro es conveniente para pruebas de laboratorio, pero no cubre el coloide, los sellos ni el marco exterior. La prueba de pieza completa se acerca más al estado de uso real, pero los métodos de prueba y los requisitos del equipo son mayores. El método a utilizar depende de los límites y las condiciones de prueba requeridas por el proyecto.

Estado de la muestra. ¿Es un elemento filtrante nuevo que no se ha instalado o está en un estado que ha estado funcionando durante un período de tiempo? Algunos materiales tienen una alta liberación de gas en la etapa inicial y tienden a estabilizarse después de funcionar durante un período de tiempo. Si el proyecto se centra en el estado operativo a largo plazo, las condiciones de detección deberían corresponder a este.

Ubicación del muestreo. Dónde y cómo se toma la muestra afecta los resultados. Ya sea el lado de salida de aire o el lado de entrada de aire, el estado estático o el estado de funcionamiento, todo debe aclararse en el plan de detección.

Elección del método de detección. La espectrometría de masas por cromatografía de gases con desorción térmica (TD-GC-MS) es un método común para detectar la liberación de materia orgánica, pero los tubos de muestreo, las condiciones de desorción y las bases de datos pueden ser diferentes en diferentes laboratorios. Si el proyecto requiere comparar datos de diferentes proveedores, los métodos de prueba deben unificarse. Para elementos de prueba específicos, consulte las instrucciones pertinentes para las pruebas de fábrica.

Verificación de muestras y consistencia de lotes

Después de pasar la prueba de laboratorio, ¿cómo garantizar la consistencia del producto real?

Verificación de muestra. Para proyectos con requisitos estrictos de liberación de gas, se recomienda realizar primero una verificación de muestras: hacer muestras de acuerdo con toda la configuración que se suministrará y probarlas en condiciones de trabajo reales. Después de confirmar que el nivel de desgasificación está dentro del límite, continúe con la producción en masa.

Primer artículo confirmado. Cuando comienza la producción en masa, se inspecciona la primera pieza para confirmar que coincide con la muestra. Una vez superada la primera pieza, los productos siguientes se producirán utilizando el mismo proceso y materiales.

Gestión del cambio. Si hay cambios en el proveedor del material, la formulación de coloides o el proceso de producción, se deben reevaluar los efectos de la desgasificación. No se puede suponer que 'el nombre del material es el mismo' significa que el nivel de liberación de gas es el mismo. Para procedimientos específicos, consulte las instrucciones relacionadas con los cambios de lote de material de filtro.

Controles puntuales periódicos. Para proyectos de suministro a largo plazo, se pueden realizar inspecciones aleatorias según el período acordado para garantizar el cumplimiento continuo de los requisitos. La frecuencia y los elementos de las inspecciones aleatorias se determinan según el nivel de riesgo. involucrando La selección del filtro de ultra alta eficiencia ULPA se puede verificar según los requisitos del proceso.

Retención de registros. La información de la muestra, las condiciones de la prueba, los resultados y las conclusiones de cada prueba deben archivarse. Estos registros se utilizarán para auditorías posteriores o seguimiento de problemas.

Ejemplo de juicio de proyecto

Un proyecto de equipo semiconductor requiere que ULPA cumpla con requisitos de baja desgasificación, y el documento de adquisición establece que 'el volumen de desgasificación cumple con los estándares de la industria'.

El proveedor proporcionó un informe de prueba TD-GC-MS del material del filtro, que mostró que el contenido principal de materia volátil estaba por debajo del límite de detección. El equipo del proyecto cree que se cumplen los requisitos y compra al por mayor.

Después de que el equipo ha estado funcionando durante un período de tiempo, se detectan trazas de contaminación por siloxano en la superficie de la oblea aguas abajo. La investigación encontró que la fuente de la contaminación era la junta de sellado: la junta utiliza una fórmula de gel de sílice convencional y libera siloxano a la temperatura de funcionamiento, pero esto no se cubrió en el informe de prueba del material del filtro.

Método de tratamiento: Reemplace con una junta de baja desgasificación y repita toda la prueba de desgasificación para confirmar que ya no ocurre contaminación.

El punto clave en este caso es: el informe de medios filtrantes no puede representar el producto completo. La desgasificación puede provenir de cualquier componente y el alcance de la verificación debe cubrir toda la configuración. involucrando filtro HEPA de alta eficiencia es la misma. La lógica de selección del

Lista de verificación de selección y aceptación

Acerca del paquete de verificación de emisiones de gas de Aili Industrial

La clave para una verificación de baja desgasificación es hacer coincidir el objeto objetivo, el rango de material y las condiciones de prueba. Estos tres elementos deben escribirse claramente en la etapa del acuerdo y habrá una base para su implementación posterior.

Aili Industry tiene capacidades de fabricación independientes en filtros, ventiladores, sistemas de control y procesamiento de chapa metálica, y puede proporcionar Filtro ULPA de ultra alta eficiencia、Filtro HEPA de alta eficiencia y equipo de suministro de aire de apoyo. Para proyectos con requisitos de liberación de gas, podemos ayudar a verificar el tipo de material del filtro y la configuración completa del material según las condiciones del proceso, la lista de objetos objetivo y los requisitos de instalación. Cuando el filtro se combina con equipos como FFU y EFU, la información del material y las condiciones de la interfaz también se pueden confirmar de manera uniforme.

Cuando realice consultas, indique los requisitos de desgasificación, la lista de objetos objetivo y los métodos de detección para ayudar a confirmar la solución de material adecuada y el proceso de verificación. La verificación específica estará sujeta a los documentos técnicos y a los resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.