Wie kann man die ULPA-Anforderungen an eine geringe Ausgasung überprüfen?

Die drei Worte „geringe Ausgasung“ tauchen in Beschaffungsunterlagen immer häufiger auf. Halbleiter, Anzeigetafeln, Präzisionsoptik, Pharmazeutika – viele Prozesse weisen eine immer geringere Toleranz gegenüber flüchtigen organischen Verbindungen in der Luft auf. Als zentrale Komponente im Luftversorgungsweg gehören Filter selbstverständlich zum Regelumfang.

Aber „geringe Ausgasung“ selbst ist kein Indikator, der allein ermittelt werden kann. Die Frage lautet: Welcher Stoff wird unter welchen Bedingungen und in welcher Menge freigesetzt? Wenn diese drei Punkte nicht klar sind, ist eine Überprüfung nicht möglich.

Eine häufige Situation bei tatsächlichen Projekten ist: Im Beschaffungsdokument steht „geringe Ausgasung erforderlich“, und der Lieferant antwortet: „Unsere Produkte weisen eine geringe Ausgasung auf“. Beide Parteien glauben, einen Konsens erzielt zu haben, stellen aber erst nach der Akzeptanzprüfung fest, dass die von ihnen verstandene „geringe Ausgasung“ überhaupt nicht dasselbe ist. Daher besteht der erste Schritt bei der Verifizierung nicht darin, eine Erkennungsmethode zu finden, sondern darin, die Anforderungen klar aufzuschreiben.

Lassen Sie uns zunächst klären, was mit „Freigeben“ konkret gemeint ist.

„Release“ ist ein allgemeiner Begriff, und verschiedene Projekte haben völlig unterschiedliche Ziele.

Bei Halbleiterprozessen stehen typischerweise Siloxane, Weichmacher, Amine, saure Gase usw. im Mittelpunkt. Diese Substanzen können Filme auf der Waferoberfläche bilden oder die Leistung des Fotolacks beeinträchtigen. Einige Projekte werden bestimmte Zielverbindungen auflisten, während andere Grenzwerte für den gesamten organischen Kohlenstoff (TOC) oder die gesamten flüchtigen organischen Verbindungen (TVOC) festlegen.

In der pharmazeutischen und biomedizinischen Industrie kann es zu Problemen mit Partikeln und Mikroorganismen kommen, und die Anforderungen an die Ausgasung chemischer Stoffe hängen vom jeweiligen Prozess ab. Wenn der aseptische Abfüllbereich empfindlich auf bestimmte Arten flüchtiger Stoffe reagiert, werden auch entsprechende Kontrollanforderungen gestellt.

Bei Anzeigetafeln und Präzisionsoptiken kann es zu Bedenken hinsichtlich der Auswirkungen bestimmter organischer Verbindungen auf Beschichtungen oder optische Eigenschaften kommen.

Unterschiedliche Ziele entsprechen unterschiedlichen Erkennungsmethoden und Beurteilungsstandards. Im Allgemeinen bedeutet „geringe Ausgasung“, dass der Lieferant nicht bestätigen kann, welche Standards für die Prüfung verwendet werden, welche Substanzen getestet werden und welche Grenzwerte gelten. Spezifische Verifizierungsmethoden entnehmen Sie bitte den entsprechenden Anweisungen der technischen Vereinbarung.

Auch die Prüfbedingungen müssen klar sein. Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Kontaktzeit und Probenahmemethoden beeinflussen alle die Ausgasungsergebnisse. Beim gleichen Produkt kann sich das Gasfreisetzungsvolumen bei 25°C und 60°C um ein Vielfaches unterscheiden. Die Prüfbedingungen sind im Protokoll zu vermerken. Ausgasungsdaten aus den Bedingungen können das Problem nicht erklären.

Die Materialpalette sollte das gesamte Produkt abdecken

Hier laufen die meisten Dinge schief.

Sie können das Filtermaterial nicht einfach testen. Ein ULPA besteht aus Filtermaterial, Stützschicht, Randversiegelungskleber, Außenrahmen, Dichtung und Verpackungsmaterialien. Ausgasungen können von jedem dieser Stoffe ausgehen, nicht nur vom Filtermedium selbst.

Kantenversiegelungen sind eine häufige Quelle. Das Kolloid kann während des Aushärtungsprozesses oder während des Langzeitbetriebs organische flüchtige Stoffe freisetzen. Die Gasfreisetzungseigenschaften verschiedener kolloidaler Formulierungen variieren stark.

Dichtungen und Rahmenbehandlungen sind ebenfalls enthalten. Gummi- oder Silikondichtungen können Siloxan freisetzen; Beim Beschichten, Eloxieren oder Passivieren des Metallrahmens können chemische Rückstände zurückbleiben.

Die Auswirkungen von Verpackungsmaterialien werden leicht übersehen. Wenn das Filterelement während des Transports und der Lagerung mit Verpackungsmaterialien in Kontakt kommt, die flüchtige Substanzen enthalten, kann es zu Kreuzkontaminationen kommen. Einige Projekte verlangen, dass auch Verpackungsmaterialien in die Ausgasungsbewertung einbezogen werden.

Daher sollten die bei der Verifizierung bereitgestellten Prüfmuster die gesamte zu liefernde Produktkonfiguration abbilden. Wenn nur ein kleines Stück Filtermaterial gemessen wird, kann nicht auf die Ausgasung des gesamten Produkts geschlossen werden. Bei der konkreten Auswahl beachten Sie bitte die Vergleichshinweise zwischen Glasfaser- und PTFE-Filtermaterialien. involvierend HEPA/ULPA-Luftfiltern , gleiche Logik. Überprüfung von

Testmuster müssen für tatsächliche Konfigurationen repräsentativ sein

Der Probenbereich der Gasfreisetzungsprüfung bestimmt direkt, ob die Verifizierungsschlussfolgerung verwendet werden kann.

Die Probe ist immer noch das ganze Stück. Die Filtermaterialprobe eignet sich für Labortests, deckt jedoch nicht das Kolloid, die Dichtungen und den Außenrahmen ab. Der Ganzstücktest kommt dem tatsächlichen Einsatzzustand näher, die Testmethoden und Geräteanforderungen sind jedoch höher. Welche Methode verwendet werden soll, hängt von den für das Projekt erforderlichen Grenzwerten und Testbedingungen ab.

Probenstatus. Handelt es sich um ein brandneues Filterelement, das noch nicht eingebaut wurde, oder ist es in einem Zustand, in dem es schon seit einiger Zeit in Betrieb ist? Einige Materialien weisen im Anfangsstadium eine hohe Gasfreisetzung auf und neigen dazu, sich nach längerem Betrieb zu stabilisieren. Liegt der Schwerpunkt des Projekts auf einem langfristigen Betriebszustand, sollten die Erfassungsbedingungen diesem entsprechen.

Probenahmeort. Wo und wie die Probe entnommen wird, hat Einfluss auf die Ergebnisse. Ob Luftaustrittsseite oder Lufteintrittsseite, statischer oder laufender Zustand, alles muss im Detektionsplan geklärt werden.

Wahl der Nachweismethode. Die thermische Desorptions-Gaschromatographie-Massenspektrometrie (TD-GC-MS) ist eine gängige Methode zum Nachweis der Freisetzung organischer Stoffe. Die Probenröhrchen, Desorptionsbedingungen und Datenbanken können jedoch in verschiedenen Labors unterschiedlich sein. Wenn das Projekt einen Vergleich von Daten verschiedener Lieferanten erfordert, sollten die Testmethoden vereinheitlicht werden. Für spezifische Prüfpunkte beachten Sie bitte die entsprechenden Anweisungen zur Werksprüfung.

Probenüberprüfung und Chargenkonsistenz

Wie kann nach bestandener Laborprüfung die Konsistenz des tatsächlichen Produkts sichergestellt werden?

Probenüberprüfung. Bei Projekten mit strengen Anforderungen an die Gasfreisetzung wird empfohlen, zunächst eine Probenüberprüfung durchzuführen – Proben entsprechend der gesamten zu liefernden Konfiguration anzufertigen und diese unter tatsächlichen Arbeitsbedingungen zu testen. Nachdem Sie sich vergewissert haben, dass die Ausgasungsmenge innerhalb des Grenzwerts liegt, fahren Sie mit der Massenproduktion fort.

Erster Artikel bestätigt. Wenn die Massenproduktion beginnt, wird das erste Stück geprüft, um sicherzustellen, dass es mit dem Muster übereinstimmt. Nachdem das erste Stück bestanden ist, werden nachfolgende Produkte mit demselben Verfahren und denselben Materialien hergestellt.

Änderungsmanagement. Bei Änderungen am Materiallieferanten, der Kolloidformulierung oder dem Produktionsprozess sollten die Ausgasungseffekte neu bewertet werden. Es kann nicht davon ausgegangen werden, dass „der gleiche Materialname“ bedeutet, dass die Gasfreisetzungsstufe gleich ist. Spezifische Verfahren finden Sie in den Anweisungen zum Chargenwechsel des Filtermaterials.

Regelmäßige Stichprobenkontrollen. Bei langfristigen Lieferprojekten können stichprobenartige Kontrollen im vereinbarten Zeitraum durchgeführt werden, um die kontinuierliche Einhaltung der Anforderungen sicherzustellen. Häufigkeit und Umfang der Stichprobenkontrollen richten sich nach der Gefährdungsstufe. involvierend Die Auswahl des ULPA-Ultrahocheffizienzfilters kann anhand der Prozessanforderungen überprüft werden.

Aufbewahrung von Aufzeichnungen. Die Probeninformationen, Testbedingungen, Ergebnisse und Beurteilungsschlussfolgerungen jedes Tests sollten archiviert werden. Diese Aufzeichnungen werden für nachfolgende Audits oder Problemverfolgungen verwendet.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Für ein Halbleiterausrüstungsprojekt muss ULPA die Anforderungen an eine geringe Ausgasung erfüllen, und im Beschaffungsdokument heißt es, dass „die Ausgasungsmenge den Industriestandards entspricht“.

Der Lieferant legte einen TD-GC-MS-Testbericht des Filtermaterials vor, aus dem hervorgeht, dass der Hauptgehalt an flüchtigen Bestandteilen unter der Nachweisgrenze lag. Das Projektteam geht davon aus, dass die Anforderungen erfüllt sind und kauft in großen Mengen ein.

Nachdem das Gerät eine Zeit lang in Betrieb war, wurden Spuren von Siloxanverunreinigungen auf der nachgeschalteten Waferoberfläche festgestellt. Die Untersuchung ergab, dass die Ursache der Kontamination die Dichtung war – die Dichtung verwendet eine herkömmliche Kieselgelformel und setzt bei Betriebstemperatur Siloxan frei, was jedoch im Testbericht des Filtermaterials nicht behandelt wurde.

Behandlungsmethode: Durch eine Dichtung mit geringer Ausgasung ersetzen und den gesamten Ausgasungstest wiederholen, um sicherzustellen, dass keine Kontamination mehr auftritt.

Der entscheidende Punkt in diesem Fall ist: Der Filtermedienbericht kann nicht das gesamte Produkt abbilden. Ausgasungen können von jeder einzelnen Komponente ausgehen und der Umfang der Überprüfung muss die gesamte Konfiguration abdecken. involvierend HEPA-Hocheffizienzfilters ist dieselbe. Die Auswahllogik des

Checkliste für Auswahl und Annahme

Über das Paket zur Überprüfung der Gasfreisetzung von Aili Industrial

Der Schlüssel zur Überprüfung einer geringen Ausgasung liegt in der Abstimmung des Zielobjekts, des Materialbereichs und der Testbedingungen. Diese drei Punkte sollten in der Vertragsphase klar formuliert werden und eine Grundlage für die spätere Umsetzung bieten.

Aili Industry verfügt über unabhängige Fertigungskapazitäten für Filter, Ventilatoren, Steuerungssysteme und Blechverarbeitung und kann diese bereitstellen Ultrahocheffizienter ULPA-Filter、HEPA-Hochleistungsfilter und unterstützende Luftversorgungsausrüstung. Bei Projekten mit Gasfreisetzungsanforderungen können wir bei der Überprüfung des Filtermaterialtyps und der gesamten Materialkonfiguration basierend auf Prozessbedingungen, Zielobjektliste und Installationsanforderungen behilflich sein. Wenn der Filter mit Geräten wie FFU und EFU abgestimmt ist, können auch die Materialinformationen und Schnittstellenbedingungen einheitlich bestätigt werden.

Geben Sie bei Ihrer Anfrage die Ausgasungsanforderungen, die Zielobjektliste und die Erkennungsmethoden an, um die geeignete Materiallösung und den Überprüfungsprozess zu bestätigen. Für die konkrete Prüfung sind die durch das Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Prüfergebnisse erforderlich.