L’ULPA peut-elle éliminer l’AMC et les polluants gazeux ?

Cette question est souvent posée dans les projets de semi-conducteurs et de fabrication de précision, mais la réponse elle-même est claire : non, ce n'est pas à cela que sert l'ULPA.

ULPA contrôle les particules. L'AMC (Airborne Molecular Contamination, contamination moléculaire gazeuse) est une pollution gazeuse, le poids moléculaire est bien inférieur à celui des particules et le mécanisme de filtration est complètement différent. S'attendre à améliorer la notation ULPA pour résoudre le problème AMC est une erreur dès le début.

Mais cela ne veut pas dire que l’ULPA n’a pas sa place dans le contrôle de l’AMC. La relation entre les deux est une division du travail et non une substitution.

Qu'est-ce qu'AMC et pourquoi il doit être contrôlé séparément

L'AMC fait référence aux polluants qui existent sous forme gazeuse dans l'air et peuvent être grossièrement divisés en plusieurs catégories selon leurs propriétés :

Gaz acides : tels que le fluorure d'hydrogène, le chlorure d'hydrogène et les oxydes de soufre, sont corrosifs pour certains procédés et matériaux.

Gaz alcalin : tel que l'ammoniac, qui peut affecter l'effet d'exposition pendant le processus de photolithographie.

Contaminants organiques : composés organiques volatils, plastifiants, etc., peuvent former de fines pellicules à la surface de la plaquette.

Dopants : composés tels que le bore et le phosphore, la présence de traces peut affecter les propriétés électriques des dispositifs semi-conducteurs.

Le point commun de ces substances est qu’elles ne sont pas des particules et ne peuvent pas être arrêtées par l’ULPA. Leur contrôle nécessite une filtration chimique, qui repose sur l'adsorption, la neutralisation ou d'autres réactions chimiques pour éliminer les espèces cibles du flux d'air. La configuration spécifique doit être sélectionnée en fonction du type et de la concentration de l'espèce cible. Un matériau ne convient pas à tous.

Pourquoi les évaluations d'efficacité ne peuvent pas remplacer les métriques AMC

Les grades ULPA sont U15, U16 et U17, qui décrivent le taux de pénétration des particules dans des conditions spécifiées.

La filtration chimique se concentre sur différents indicateurs : l'efficacité d'élimination de polluants spécifiques, la capacité d'adsorption, le temps de pénétration et la plage de température et d'humidité applicable.

Ces deux ensembles d’indicateurs ne sont pas sur la même dimension. Un classement U16 indique la capacité du produit à filtrer les particules, mais n'indique pas son efficacité dans le traitement de l'ammoniac, des gaz acides ou des matières organiques. Si le document de marché indique uniquement « ULPA requis », cela ne résoudra pas le problème de l'AMC ; à l’inverse, les spécifications du filtre chimique ne peuvent pas indiquer le niveau de contrôle des particules.

Que vérifier pour les systèmes combinés

Dans les projets réels, la filtration des particules et la filtration chimique doivent souvent être utilisées ensemble. Il y a quelques endroits à vérifier particulièrement en ce moment :

La résistance s’accumule. La section de filtration chimique augmente la résistance totale du système. Lors de la configuration, la résistance de chaque section doit être accumulée pour vérifier si le point de fonctionnement du ventilateur peut toujours répondre au volume d'air de conception. Justificatif Pour le système d'unité de filtre à ventilateur FFU , les performances de l'unité après l'ajout d'une section de filtre doivent également être confirmées.

Séquence d'installation. Le choix de la filtration des particules ou de la filtration chimique en premier affectera leurs charges et cycles de maintenance respectifs. La filtration pré-particulaire peut réduire le risque de contamination par la poussière de la section du filtre chimique. À son tour, l'emplacement de la section du filtre chimique peut également affecter l'espace de remplacement du filtre à particules.

Le médium perd de la poussière. Certains matériaux filtrants chimiques peuvent générer de petites quantités de poussière pendant le fonctionnement. Si elle est installée en aval de l'ULPA, cette partie de la poussière entrera directement du côté propre et il faudra évaluer si une section de protection doit être installée derrière elle.

Les cycles de maintenance sont désynchronisés. Le filtre chimique est remplacé en fonction de la capacité d'adsorption et de la pénétration, et le filtre à particules est basé sur la différence de pression et la détection des fuites. Les rythmes de maintenance des deux sont différents. Les grands livres doivent être enregistrés séparément et ne peuvent pas être traités dans un cycle unifié.

Conditions de charge et de température et d’humidité en amont. L'efficacité de la filtration chimique dépend de la température et de l'humidité. Lorsque les conditions d'entrée d'air dépassent la plage applicable, l'effet du traitement peut diminuer. Ces conditions doivent être indiquées ensemble lors de la sélection.

Les informations sur les achats doivent être écrites séparément

L’aspect le plus problématique du projet AMC est que les deux exigences sont mélangées dans le document technique.

Une approche raisonnable consiste à les séparer en catégories : les exigences en matière de contrôle des particules incluent les niveaux ULPA, les normes de test et le volume d'air ; Les exigences de contrôle de l'AMC comprennent les types de polluants cibles, les concentrations d'admission d'air, les concentrations de pénétration admissibles, les conditions de température et d'humidité et les méthodes de détermination.

Ces deux ensembles d'exigences correspondent à des produits différents, à des tests différents et à des méthodes d'acceptation différentes. Mélangés ensemble, il est difficile pour le fournisseur de proposer un devis précis, et il est difficile de dire quel indicateur n'est pas conforme aux normes lors de l'acceptation.

impliquant La sélection des filtres à air HEPA/ULPA doit être jugée dans la colonne de contrôle des particules ; le plan de traitement des polluants gazeux doit être discuté séparément.

Exemple de jugement de projet

Un certain domaine de la photolithographie concerne à la fois les particules et les gaz acides.

L'idée de configuration raisonnable est la suivante : utilisez l'ULPA à la fin pour contrôler les particules et installez une section de filtration chimique à un endroit approprié pour traiter les gaz acides. Les spécifications, la résistance et les cycles de maintenance des deux sections sont confirmés séparément, et la résistance totale du système et le point de fonctionnement du ventilateur sont uniformément vérifiés.

Si seul l'ULPA est installé, l'indice de particules peut être conforme à la norme, mais le problème des gaz acides persiste ; si seule une filtration chimique est installée, le contrôle des particules ne peut être garanti. Les deux sont dans une relation de coopération et l’un ne peut exister sans l’autre. Applications côté appareil telles que L'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU dispose d'un espace interne compact. La manière d'organiser la filtration en deux étapes et la manière d'entretenir les canaux de maintenance doivent être prises en compte lors de la phase de conception de la structure de l'équipement.

Liste de contrôle de sélection et d'acceptation

À propos de la prise en charge de la configuration combinée d'Aili Industrial

La difficulté dans la configuration des projets AMC ne réside souvent pas dans un seul produit, mais dans la façon de coordonner la section de filtration des particules et la section de filtration chimique, comment équilibrer la résistance et comment organiser la maintenance.

Le système de fabrication d'Aili Industrial couvre les filtres, les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle et l'assemblage complet de machines, et peut fournir Filtre ULPA à très haute efficacité et équipement d'alimentation en air de support. Pour les projets impliquant à la fois le contrôle de la pollution particulaire et gazeuse, l'emplacement, la résistance et les interfaces de chaque section de traitement peuvent être vérifiés ensemble pendant la phase de planification, plutôt que d'être achetés séparément puis coordonnés sur site.

Une liste des cibles de contrôle des particules et des cibles AMC est fournie lors de l'enquête pour aider à confirmer la combinaison de configuration appropriée. Le plan spécifique sera soumis aux documents techniques et aux résultats d'essais confirmés par le projet.