¿Puede ULPA eliminar AMC y contaminantes gaseosos?

Esta pregunta se hace mucho en proyectos de semiconductores y fabricación de precisión, pero la respuesta en sí es clara: no, ULPA no sirve para eso.

ULPA controla el material particulado. AMC (contaminación molecular en el aire, contaminación molecular gaseosa) es una contaminación gaseosa, el peso molecular es mucho menor que el de las partículas y el mecanismo de filtración es completamente diferente. Esperar mejorar la calificación ULPA para solucionar el problema de AMC es un error desde el principio.

Pero esto no significa que la ULPA no tenga cabida en el control de la AMC. La relación entre ambos es división del trabajo, no sustitución.

¿Qué es AMC y por qué es necesario controlarlo por separado?

AMC se refiere a contaminantes que existen en forma gaseosa en el aire y se pueden dividir aproximadamente en varias categorías según sus propiedades:

Gases ácidos : como el fluoruro de hidrógeno, el cloruro de hidrógeno y los óxidos de azufre, son corrosivos para ciertos procesos y materiales.

Gas alcalino : como el amoníaco, que puede afectar el efecto de exposición durante el proceso de fotolitografía.

Contaminantes orgánicos : compuestos orgánicos volátiles, plastificantes, etc., pueden formar películas finas en la superficie de la oblea.

Dopantes : compuestos como el boro y el fósforo, la presencia de trazas puede afectar las propiedades eléctricas de los dispositivos semiconductores.

Lo que tienen en común estas sustancias es que no son partículas y no pueden ser detenidas por ULPA. Controlarlos requiere filtración química, que se basa en la adsorción, neutralización u otras reacciones químicas para eliminar las especies objetivo de la corriente de aire. La configuración específica debe seleccionarse según el tipo y la concentración de la especie objetivo. Un material no sirve para todos.

Por qué las calificaciones de eficiencia no pueden reemplazar las métricas de AMC

Los grados de ULPA son U15, U16 y U17, que describen la tasa de penetración de partículas en condiciones específicas.

La filtración química se centra en diferentes indicadores: eficiencia de eliminación de contaminantes específicos, capacidad de adsorción, tiempo de penetración y rango de temperatura y humedad aplicable.

Estos dos conjuntos de indicadores no pertenecen a la misma dimensión. Una clasificación U16 indica la capacidad del producto para filtrar partículas, pero no indica su eficacia para tratar amoníaco, gases ácidos o materia orgánica. Si el documento de adquisición solo dice 'Se requiere ULPA', no resolverá el problema del AMC; por el contrario, las especificaciones del filtro químico no pueden indicar el nivel de control de partículas.

Qué comprobar para los sistemas combinados

En proyectos reales, la filtración de partículas y la filtración química a menudo deben usarse juntas. Hay algunos lugares para verificar en particular en este momento:

La resistencia se acumula. La sección de filtración química aumenta la resistencia total del sistema. Al configurar, se debe acumular la resistencia de cada sección para verificar si el punto de funcionamiento del ventilador aún puede alcanzar el volumen de aire de diseño. Secundario Para el sistema de unidad de filtro de ventilador FFU , también se debe confirmar el rendimiento de la unidad después de agregar una sección de filtro.

Secuencia de instalación. La filtración de partículas o la filtración química que se realice primero afectará sus respectivas cargas y ciclos de mantenimiento. La filtración previa a las partículas puede reducir la posibilidad de contaminación por polvo de la sección del filtro químico. A su vez, la ubicación de la sección del filtro químico también puede afectar el espacio de reemplazo del filtro de partículas.

El medio pierde polvo. Algunos materiales de filtrado químicos pueden generar pequeñas cantidades de polvo durante el funcionamiento. Si se instala aguas abajo de ULPA, esta parte del polvo entrará directamente al lado limpio, por lo que es necesario evaluar si es necesario instalar una sección de protección detrás de él.

Los ciclos de mantenimiento no están sincronizados. El filtro químico se reemplaza según la capacidad de adsorción y penetración, y el filtro de partículas según la diferencia de presión y la detección de fugas. Los ritmos de mantenimiento de los dos son diferentes. Los libros mayores deben registrarse por separado y no pueden procesarse en un ciclo unificado.

Carga aguas arriba y condiciones de temperatura y humedad. La eficiencia de la filtración química se ve afectada por la temperatura y la humedad. Cuando las condiciones de entrada de aire exceden el rango aplicable, el efecto del tratamiento puede disminuir. Estas condiciones deben indicarse juntas al seleccionar.

La información de adquisiciones debe escribirse por separado.

El aspecto más problemático del proyecto AMC es que los dos requisitos se mezclan en el documento técnico.

Un enfoque razonable es separarlos en categorías: los requisitos de control de partículas incluyen niveles ULPA, estándares de prueba y volumen de aire; Los requisitos de control de AMC incluyen tipos de contaminantes objetivo, concentraciones de entrada de aire, concentraciones de penetración permitidas, condiciones de temperatura y humedad y métodos de determinación.

Estos dos conjuntos de requisitos corresponden a diferentes productos, diferentes pruebas y diferentes métodos de aceptación. Combinados, es difícil para el proveedor cotizar con precisión y es difícil saber qué indicador no cumple con el estándar durante la aceptación.

involucrando La selección de filtros de aire HEPA/ULPA debe juzgarse en la columna de control de partículas; el plan de tratamiento de contaminantes gaseosos debe discutirse por separado.

Ejemplo de juicio de proyecto

Cierta área de fotolitografía se ocupa tanto de partículas como de gases ácidos.

La idea de configuración razonable es: usar ULPA al final para controlar las partículas y configurar una sección de filtración química en un lugar adecuado para procesar gas ácido. Las especificaciones, resistencia y ciclos de mantenimiento de las dos secciones se confirman por separado, y se verifican uniformemente la resistencia total del sistema y el punto de funcionamiento del ventilador.

Si solo se instala ULPA, el índice de partículas puede cumplir con el estándar, pero el problema del gas ácido aún existe; Si solo se instala filtración química, no se puede garantizar el control de partículas. Los dos están en una relación de cooperación y uno no puede existir sin el otro. Aplicaciones del lado del dispositivo como La unidad de filtrado por ventilador del lado del equipo EFU tiene un espacio interno compacto. Durante la etapa de diseño de la estructura del equipo se debe tener en cuenta cómo organizar la filtración de dos etapas y cómo mantener los canales de mantenimiento.

Lista de verificación de selección y aceptación

Acerca del soporte de configuración combinada de Aili Industrial

La dificultad en la configuración de los proyectos de AMC a menudo no está en un solo producto, sino en cómo coordinar la sección de filtración de partículas y la sección de filtración química, cómo equilibrar la resistencia y cómo organizar el mantenimiento.

El sistema de fabricación de Aili Industrial cubre filtros, motores, ventiladores, sistemas de control y ensamblaje completo de máquinas, y puede proporcionar Filtro ULPA de ultra alta eficiencia y equipo de suministro de aire de soporte. Para proyectos que involucran control de la contaminación tanto de partículas como de gases, la ubicación, la resistencia y las interfaces de cada sección de tratamiento se pueden verificar juntas durante la etapa de planificación, en lugar de comprarlas por separado y luego coordinarlas en el sitio.

Durante la consulta se proporciona una lista de objetivos de control de partículas y objetivos AMC para ayudar a confirmar la combinación de configuración adecuada. El plan específico estará sujeto a los documentos técnicos y resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.