هل تستطيع ULPA إزالة AMC والملوثات الغازية؟

يتم طرح هذا السؤال كثيرًا في مشاريع أشباه الموصلات والتصنيع الدقيق، لكن الإجابة في حد ذاتها واضحة: لا، ليس هذا هو ما تهدف إليه ULPA.

تتحكم ULPA في المواد الجسيمية. AMC (التلوث الجزيئي المحمول جواً، التلوث الجزيئي الغازي) هو تلوث غازي، والوزن الجزيئي أصغر بكثير من الجسيمات، وآلية الترشيح مختلفة تمامًا. إن توقع تحسين تصنيف ULPA لحل مشكلة AMC أمر خاطئ منذ البداية.

لكن هذا لا يعني أن ULPA ليس لها مكان في سيطرة AMC. والعلاقة بين الاثنين هي تقسيم العمل وليس الاستبدال.

ما هو AMC ولماذا يجب التحكم فيه بشكل منفصل

يشير AMC إلى الملوثات الموجودة في شكل غازي في الهواء ويمكن تقسيمها تقريبًا إلى عدة فئات وفقًا لخصائصها:

الغازات الحمضية : مثل فلوريد الهيدروجين، وكلوريد الهيدروجين، وأكاسيد الكبريت، تؤدي إلى تآكل بعض العمليات والمواد.

الغازات القلوية : مثل الأمونيا، والتي قد تؤثر على تأثير التعرض أثناء عملية الطباعة الحجرية الضوئية.

الملوثات العضوية : قد تشكل المركبات العضوية المتطايرة، والملدنات، وما إلى ذلك، أغشية رقيقة على سطح الرقاقة.

المنشطات : مركبات مثل البورون والفوسفور، وجود كميات ضئيلة منها قد يؤثر على الخواص الكهربائية للأجهزة شبه الموصلة.

القاسم المشترك بين هذه المواد هو أنها ليست جزيئات ولا يمكن لـ ULPA إيقافها. وتتطلب السيطرة عليها الترشيح الكيميائي، الذي يعتمد على الامتزاز أو التعادل أو التفاعلات الكيميائية الأخرى لإزالة الأنواع المستهدفة من تيار الهواء. يجب اختيار التكوين المحدد وفقًا لنوع وتركيز الأنواع المستهدفة. مادة واحدة لا تناسب الجميع.

لماذا لا يمكن أن تحل تقييمات الكفاءة محل مقاييس AMC

درجات ULPA هي U15، U16، وU17، والتي تصف معدل اختراق الجسيمات في ظل ظروف محددة.

يركز الترشيح الكيميائي على مؤشرات مختلفة: كفاءة إزالة ملوثات معينة، وقدرة الامتزاز، ووقت الاختراق، ونطاق درجة الحرارة والرطوبة المطبق.

هاتان المجموعتان من المؤشرات ليستا على نفس البعد. يشير تصنيف U16 إلى قدرة المنتج على تصفية الجزيئات، لكنه لا يشير إلى فعاليته في معالجة الأمونيا أو الغازات الحمضية أو المواد العضوية. إذا كانت وثيقة الشراء تقول فقط 'ULPA مطلوب'، فلن تحل مشكلة AMC؛ وعلى العكس من ذلك، لا يمكن أن تشير مواصفات المرشح الكيميائي إلى مستوى التحكم في الجسيمات.

ما الذي يجب التحقق منه للأنظمة المدمجة

في المشاريع الفعلية، غالبًا ما يلزم استخدام ترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي معًا. هناك عدد قليل من الأماكن للتحقق بشكل خاص في هذا الوقت:

تتراكم المقاومة. يزيد قسم الترشيح الكيميائي من المقاومة الكلية للنظام. عند التكوين، يجب تجميع مقاومة كل قسم للتحقق مما إذا كانت نقطة تشغيل المروحة لا تزال قادرة على تلبية حجم الهواء التصميمي. دعم بالنسبة لنظام وحدة مرشح المروحة FFU ، يجب أيضًا تأكيد أداء الوحدة بعد إضافة قسم المرشح.

تسلسل التثبيت. أي ترشيح للجسيمات أو الترشيح الكيميائي يأتي أولاً سيؤثر على الأحمال ودورات الصيانة الخاصة بكل منهما. يمكن أن يؤدي الترشيح المسبق للجسيمات إلى تقليل احتمالية تلوث قسم المرشح الكيميائي بالغبار. وفي المقابل، قد يؤثر موقع قسم مرشح المواد الكيميائية أيضًا على مساحة استبدال مرشح الجسيمات.

وسائل الإعلام تفقد مسحوقها. قد تولد بعض مواد الترشيح الكيميائي كميات صغيرة من الغبار أثناء التشغيل. إذا تم تركيبه أسفل ULPA، فإن هذا الجزء من الغبار سيدخل مباشرة إلى الجانب النظيف، ويحتاج إلى تقييم ما إذا كان هناك حاجة إلى تثبيت قسم حماية خلفه.

دورات الصيانة غير متزامنة. يتم استبدال الفلتر الكيميائي على أساس قدرة الامتزاز والاختراق، ويعتمد مرشح الجسيمات على فرق الضغط واكتشاف التسرب. إيقاعات الصيانة بين الاثنين مختلفة. يجب تسجيل دفاتر الأستاذ بشكل منفصل ولا يمكن معالجتها في دورة موحدة.

تحميل المنبع وظروف درجة الحرارة والرطوبة. تتأثر كفاءة الترشيح الكيميائي بدرجة الحرارة والرطوبة. عندما تتجاوز ظروف مدخل الهواء النطاق المطبق، قد ينخفض ​​تأثير العلاج. ويجب ذكر هذه الشروط معًا عند الاختيار.

يجب كتابة معلومات الشراء بشكل منفصل

الجانب الأكثر إشكالية في مشروع AMC هو خلط المتطلبين معًا في الوثيقة الفنية.

يتمثل النهج المعقول في تقسيمها إلى فئات: تتضمن متطلبات التحكم في الجسيمات مستويات ULPA، ومعايير الاختبار، وحجم الهواء؛ تتضمن متطلبات التحكم في AMC أنواع الملوثات المستهدفة، وتركيزات سحب الهواء، وتركيزات الاختراق المسموح بها، وظروف درجة الحرارة والرطوبة، وطرق التحديد.

تتوافق هاتان المجموعتان من المتطلبات مع منتجات مختلفة واختبارات مختلفة وطرق قبول مختلفة. عند مزجها معًا، يصعب على المورد تقديم عرض أسعار بدقة، ومن الصعب معرفة أي المؤشرات لا ترقى إلى المستوى القياسي أثناء القبول.

تنطوي ينبغي الحكم على اختيار مرشحات الهواء HEPA/ULPA في عمود التحكم في الجسيمات؛ ويجب مناقشة خطة معالجة الملوثات الغازية بشكل منفصل.

مثال حكم المشروع

تهتم منطقة معينة من الليثوغرافيا الضوئية بكل من الجسيمات والغازات الحمضية.

فكرة التكوين المعقولة هي: استخدام ULPA في النهاية للتحكم في الجزيئات، وإنشاء قسم ترشيح كيميائي في موقع مناسب لمعالجة الغاز الحمضي. يتم تأكيد المواصفات والمقاومة ودورات الصيانة للقسمين بشكل منفصل، ويتم فحص المقاومة الإجمالية للنظام ونقطة تشغيل المروحة بشكل موحد.

إذا تم تركيب ULPA فقط، فقد يفي مؤشر الجسيمات بالمعيار، ولكن مشكلة الغاز الحمضي لا تزال موجودة؛ إذا تم تركيب الترشيح الكيميائي فقط، فلا يمكن ضمان التحكم في الجسيمات. الاثنان في علاقة تعاونية ولا يمكن لأحدهما أن يوجد بدون الآخر. التطبيقات من جانب الجهاز مثل تحتوي وحدة مرشح المروحة بجانب المعدات EFU على مساحة داخلية مدمجة. يجب أن تؤخذ في الاعتبار كيفية ترتيب الترشيح على مرحلتين وكيفية الحفاظ على قنوات الصيانة أثناء مرحلة تصميم هيكل المعدات.

قائمة الاختيار والقبول

حول دعم التكوين المركب لشركة Aili Industrial

الصعوبة في تكوين مشاريع AMC غالبا لا تكون في منتج واحد، ولكن في كيفية تنسيق قسم الترشيح الجزيئي وقسم الترشيح الكيميائي، وكيفية موازنة المقاومة، وكيفية ترتيب الصيانة.

يغطي نظام التصنيع الخاص بشركة Aili Industrial المرشحات والمحركات والمراوح وأنظمة التحكم وتجميع الماكينة بالكامل، ويمكن أن يوفر ذلك مرشح ULPA فائق الكفاءة ومعدات إمداد الهواء الداعمة. بالنسبة للمشاريع التي تتضمن التحكم في التلوث الجزيئي والغازي، يمكن التحقق من الموقع والمقاومة والواجهات الخاصة بكل قسم معالجة معًا خلال مرحلة التخطيط، بدلاً من شراؤها بشكل منفصل ثم تنسيقها في الموقع.

يتم توفير قائمة بأهداف التحكم في الجسيمات وأهداف AMC أثناء الاستفسار للمساعدة في تأكيد مجموعة التكوين المناسبة. ويجب أن تخضع الخطة المحددة للوثائق الفنية ونتائج الاختبار التي يؤكدها المشروع.