Kann ULPA AMC und gasförmige Schadstoffe entfernen?

Diese Frage wird bei Halbleiter- und Präzisionsfertigungsprojekten häufig gestellt, aber die Antwort selbst ist klar: Nein, dafür ist ULPA nicht gedacht.

ULPA kontrolliert Feinstaub. AMC (Airborne Molecular Contamination, gasförmige molekulare Kontamination) ist eine gasförmige Verschmutzung, das Molekulargewicht ist viel kleiner als das der Partikel und der Filtermechanismus ist völlig anders. Die Erwartung, das ULPA-Rating zu verbessern, um das AMC-Problem zu lösen, ist von Anfang an falsch.

Dies bedeutet jedoch nicht, dass ULPA keinen Platz in der AMC-Kontrolle hat. Die Beziehung zwischen beiden ist Arbeitsteilung, nicht Substitution.

Was ist AMC und warum muss es separat gesteuert werden?

Unter AMC versteht man Schadstoffe, die in gasförmiger Form in der Luft vorkommen und anhand ihrer Eigenschaften grob in mehrere Kategorien eingeteilt werden können:

Saure Gase wie Fluorwasserstoff, Chlorwasserstoff und Schwefeloxide wirken korrosiv auf bestimmte Prozesse und Materialien.

Alkalisches Gas : wie Ammoniak, das den Belichtungseffekt während des Fotolithographieprozesses beeinträchtigen kann.

Organische Verunreinigungen : flüchtige organische Verbindungen, Weichmacher usw. können dünne Filme auf der Waferoberfläche bilden.

Dotierstoffe : Verbindungen wie Bor und Phosphor, deren Spuren die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen beeinträchtigen können.

Gemeinsam ist diesen Stoffen, dass sie keine Partikel sind und nicht durch ULPA gestoppt werden können. Ihre Kontrolle erfordert eine chemische Filterung, die auf Adsorption, Neutralisierung oder anderen chemischen Reaktionen beruht, um die Zielspezies aus dem Luftstrom zu entfernen. Die spezifische Konfiguration sollte entsprechend der Art und Konzentration der Zielart ausgewählt werden. Ein Material passt nicht für alle.

Warum Effizienzbewertungen AMC-Kennzahlen nicht ersetzen können

Die ULPA-Klassen U15, U16 und U17 beschreiben die Penetrationsrate von Partikeln unter bestimmten Bedingungen.

Die chemische Filtration konzentriert sich auf verschiedene Indikatoren: Entfernungseffizienz spezifischer Schadstoffe, Adsorptionskapazität, Durchdringungszeit und anwendbarer Temperatur- und Feuchtigkeitsbereich.

Diese beiden Indikatorensätze liegen nicht in derselben Dimension. Die Einstufung U16 gibt Aufschluss über die Fähigkeit des Produkts, Partikel zu filtern, nicht jedoch über seine Wirksamkeit bei der Behandlung von Ammoniak, sauren Gasen oder organischen Stoffen. Wenn im Beschaffungsdokument nur „ULPA erforderlich“ steht, wird das AMC-Problem nicht gelöst; Umgekehrt können die Spezifikationen des chemischen Filters keinen Rückschluss auf den Grad der Partikelkontrolle geben.

Was ist bei kombinierten Systemen zu prüfen?

In tatsächlichen Projekten müssen Partikelfiltration und chemische Filtration häufig zusammen eingesetzt werden. Derzeit gibt es einige Orte, die Sie besonders überprüfen sollten:

Der Widerstand häuft sich. Der chemische Filterabschnitt erhöht den Gesamtsystemwiderstand. Bei der Konfiguration sollte der Widerstand jedes Abschnitts akkumuliert werden, um zu prüfen, ob der Betriebspunkt des Ventilators noch die Auslegungsluftmenge erreichen kann. Unterstützend Für das FFU-Lüfterfiltereinheitssystem muss auch die Leistung der Einheit nach dem Hinzufügen eines Filterabschnitts bestätigt werden.

Installationsreihenfolge. Welche Partikelfiltration oder chemische Filterung zuerst kommt, wirkt sich auf ihre jeweiligen Belastungen und Wartungszyklen aus. Durch die Vorfiltration von Partikeln kann die Möglichkeit einer Staubverunreinigung des chemischen Filterabschnitts verringert werden. Die Lage des chemischen Filterabschnitts kann sich wiederum auch auf den Austauschraum des Partikelfilters auswirken.

Das Medium verliert Staub. Einige chemische Filtermaterialien können während des Betriebs geringe Mengen Staub erzeugen. Bei einer Installation nach ULPA gelangt dieser Teil des Staubs direkt auf die Reinseite und es muss geprüft werden, ob dahinter ein Schutzabschnitt installiert werden muss.

Wartungszyklen sind nicht synchron. Der Austausch des chemischen Filters erfolgt auf Grundlage der Adsorptionskapazität und Durchdringung, der Partikelfilter auf Grundlage der Druckdifferenz und der Leckerkennung. Die Wartungsrhythmen der beiden sind unterschiedlich. Die Hauptbücher müssen separat geführt werden und können nicht in einem einheitlichen Zyklus verarbeitet werden.

Vorgelagerte Last sowie Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen. Die Effizienz der chemischen Filterung wird von Temperatur und Luftfeuchtigkeit beeinflusst. Wenn die Lufteinlassbedingungen den geltenden Bereich überschreiten, kann die Behandlungswirkung nachlassen. Diese Bedingungen sollten bei der Auswahl zusammen angegeben werden.

Beschaffungsinformationen sollten separat geschrieben werden

Der problematischste Aspekt des AMC-Projekts besteht darin, dass die beiden Anforderungen im technischen Dokument vermischt werden.

Ein sinnvoller Ansatz besteht darin, sie in Kategorien zu unterteilen: Zu den Partikelkontrollanforderungen gehören ULPA-Werte, Prüfnormen und Luftvolumen; Zu den AMC-Kontrollanforderungen gehören Zielschadstofftypen, Lufteinlasskonzentrationen, zulässige Penetrationskonzentrationen, Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen sowie Bestimmungsmethoden.

Diese beiden Anforderungssätze entsprechen unterschiedlichen Produkten, unterschiedlichen Tests und unterschiedlichen Abnahmemethoden. Zusammengenommen ist es für den Lieferanten schwierig, ein genaues Angebot abzugeben, und es ist schwierig zu erkennen, welcher Indikator bei der Abnahme nicht dem Standard entspricht.

involvierend Die Auswahl von HEPA/ULPA-Luftfiltern sollte anhand der Spalte „Partikelkontrolle“ beurteilt werden; Der Behandlungsplan für gasförmige Schadstoffe muss gesondert besprochen werden.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Ein bestimmter Bereich der Photolithographie befasst sich sowohl mit Partikeln als auch mit sauren Gasen.

Die vernünftige Konfigurationsidee lautet: Verwenden Sie ULPA am Ende, um Partikel zu kontrollieren, und richten Sie an einem geeigneten Ort einen chemischen Filterabschnitt ein, um saures Gas zu verarbeiten. Die Spezifikationen, Widerstände und Wartungszyklen der beiden Abschnitte werden separat bestätigt und der Gesamtsystemwiderstand und der Lüfterbetriebspunkt werden einheitlich überprüft.

Wenn nur ULPA installiert ist, entspricht der Partikelindex möglicherweise der Norm, das Problem mit sauren Gasen besteht jedoch weiterhin. Wenn nur eine chemische Filterung installiert ist, kann die Partikelkontrolle nicht gewährleistet werden. Die beiden stehen in einer kooperativen Beziehung und einer ist unverzichtbar. Geräteseitige Anwendungen wie z Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit EFU verfügt über einen kompakten Innenraum. Die Anordnung der zweistufigen Filterung und die Aufrechterhaltung der Wartungskanäle müssen bei der Konstruktion der Anlagenstruktur berücksichtigt werden.

Checkliste für Auswahl und Annahme

Informationen zur Kombinationskonfigurationsunterstützung von Aili Industrial

Die Schwierigkeit bei der Konfiguration von AMC-Projekten liegt oft nicht in einem einzelnen Produkt, sondern darin, wie der Partikelfiltrationsabschnitt und der chemische Filtrationsabschnitt koordiniert werden, wie der Widerstand ausgeglichen wird und wie die Wartung organisiert wird.

Das Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme und die komplette Maschinenmontage und kann liefern Ultrahocheffizienter ULPA-Filter und unterstützende Luftversorgungsausrüstung. Bei Projekten, die sowohl die Partikel- als auch die Gasverschmutzungskontrolle betreffen, können Standort, Widerstandsfähigkeit und Schnittstellen jedes Behandlungsabschnitts gemeinsam in der Planungsphase überprüft werden, anstatt sie separat zu erwerben und dann vor Ort zu koordinieren.

Während der Anfrage wird eine Liste der Partikelkontrollziele und AMC-Ziele bereitgestellt, um die Bestätigung der geeigneten Konfigurationskombination zu erleichtern. Der konkreten Planung liegen die vom Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Prüfergebnisse zugrunde.