Может ли ULPA удалить AMC и газообразные загрязнители?

Этот вопрос часто задают в проектах полупроводникового и прецизионного производства, но сам ответ ясен: нет, ULPA не для этого.

ULPA контролирует твердые частицы. AMC (Airborne Molecular Contamination, газообразное молекулярное загрязнение) представляет собой газообразное загрязнение, молекулярная масса которого намного меньше частиц, а механизм фильтрации совершенно другой. Ожидать повышения рейтинга ULPA для решения проблемы КУА изначально неверно.

Но это не означает, что ULPA нет места в контроле АМКУ. Отношения между ними представляют собой разделение труда, а не замещение.

Что такое КУА и почему его нужно контролировать отдельно

АМС относится к загрязнителям, которые существуют в газообразном виде в воздухе и по своим свойствам их условно можно разделить на несколько категорий:

Кислые газы : такие как фтороводород, хлороводород и оксиды серы, вызывают коррозию определенных процессов и материалов.

Щелочной газ : например, аммиак, который может повлиять на эффект экспонирования в процессе фотолитографии.

Органические загрязнения : летучие органические соединения, пластификаторы и т. д. могут образовывать тонкие пленки на поверхности пластин.

Легирующие добавки : такие соединения, как бор и фосфор, присутствие следовых количеств может повлиять на электрические свойства полупроводниковых приборов.

Общим для этих веществ является то, что они не являются частицами и не могут быть остановлены ULPA. Для борьбы с ними требуется химическая фильтрация, которая основана на адсорбции, нейтрализации или других химических реакциях для удаления целевых веществ из воздушного потока. Конкретную конфигурацию следует выбирать в зависимости от типа и концентрации целевых видов. Один материал не подходит всем.

Почему рейтинги эффективности не могут заменить показатели AMC

Классы ULPA: U15, U16 и U17, которые описывают скорость проникновения частиц в определенных условиях.

Химическая фильтрация фокусируется на различных показателях: эффективности удаления конкретных загрязнителей, адсорбционной способности, времени проникновения, а также применимом диапазоне температур и влажности.

Эти два набора показателей не относятся к одному и тому же измерению. Рейтинг U16 указывает на способность продукта фильтровать частицы, но не указывает на его эффективность при очистке аммиака, кислых газов или органических веществ. Если в документе о закупке указано только «Требуется ULPA», это не решит проблему КУА; и наоборот, характеристики химического фильтра не могут указывать на уровень контроля частиц.

Что проверить для комбинированных систем

В реальных проектах фильтрацию частиц и химическую фильтрацию часто необходимо использовать вместе. В настоящее время есть несколько мест, которые стоит особенно проверить:

Сопротивление накапливается. Секция химической фильтрации повышает общую устойчивость системы. При настройке необходимо суммировать сопротивление каждой секции, чтобы проверить, может ли рабочая точка вентилятора по-прежнему соответствовать расчетному объему воздуха. Поддержка Для системы вентиляторного фильтрующего блока FFU также необходимо подтвердить производительность блока после добавления секции фильтра.

Последовательность установки. Какая фильтрация твердых частиц или химическая фильтрация будет первой, будет влиять на соответствующие нагрузки и циклы технического обслуживания. Предварительная фильтрация частиц может снизить вероятность загрязнения секции химического фильтра пылью. В свою очередь, расположение секции химического фильтра также может влиять на пространство для замены противосажевого фильтра.

Среда теряет пыль. Некоторые химические фильтрующие материалы могут образовывать небольшое количество пыли во время работы. При установке после ULPA эта часть пыли попадет непосредственно на чистую сторону, и необходимо оценить, нужно ли устанавливать за ней защитную секцию.

Циклы технического обслуживания не синхронизированы. Химический фильтр заменяется на основе адсорбционной способности и проникновения, а фильтр твердых частиц - на основе разницы давления и обнаружения утечек. Ритмы технического обслуживания у них разные. Регистры должны вестись отдельно и не могут обрабатываться в едином цикле.

Нагрузка на входе, а также условия температуры и влажности. На эффективность химической фильтрации влияют температура и влажность. Когда условия на входе воздуха превышают применимый диапазон, эффект обработки может снизиться. Эти условия должны быть указаны вместе при выборе.

Информация о закупке должна быть написана отдельно.

Самый проблемный аспект проекта AMC заключается в том, что в техническом документе эти два требования смешаны.

Разумный подход — разделить их на категории: требования к контролю частиц включают уровни ULPA, стандарты испытаний и объем воздуха; Требования контроля AMC включают целевые типы загрязняющих веществ, концентрации приточного воздуха, допустимые концентрации проникновения, условия температуры и влажности, а также методы определения.

Эти два набора требований соответствуют разным продуктам, разным испытаниям и разным методам приемки. В совокупности поставщику сложно указать точную цену и трудно определить, какой показатель не соответствует стандарту во время приемки.

с участием Выбор воздушных фильтров HEPA/ULPA следует оценивать по колонке контроля частиц; план очистки газообразных загрязняющих веществ необходимо обсуждать отдельно.

Пример оценки проекта

Определенная область фотолитографии связана как с частицами, так и с кислыми газами.

Разумная идея конфигурации: использовать ULPA в конце для контроля частиц и установить секцию химической фильтрации в подходящем месте для обработки кислого газа. Спецификации, сопротивление и циклы обслуживания двух секций подтверждаются отдельно, а общее сопротивление системы и рабочая точка вентилятора проверяются единым образом.

Если установлено только ULPA, индекс частиц может соответствовать стандарту, но проблема с кислым газом все еще существует; если установлена ​​только химическая фильтрация, контроль частиц не может быть гарантирован. Эти двое находятся в отношениях сотрудничества, и один из них незаменим. Приложения на стороне устройства, такие как Фильтрующий вентилятор со стороны оборудования EFU имеет компактное внутреннее пространство. Как организовать двухступенчатую фильтрацию и как содержать каналы обслуживания, необходимо учитывать на этапе проектирования конструкции оборудования.

Контрольный список выбора и приемки

О поддержке комбинированной конфигурации Aili Industrial

Сложность конфигурации проектов AMC зачастую заключается не в одном изделии, а в том, как согласовать секцию фильтрации частиц и секцию химической фильтрации, как сбалансировать сопротивление и как организовать техническое обслуживание.

Производственная система Aili Industrial охватывает фильтры, двигатели, вентиляторы, системы управления и полную сборку машин и может обеспечить Фильтр сверхвысокой эффективности ULPA и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов, включающих контроль как твердых, так и газообразных загрязнений, расположение, сопротивление и интерфейсы каждой секции очистки можно проверить вместе на этапе планирования, а не приобретать отдельно и затем согласовывать на месте.

Список целей контроля частиц и целей AMC предоставляется во время запроса, чтобы помочь подтвердить соответствующую комбинацию конфигурации. Конкретный план должен соответствовать технической документации и результатам испытаний, подтвержденным проектом.