ULPA có thể loại bỏ AMC và các chất ô nhiễm dạng khí không?

Câu hỏi này được hỏi rất nhiều trong các dự án sản xuất chất bán dẫn và sản xuất chính xác, nhưng bản thân câu trả lời đã rất rõ ràng: không, đây không phải là mục đích của ULPA.

ULPA kiểm soát vật chất dạng hạt. AMC (Ô nhiễm phân tử trong không khí, ô nhiễm phân tử khí) là một loại ô nhiễm khí, trọng lượng phân tử nhỏ hơn nhiều so với các hạt và cơ chế lọc hoàn toàn khác. Kỳ vọng cải thiện xếp hạng ULPA để giải quyết vấn đề AMC là sai lầm ngay từ đầu.

Nhưng điều này không có nghĩa là ULPA không có chỗ trong sự kiểm soát của AMC. Mối quan hệ giữa hai bên là sự phân công lao động chứ không phải sự thay thế.

AMC là gì và tại sao nó cần được kiểm soát riêng

AMC đề cập đến các chất ô nhiễm tồn tại ở dạng khí trong không khí và có thể được chia thành nhiều loại tùy theo tính chất của chúng:

Khí axit : chẳng hạn như hydro florua, hydro clorua và oxit lưu huỳnh, có tính ăn mòn đối với một số quy trình và vật liệu.

Khí kiềm : chẳng hạn như amoniac, có thể ảnh hưởng đến hiệu ứng tiếp xúc trong quá trình quang khắc.

Các chất ô nhiễm hữu cơ : các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi, chất làm dẻo, v.v., có thể tạo thành màng mỏng trên bề mặt wafer.

Chất tạp chất : các hợp chất như boron và phốt pho, sự hiện diện của một lượng nhỏ có thể ảnh hưởng đến tính chất điện của thiết bị bán dẫn.

Điểm chung của những chất này là chúng không phải là hạt và không thể bị chặn bởi ULPA. Việc kiểm soát chúng đòi hỏi phải lọc hóa học, dựa trên sự hấp phụ, trung hòa hoặc các phản ứng hóa học khác để loại bỏ các loài mục tiêu khỏi luồng không khí. Cấu hình cụ thể nên được lựa chọn theo loại và nồng độ của loài mục tiêu. Một vật liệu không phù hợp với tất cả.

Tại sao xếp hạng hiệu quả không thể thay thế số liệu AMC

Các cấp độ của ULPA là U15, U16 và U17, mô tả tốc độ thâm nhập của các hạt trong các điều kiện xác định.

Lọc hóa học tập trung vào các chỉ số khác nhau: hiệu quả loại bỏ các chất ô nhiễm cụ thể, khả năng hấp phụ, thời gian thâm nhập và phạm vi nhiệt độ và độ ẩm áp dụng.

Hai bộ chỉ số này không có cùng chiều hướng. Xếp hạng U16 cho biết khả năng lọc các hạt của sản phẩm nhưng không cho biết hiệu quả của sản phẩm trong việc xử lý amoniac, khí axit hoặc chất hữu cơ. Nếu tài liệu mua sắm chỉ ghi 'Yêu cầu ULPA' thì sẽ không giải quyết được vấn đề AMC; ngược lại, các thông số kỹ thuật của bộ lọc hóa học không thể cho biết mức độ kiểm soát hạt.

Những gì cần kiểm tra cho hệ thống kết hợp

Trong các dự án thực tế, lọc hạt và lọc hóa học thường cần được sử dụng cùng nhau. Có một số nơi cần kiểm tra cụ thể vào thời điểm này:

Sự kháng cự tăng lên. Phần lọc hóa học làm tăng tổng sức đề kháng của hệ thống. Khi cấu hình, nên tích lũy điện trở của từng phần để kiểm tra xem điểm vận hành của quạt có còn đáp ứng được lượng không khí thiết kế hay không. Hỗ trợ Đối với hệ thống bộ lọc quạt FFU , hiệu suất của thiết bị sau khi thêm phần bộ lọc cũng phải được xác nhận.

Trình tự cài đặt. Quá trình lọc hạt hoặc lọc hóa học nào diễn ra trước sẽ ảnh hưởng đến tải trọng và chu kỳ bảo trì tương ứng của chúng. Lọc trước hạt có thể làm giảm khả năng nhiễm bụi của phần lọc hóa học. Ngược lại, vị trí của bộ phận lọc hóa học cũng có thể ảnh hưởng đến không gian thay thế của bộ lọc hạt.

Phương tiện mất bụi. Một số vật liệu lọc hóa học có thể tạo ra một lượng nhỏ bụi trong quá trình vận hành. Nếu lắp đặt phía sau ULPA, phần bụi này sẽ trực tiếp đi vào phía sạch và cần đánh giá xem có cần lắp bộ phận bảo vệ phía sau hay không.

Chu kỳ bảo trì không đồng bộ. Bộ lọc hóa học được thay thế dựa trên khả năng hấp phụ và độ xuyên thấu, còn bộ lọc hạt dựa trên chênh lệch áp suất và phát hiện rò rỉ. Nhịp điệu duy trì của cả hai là khác nhau. Sổ cái phải được ghi riêng và không thể xử lý theo một chu trình thống nhất.

Tải thượng nguồn và điều kiện nhiệt độ và độ ẩm. Hiệu quả của lọc hóa học bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ và độ ẩm. Khi điều kiện khí vào vượt quá phạm vi áp dụng, hiệu quả xử lý có thể giảm. Những điều kiện này phải được nêu cùng nhau khi lựa chọn.

Thông tin mua sắm phải được viết riêng

Khía cạnh khó giải quyết nhất của dự án AMC là hai yêu cầu này được trộn lẫn với nhau trong tài liệu kỹ thuật.

Một cách tiếp cận hợp lý là tách chúng thành các loại: yêu cầu kiểm soát hạt bao gồm mức ULPA, tiêu chuẩn thử nghiệm và thể tích không khí; Các yêu cầu kiểm soát AMC bao gồm các loại chất gây ô nhiễm mục tiêu, nồng độ khí nạp, nồng độ thâm nhập cho phép, điều kiện nhiệt độ và độ ẩm cũng như phương pháp xác định.

Hai bộ yêu cầu này tương ứng với các sản phẩm khác nhau, các thử nghiệm khác nhau và các phương pháp chấp nhận khác nhau. Trộn lẫn với nhau, nhà cung cấp khó có thể báo giá chính xác, khó nhận biết chỉ tiêu nào không đạt tiêu chuẩn trong quá trình nghiệm thu.

liên quan đến Việc lựa chọn bộ lọc không khí HEPA/ULPA phải được đánh giá trong cột kiểm soát hạt; kế hoạch xử lý các chất ô nhiễm dạng khí cần được thảo luận riêng.

Ví dụ về đánh giá dự án

Một khu vực quang khắc nhất định liên quan đến cả hạt và khí axit.

Ý tưởng cấu hình hợp lý là: sử dụng ULPA ở cuối để kiểm soát các hạt và thiết lập bộ phận lọc hóa học ở vị trí thích hợp để xử lý khí axit. Các thông số kỹ thuật, điện trở và chu kỳ bảo trì của hai phần được xác nhận riêng biệt và tổng điện trở của hệ thống và điểm vận hành của quạt được kiểm tra thống nhất.

Nếu chỉ lắp ULPA thì chỉ số hạt có thể đạt tiêu chuẩn nhưng vẫn tồn tại vấn đề về khí axit; nếu chỉ lắp đặt bộ lọc hóa học thì không thể đảm bảo việc kiểm soát hạt. Cả hai đều có mối quan hệ hợp tác và cái này không thể tồn tại nếu không có cái kia. Các ứng dụng phía thiết bị như Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU có không gian bên trong nhỏ gọn. Cách bố trí lọc hai giai đoạn và cách duy trì các kênh bảo trì cần được xem xét trong giai đoạn thiết kế kết cấu thiết bị.

Danh sách kiểm tra lựa chọn và chấp nhận

Giới thiệu về hỗ trợ cấu hình kết hợp của Aili Industrial

Khó khăn trong việc cấu hình các dự án của AMC thường không nằm ở một sản phẩm đơn lẻ mà ở cách phối hợp phần lọc hạt và phần lọc hóa học, cách cân bằng điện trở và cách bố trí bảo trì.

Hệ thống sản xuất của Aili Industrial bao gồm các bộ lọc, động cơ, quạt, hệ thống điều khiển và lắp ráp máy hoàn chỉnh và có thể cung cấp Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án liên quan đến cả kiểm soát ô nhiễm dạng hạt và khí, vị trí, điện trở và giao diện của từng phần xử lý có thể được kiểm tra cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch, thay vì mua riêng rồi điều phối tại chỗ.

Danh sách các mục tiêu kiểm soát hạt và mục tiêu AMC được cung cấp trong quá trình điều tra để giúp xác nhận sự kết hợp cấu hình phù hợp. Kế hoạch cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.