Bộ lọc ULPA chủ yếu được sử dụng cho những tình huống làm sạch nào?

ULPA được sử dụng ở đâu? Nếu chỉ nhìn vào tên ngành, rất dễ trả lời sai câu hỏi này.

Đó không phải là 'tất cả các chất bán dẫn đều sử dụng ULPA', cũng không phải là 'dược phẩm phải siêu hiệu quả'. Việc sử dụng ULPA ở đâu tùy thuộc vào mức độ nghiêm ngặt của các yêu cầu kiểm soát hạt tại địa điểm đó và phương pháp xác minh là gì. Trong cùng một nhà máy, một số khu vực sử dụng ULPA, một số khu vực sử dụng HEPA và một số vị trí thậm chí không cần lọc hiệu quả cao. Điều này không phải do cấu hình không đồng nhất mà do nó được phân bổ theo yêu cầu.

Sơ đồ toàn bộ phòng và sơ đồ một phần là hai ý tưởng

Các kịch bản ứng dụng của ULPA có thể được chia đại khái thành hai loại.

Giải pháp toàn phòng : Toàn bộ phòng sạch hoặc khu vực rộng lớn sử dụng ULPA làm thiết bị lọc đầu cuối. Loại giải pháp này liên quan đến một loạt các vấn đề về thiết kế hệ thống như phạm vi bao phủ của bộ lọc, tổ chức không khí quay trở lại và tác động của các hoạt động nhân sự. Khi lựa chọn, bạn không nên chỉ nhìn vào tên hạng phòng mà còn phải xem xét luồng gió có đồng đều hay không, có góc chết nào không và đường dẫn gió hồi có hợp lý hay không.

Giải pháp cục bộ : ULPA chỉ được sử dụng bên trong các máy trạm hoặc thiết bị chính và các khu vực xung quanh được xử lý bằng các cấp độ lọc hoặc hệ thống khác. Trọng tâm của loại giải pháp này là xác định phạm vi bảo vệ—khu vực nào phải đáp ứng các tiêu chuẩn, ranh giới ở đâu và liệu việc di chuyển thiết bị có phá hủy vùng phủ sóng của luồng không khí hay không. Các ứng dụng phía thiết bị như Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU thuộc loại này và phần tử bộ lọc phải được xem xét cùng với cấu trúc thiết bị.

Hai loại giải pháp không thể áp dụng cùng một bộ logic lựa chọn. Các giải pháp toàn phòng tập trung nhiều hơn vào sự cân bằng hệ thống, trong khi các giải pháp cục bộ tập trung nhiều hơn vào các giao diện và các hạn chế về cấu trúc.

Phát sinh bụi bên trong thiết bị là vấn đề khó tránh khỏi

Bên trong các thiết bị bán dẫn và thiết bị sản xuất chính xác thường không “sạch”.

Các hạt có thể được tạo ra do chuyển động của robot, ma sát của cơ cấu truyền động, độ mòn của cáp và các hoạt động bảo trì. Nếu những hạt này được tạo ra gần các khu vực nhạy cảm, nồng độ cục bộ có thể bị ảnh hưởng ngay cả khi bản thân không khí đi vào đủ tiêu chuẩn.

Nguồn cung cấp không khí ULPA có thể hợp tác với tổ chức luồng không khí để loại bỏ các hạt này, nhưng nó không thể thay thế việc kiểm soát nguồn ô nhiễm . Nếu điểm phát sinh bụi nằm ngay phía trên tấm bán dẫn, việc cải thiện mức độ lọc hoặc tăng thể tích không khí sẽ có tác dụng hạn chế. Trong các dự án thực tế, trước tiên, việc xác định vị trí phát sinh bụi và điều chỉnh hướng luồng không khí thường hiệu quả hơn là thay thế bằng bộ phận lọc cao cấp hơn. liên quan đến Khi sử dụng cùng nhau bộ lọc quạt FFU , hướng cấp khí của thiết bị và cấu trúc bên trong của thiết bị cũng cần được xem xét.

Một số vị trí không phù hợp để sử dụng trực tiếp ULPA

ULPA không phải là giải pháp phổ quát và có một số vị trí bạn cần đặc biệt thận trọng.

Tình huống có nhiều bụi và sương mù dầu rõ ràng. Loại luồng không khí này chứa một số lượng lớn các hạt hoặc chất nhớt. Việc đưa trực tiếp vào ULPA sẽ nhanh chóng chặn vật liệu lọc, khiến điện trở tăng nhanh và cần phải thay thế thường xuyên. Ở vị trí này, kế hoạch tiền xử lý cần được đánh giá trước tiên để tiêu hóa phần lớn tải ở giai đoạn trước để ULPA đầu cuối có thể hoạt động bình thường.

Những dịp có ô nhiễm khí rõ ràng. ULPA xử lý các hạt. Mùi, dung môi dễ bay hơi và khí axit đòi hỏi phải lọc bằng hóa chất hoặc các phương pháp xử lý khác. Khi cấu hình phần lọc hóa học, cần chú ý đến sự chồng chất thứ tự và điện trở với phần lọc hạt.

Xử lý khí thải và thiết bị an toàn. Loại hệ thống này có các chức năng chuyên biệt và yêu cầu chứng nhận, đồng thời không thể áp dụng đơn giản các ý tưởng cấu hình để cung cấp không khí sạch. Việc nó có thể được sử dụng ở một địa điểm nhất định hay không và như thế nào tùy thuộc vào các thông số kỹ thuật và đánh giá rủi ro mà dự án áp dụng.

Ví dụ về đánh giá dự án

Trong cùng một tòa nhà nhà máy, mục tiêu kiểm soát của trạm xử lý wafer và lối đi của nhân viên là hoàn toàn khác nhau.

Có các chuyển động cơ học và tiếp xúc với sản phẩm gần trạm xử lý và các yêu cầu cao về kiểm soát hạt nên chúng có thể là mục tiêu bảo vệ chính của ULPA. Kiểm soát chính của lối đi nhân sự là sự sạch sẽ của môi trường tổng thể. HEPA kết hợp với số lượng thay đổi không khí hợp lý thường là đủ. Nếu sử dụng cùng một cấu hình cho hai vị trí thì khả năng bảo vệ máy trạm không đủ hoặc kênh bị quá tải.

Cách tiếp cận đúng là liệt kê các mục tiêu kiểm soát trong từng khu vực riêng biệt và sau đó ánh xạ chúng vào kế hoạch lọc. liên quan đến Đối với các sản phẩm lọc không khí HEPA/ULPA thuộc các cấp độ khác nhau, các yêu cầu thử nghiệm và phương pháp xác minh cũng cần được nêu rõ trong tài liệu dự án.

Danh sách kiểm tra lựa chọn và chấp nhận

Giới thiệu về các gói ứng dụng của Aili Industrial

Các kịch bản ứng dụng của ULPA tương đối rải rác. Một số là hệ thống cho cả phòng và một số là hệ thống cung cấp không khí cục bộ ở cuối thiết bị. Các điều kiện giao diện và ràng buộc về cấu trúc rất khác nhau.

Hệ thống sản xuất của Aili Industrial bao gồm các bộ lọc, động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh, đồng thời có thể cung cấp các sản phẩm có cấu trúc khác nhau. Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án phía thiết bị, bộ lọc có thể được sử dụng với bộ lọc quạt phía thiết bị EFU ; đối với các dự án phòng sạch, nó có thể Kiểm tra không gian lắp đặt, lượng không khí và phương pháp điều khiển cùng với Bộ lọc quạt FFU được khớp để xác nhận cấu hình đầu cuối.

Khi yêu cầu, hãy cung cấp các đối tượng bảo vệ, ranh giới khu vực, lượng không khí mục tiêu và điều kiện ô nhiễm ở thượng nguồn, những điều này sẽ giúp xác định vị trí nào phù hợp với ULPA và cấu trúc nào sẽ áp dụng. Cấu hình cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và điều kiện chấp nhận được dự án xác nhận.