Для каких сценариев очистки в основном используются фильтры ULPA?

Где используется ULPA? Если вы посмотрите только на название отрасли, на этот вопрос легко ответить неправильно.

Это не «все полупроводники используют ULPA» и не «фармацевтика должна быть сверхэффективной». Где используется ULPA, зависит от того, насколько строги требования к контролю за частицами в этом месте и каков метод проверки. На одном и том же заводе на некоторых участках используется ULPA, на некоторых HEPA, а в некоторых местах даже не требуется высокоэффективная фильтрация. Это происходит не потому, что конфигурация неоднородна, а потому, что она выделяется по требованию.

План всей комнаты и частичный план — две идеи.

Сценарии применения ULPA можно условно разделить на две категории.

Решение для всего помещения : во всем чистом помещении или на большой площади в качестве терминальной фильтрации используется ULPA. Этот тип решения включает в себя ряд проблем проектирования системы, таких как покрытие фильтров, организация возвратного и возвратного воздуха, а также влияние деятельности персонала. При выборе следует не просто смотреть на название класса помещения, но и учитывать, является ли поток воздуха равномерным, нет ли мертвых углов и разумен ли путь обратного воздуха.

Локальное решение : ULPA используется только внутри ключевых рабочих станций или оборудования, а прилегающие помещения обрабатываются фильтрами или системами других уровней. Целью этого типа решения является определение объема защиты: какая область должна соответствовать стандартам, где находятся границы и не нарушит ли движение оборудования покрытие воздушного потока. Приложения на стороне устройства, такие как Блок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU попадает в эту категорию, и фильтрующий элемент следует рассматривать вместе с конструкцией оборудования.

Два типа решений не могут применять один и тот же набор логики выбора. Решения для всего помещения больше ориентированы на баланс системы, тогда как локальные решения больше ориентированы на интерфейсы и структурные ограничения.

Образование пыли внутри оборудования является неизбежной проблемой.

Внутренняя часть полупроводникового оборудования и прецизионного производственного оборудования часто не является «чистой».

Частицы могут образовываться в результате движения робота, трения трансмиссионного механизма, износа кабеля и операций по техническому обслуживанию. Если эти частицы образуются вблизи чувствительных зон, это может повлиять на местные концентрации, даже если сам входящий воздух является квалифицированным.

Подача воздуха ULPA может сотрудничать с организацией воздушного потока для удаления этих частиц, но она не может заменить контроль над источниками загрязнения . Если точка образования пыли находится чуть выше пластины, повышение уровня фильтрации или увеличение объема воздуха будет иметь ограниченный эффект. В реальных проектах зачастую более эффективно сначала определить место образования пыли и отрегулировать направление воздушного потока, чем заменять его более качественным фильтрующим элементом. с участием При совместном использовании вентиляторного фильтрующего блока FFU также необходимо учитывать направление подачи воздуха блока и внутреннюю структуру оборудования.

Некоторые места не подходят для прямого использования ULPA.

ULPA не является универсальным решением, и есть несколько мест, где вам следует быть особенно осторожными.

Ситуации с высокой запыленностью и явным масляным туманом. Этот тип воздушного потока содержит большое количество частиц или вязких веществ. Непосредственное попадание в ULPA быстро заблокирует фильтрующий материал, приведет к быстрому повышению сопротивления и потребует частой замены. В этом положении сначала необходимо оценить план предварительной обработки, чтобы переварить большую часть нагрузки на передней ступени, чтобы терминал ULPA мог работать нормально.

Случаи с явным газовым загрязнением. ULPA имеет дело с частицами. Запахи, летучие растворители и кислые газы требуют химической фильтрации или других методов очистки. При настройке секции химической фильтрации следует обратить внимание на порядок и наложение сопротивления с секцией фильтрации частиц.

Технологическое вытяжное и защитное оборудование. Этот тип системы имеет специализированные функции и требования к сертификации, и идеи конфигурации для подачи чистого воздуха невозможно просто применить. Возможность и способ его использования в определенном месте зависит от спецификаций и оценки рисков, принятых в проекте.

Пример оценки проекта

В одном и том же заводском здании задачи контроля станции обработки пластин и прохода персонала совершенно разные.

Рядом со станцией обработки происходят механические движения и подвергается воздействию продукта, а требования к контролю частиц высоки, поэтому они могут быть ключевыми объектами защиты ULPA. Основным контролем прохода персонала является общая чистота окружающей среды. HEPA в сочетании с разумным количеством воздухообменов обычно бывает достаточно. Если одна и та же конфигурация используется для двух позиций, либо защита рабочей станции недостаточна, либо канал перегружен.

Правильный подход — перечислить цели контроля в каждой области отдельно, а затем сопоставить их с планом фильтрации. с участием Для воздушных фильтров HEPA/ULPA различных классов требования к испытаниям и методы проверки также должны быть четко указаны в проектной документации.

Контрольный список выбора и приемки

О пакетах приложений Aili Industrial

Сценарии применения ULPA относительно разбросаны. Некоторые из них представляют собой системы для всего помещения, а некоторые — с локальной подачей воздуха на стороне оборудования. Условия взаимодействия и структурные ограничения сильно различаются.

Производственная система Aili Industrial охватывает фильтры, двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл и полную сборку машин, а также может поставлять продукцию различной конструкции. Фильтр сверхвысокой эффективности ULPA и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов на стороне устройства фильтры можно использовать с блоком вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU ; для проектов чистых помещений это может быть Проверьте место для установки, объем воздуха и метод управления вместе с Блок фильтра вентилятора FFU подбирается для подтверждения конфигурации терминала.

При запросе укажите объекты защиты, границы территорий, целевой объем воздуха и условия загрязнения вверх по течению, что поможет определить, какое место подходит для ULPA и какую структуру принять. Конкретная комплектация определяется технической документацией и условиями приемки, утвержденными проектом.