ULPAフィルターは主にどのような洗浄シナリオに使用されますか?

ULPAはどこで使われていますか?業界名だけを見ると、この質問に誤って答える可能性があります。

それは「すべての半導体がULPAを使用している」わけでも、「医薬品は超効率的でなければならない」わけでもありません。 ULPA がどこで使用されるかは、その場所での粒子制御要件がどれほど厳格であるか、および検証方法が何であるかによって異なります。 同じ工場内でも、ULPAを使用する場所もあれば、HEPAを使用する場所もあり、高効率ろ過を必要としない場所もあります。これは、構成が均一ではないためではなく、オンデマンドで割り当てられるためです。

全体プランと部分プランの2つのアイデア

ULPAの適用シナリオは大きく2つに分けられます。

部屋全体のソリューション: クリーンルーム全体または広いエリアで最終濾過として ULPA を使用します。このタイプのソリューションには、フィルター適用範囲、還気と還気の構成、人員活動の影響など、一連のシステム設計の問題が含まれます。選ぶ際には、部屋のグレード名だけでなく、空気の流れが均一か、デッドコーナーはないか、戻り空気の通り道が妥当かなども考慮する必要があります。

ローカル ソリューション: ULPA は主要なワークステーションまたは機器の内部でのみ使用され、周囲の領域は他のレベルのフィルターまたはシステムによって処理されます。このタイプのソリューションの焦点は、保護範囲を定義することです。つまり、どの領域が基準を満たす必要があるか、境界はどこにあるのか、機器の移動によって気流のカバー範囲が破壊されるかどうかです。デバイス側アプリケーションなど EFU装置側ファンフィルタユニットが これに該当し、フィルタエレメントも装置構造と合わせて検討する必要があります。

2 つのタイプのソリューションは、同じ選択ロジックのセットを適用できません。部屋全体のソリューションはシステム バランスに重点を置き、ローカル ソリューションはインターフェイスと構造上の制約に重点を置きます。

装置内部の発塵は避けられない問題です

半導体装置や精密製造装置の内部は「きれい」ではないことがよくあります。

粒子は、ロボットの動作、伝達機構の摩擦、ケーブルの摩耗、メンテナンス作業によって発生する可能性があります。これらの粒子が敏感な領域の近くで生成された場合、流入する空気自体が適切であっても、局所的な濃度が影響を受ける可能性があります。

ULPA 空気供給は空気流組織と協力してこれらの粒子を除去できますが、汚染源制御に代わるものではありません。発塵点がウエハ直上にある場合、濾過レベルを向上させたり風量を増やしたりしても効果は限定的です。実際のプロジェクトでは、よりグレードの高いフィルターエレメントに交換するよりも、まず発塵箇所を特定し、空気の流れの方向を調整する方が効果的であることがよくあります。関与する FFUファンフィルタユニット を併用する場合は、ユニットの給気方向や機器の内部構造も考慮する必要があります。

一部の場所は ULPA の直接使用に適していません

ULPA は万能のソリューションではなく、特に注意が必要な場所がいくつかあります。

粉塵が多く、オイルミストが目立つ状況。 このタイプの気流には、多数の粒子または粘性物質が含まれています。 ULPA に直接入るとフィルター材がすぐに詰まり、抵抗が急速に上昇するため、頻繁な交換が必要になります。この位置では、端末 ULPA が正常に動作できるように、前段の負荷の大部分を消化するために、まず前処理計画を評価する必要があります。

明らかなガス汚染が見られる場合。 ULPAは粒子を扱います。臭気、溶剤揮発性物質、および酸性ガスには、化学濾過またはその他の処理方法が必要です。化学濾過部を構成する場合は、粒子濾過部との順序や抵抗の重なりに注意してください。

プロセス排気および安全装置。 この種のシステムは特殊な機能や認証要件があり、クリーンエア供給のための構成アイデアをそのまま適用することはできません。特定の場所で使用できるかどうか、またどのように使用できるかは、プロジェクトで採用された仕様とリスク評価によって異なります。

プロジェクトの判断例

同じ工場の建物内でも、ウェーハハンドリングステーションと人員の通路では制御の目的が全く異なります。

ハンドリングステーションの近くには機械的な動きがあり、製品が露出しており、粒子制御の要件が比較的高いため、これらは ULPA の主要な保護対象となる可能性があります。人の通路の主な制御は、全体的な環境の清潔さです。通常は、HEPA と適切な回数の空気交換を組み合わせるだけで十分です。同じ構成が 2 つの位置で使用されている場合は、ワークステーションの保護が不十分であるか、チャネルがオーバーコミットされています。

正しいアプローチは、各領域の制御ターゲットを個別にリストし、それらをフィルタリング プランにマッピングすることです。関与する 異なるグレードのHEPA/ULPA エアフィルター 製品については、テスト要件と検証方法もプロジェクト文書に明確に記載する必要があります。

選択と承認のチェックリスト

Aili Industrialのアプリケーションパッケージについて

ULPA の適用シナリオは比較的分散しています。部屋全体のシステムもあれば、機器側で局所的に空気を供給するシステムもあります。界面の条件と構造上の制約は大きく異なります。

Aili Industrial の製造システムは、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリをカバーしており、さまざまな構造の製品を提供できます。 ULPA超高性能フィルター と対応エア供給装置。デバイス側プロジェクトの場合、フィルターは次のように使用できます。 EFU装置側ファンフィルターユニット と合わせて設置スペース、風量、制御方法をご確認ください。クリーンルームプロジェクトの場合は、 FFUファンフィルタユニット を合わせて端子構成を確認します。

問い合わせの際は、保護対象物、エリア境界、対象空気量、上流の汚染状況を提供してください。これは、どの場所が ULPA に適しているか、どのような構造を採用するかを決定するのに役立ちます。具体的な構成は、プロジェクトによって確認された技術文書および受諾条件に従います。