ULPA 필터는 주로 어떤 청소 시나리오에 사용됩니까?

ULPA는 어디에 사용되나요? 업종명만 보면 이 질문에 엉뚱한 대답을 하기 쉽다.

'모든 반도체가 ULPA를 사용한다'는 것도 아니고, '의약품이 초효율적이어야 한다'는 것도 아닙니다. ULPA가 사용되는 위치는 해당 위치의 입자 제어 요구 사항이 얼마나 엄격한지와 검증 방법이 무엇인지에 따라 다릅니다. 같은 공장에서는 ULPA를 사용하는 곳도 있고, HEPA를 사용하는 곳도 있고, 고효율 여과조차 필요 없는 곳도 있습니다. 이는 구성이 균일하지 않아서가 아니라 요청 시 할당되기 때문입니다.

전체 객실 계획과 부분 계획은 두 가지 아이디어입니다.

ULPA의 적용 시나리오는 크게 두 가지 범주로 나눌 수 있습니다.

전체실 솔루션 : 전체 클린룸 또는 넓은 공간은 ULPA를 터미널 여과로 사용합니다. 이러한 유형의 솔루션에는 필터 범위, 환기 및 환기 구성, 직원 활동의 영향과 같은 일련의 시스템 설계 문제가 포함됩니다. 선택할 때 객실 등급명만 보는 것이 아니라 공기 흐름이 균일한지, 사각지대가 있는지, 환기 경로가 합리적인지 등을 고려해야 합니다.

로컬 솔루션 : ULPA는 주요 워크스테이션이나 장비 내부에만 사용되며 주변 영역은 다른 수준의 필터 또는 시스템으로 처리됩니다. 이러한 유형의 솔루션의 초점은 보호 범위(표준을 충족해야 하는 영역, 경계의 위치, 장비 이동으로 인해 공기 흐름 범위가 파괴되는지 여부)를 정의하는 것입니다. 다음과 같은 장치측 애플리케이션 EFU 장비측 팬 필터 유닛이 이에 속하며 장비 구조와 함께 필터 요소를 고려해야 합니다.

두 가지 유형의 솔루션은 동일한 선택 논리 세트를 적용할 수 없습니다. 전체 공간 솔루션은 시스템 균형에 더 중점을 두는 반면, 로컬 솔루션은 인터페이스와 구조적 제약에 더 중점을 둡니다.

장비 내부의 먼지 발생은 피할 수 없는 문제입니다.

반도체 장비나 정밀 제조 장비 내부는 '깨끗'하지 않은 경우가 많습니다.

로봇 움직임, 전송 메커니즘 마찰, 케이블 마모 및 유지 관리 작업으로 인해 입자가 생성될 수 있습니다. 이러한 입자가 민감한 지역 근처에서 생성되면 들어오는 공기 자체가 적합하더라도 국지적 농도에 영향을 미칠 수 있습니다.

ULPA 공기 공급 장치는 공기 흐름 조직과 협력하여 이러한 입자를 제거할 수 있지만 오염원 제어를 대체할 수는 없습니다 . 먼지 발생 지점이 웨이퍼 바로 위에 있으면 여과 수준을 높이거나 공기량을 늘려도 효과가 제한됩니다. 실제 프로젝트에서는 고급 필터 엘리먼트로 교체하는 것보다 먼저 먼지 발생 위치를 찾아 공기 흐름 방향을 조정하는 것이 더 효과적인 경우가 많습니다. 관련된 FFU 팬 필터 유닛을 함께 사용하는 경우, 유닛의 공기 공급 방향과 장비의 내부 구조도 고려해야 합니다.

일부 위치는 ULPA를 직접 사용하기에 적합하지 않습니다.

ULPA는 보편적인 솔루션이 아니며 특히 주의해야 할 위치가 몇 군데 있습니다.

먼지가 많고 오일 미스트가 눈에 띄는 상황. 이러한 유형의 공기 흐름에는 많은 수의 입자 또는 점성 물질이 포함되어 있습니다. ULPA에 직접 들어가면 필터 재료가 빠르게 차단되어 저항이 빠르게 상승하고 자주 교체해야 합니다. 이 위치에서는 단말 ULPA가 정상적으로 작동할 수 있도록 전단에서 대부분의 부하를 소화할 수 있도록 전처리 계획을 먼저 평가해야 합니다.

명백한 가스 오염이 있는 경우. ULPA는 입자를 다룹니다. 냄새, 용매 휘발성 물질 및 산성 가스는 화학적 여과 또는 기타 처리 방법이 필요합니다. 화학 여과 구간을 구성할 때 입자 여과 구간과의 차수 및 저항 중첩에 주의해야 합니다.

공정 배기 및 안전 장비. 이러한 유형의 시스템은 특화된 기능과 인증 요구 사항을 가지고 있으며, 깨끗한 공기 공급을 위한 구성 아이디어를 단순히 적용할 수는 없습니다. 특정 위치에서 사용할 수 있는지 여부와 방법은 프로젝트에서 채택한 사양 및 위험 평가에 따라 다릅니다.

프로젝트 판단 예시

동일한 공장 건물에서 웨이퍼 핸들링 스테이션과 직원 통로의 제어 목표는 완전히 다릅니다.

처리 스테이션 근처에는 기계적 움직임과 제품 노출이 있으며 입자 제어에 대한 요구 사항이 상대적으로 높기 때문에 ULPA의 주요 보호 대상이 될 수 있습니다. 인사 통로의 주요 통제는 전반적인 환경 청결입니다. 일반적으로 적절한 횟수의 공기 교환과 HEPA로 충분합니다. 두 위치에 동일한 구성이 사용되는 경우 워크스테이션 보호가 충분하지 않거나 채널이 과도하게 커밋됩니다.

올바른 접근 방식은 각 영역의 제어 대상을 별도로 나열한 다음 이를 필터링 계획에 매핑하는 것입니다. 관련된 다양한 등급의 HEPA/ULPA 공기 필터 제품의 경우 테스트 요구 사항 및 검증 방법도 프로젝트 문서에 명확하게 명시되어야 합니다.

선택 및 승인 체크리스트

Aili Industrial의 애플리케이션 패키지 정보

ULPA의 적용 시나리오는 상대적으로 분산되어 있습니다. 일부는 전체 공간 시스템이고 일부는 장비 끝 부분에 로컬 공기 공급 장치입니다. 인터페이스 조건과 구조적 제약은 매우 다릅니다.

Aili Industrial의 제조 시스템은 필터, 모터, 팬, 제어 시스템, 판금 및 전체 기계 조립을 포괄하며 다양한 구조의 제품을 제공할 수 있습니다. ULPA 초고효율 필터 및 보조 공기 공급 장치입니다. 장치 측 프로젝트의 경우 필터를 다음과 함께 사용할 수 있습니다. EFU 장비측 팬 필터 유닛 과 함께 설치 공간, 풍량, 제어 방법을 확인하십시오 . 청정실 프로젝트를 위해, 그것은 일 수 있습니다 FFU 팬 필터 장치가 일치하여 터미널 구성을 확인합니다.

문의 시 보호 대상, 영역 경계, 목표 공기량 및 상류 오염 조건을 제공하면 ULPA에 적합한 위치와 채택할 구조를 결정하는 데 도움이 됩니다. 특정 구성에는 프로젝트에서 확인한 기술 문서 및 승인 조건이 적용됩니다.