Pour quels scénarios de nettoyage les filtres ULPA sont-ils principalement utilisés ?

Où l’ULPA est-elle utilisée ? Si l’on regarde uniquement le nom de l’industrie, il est facile de mal répondre à cette question.

Il ne s'agit pas de 'tous les semi-conducteurs utilisent l'ULPA', ni de 'les produits pharmaceutiques doivent être super efficaces'. L’endroit où l’ULPA est utilisé dépend de la rigueur des exigences de contrôle des particules à cet endroit et de la méthode de vérification. Dans la même usine, certaines zones utilisent l'ULPA, d'autres utilisent le HEPA et certains endroits n'ont même pas besoin d'une filtration à haute efficacité. Ce n’est pas parce que la configuration n’est pas uniforme, mais parce qu’elle est allouée à la demande.

Le plan de la pièce entière et le plan partiel sont deux idées

Les scénarios d’application de l’ULPA peuvent être grossièrement divisés en deux catégories.

Solution pour salle entière : La salle blanche entière ou la grande surface utilise ULPA comme filtration terminale. Ce type de solution implique une série de problèmes de conception du système tels que la couverture des filtres, l'organisation de la reprise et de la reprise d'air et l'impact des activités du personnel. Lors de la sélection, vous ne devez pas seulement regarder le nom de la catégorie de la pièce, mais également vous demander si le flux d'air est uniforme, s'il y a des coins morts et si le chemin de retour d'air est raisonnable.

Solution locale : l'ULPA n'est utilisé qu'à l'intérieur des postes de travail ou des équipements clés, et les zones environnantes sont traitées par d'autres niveaux de filtres ou de systèmes. L'objectif de ce type de solution est de définir l'étendue de la protection : quelle zone doit répondre aux normes, où se trouvent les limites et si le mouvement de l'équipement détruira la couverture du flux d'air. Applications côté appareil telles que L'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU entre dans cette catégorie et l'élément filtrant doit être considéré avec la structure de l'équipement.

Les deux types de solutions ne peuvent pas appliquer le même ensemble de logiques de sélection. Les solutions globales se concentrent davantage sur l'équilibre du système, tandis que les solutions locales se concentrent davantage sur les interfaces et les contraintes structurelles.

La production de poussière à l’intérieur de l’équipement est un problème inévitable

L’intérieur des équipements semi-conducteurs et des équipements de fabrication de précision n’est souvent pas « propre ».

Des particules peuvent être générées en raison du mouvement du robot, du frottement du mécanisme de transmission, de l'usure des câbles et des opérations de maintenance. Si ces particules sont générées à proximité de zones sensibles, les concentrations locales peuvent être affectées même si l'air entrant lui-même est qualifié.

L'alimentation en air ULPA peut coopérer avec l'organisation du flux d'air pour éliminer ces particules, mais elle ne peut pas remplacer le contrôle des sources de pollution . Si le point de génération de poussière se situe juste au-dessus de la plaquette, l'amélioration du niveau de filtration ou l'augmentation du volume d'air auront un effet limité. Dans les projets réels, il est souvent plus efficace de localiser d’abord l’emplacement de génération de poussière et d’ajuster la direction du flux d’air plutôt que de remplacer un élément filtrant de qualité supérieure. impliquant Lorsque l'unité de filtre à ventilateur FFU est utilisée ensemble, la direction d'alimentation en air de l'unité et la structure interne de l'équipement doivent également être prises en compte.

Certains emplacements ne sont pas adaptés à une utilisation directe de l'ULPA

ULPA n’est pas une solution universelle et il existe quelques endroits où vous devez être particulièrement prudent.

Situations avec beaucoup de poussière et un brouillard d'huile évident. Ce type de flux d'air contient un grand nombre de particules ou de substances visqueuses. Entrer directement dans l'ULPA bloquera rapidement le matériau filtrant, entraînera une augmentation rapide de la résistance et nécessitera un remplacement fréquent. Dans cette position, le plan de prétraitement doit d'abord être évalué pour digérer l'essentiel de la charge dans la scène avant afin que le terminal ULPA puisse fonctionner normalement.

Occasions avec une pollution gazeuse évidente. L'ULPA s'occupe des particules. Les odeurs, les solvants volatils et les gaz acides nécessitent une filtration chimique ou d'autres méthodes de traitement. Lors de la configuration de la section de filtration chimique, il convient de prêter attention à l'ordre et à la superposition des résistances avec la section de filtration des particules.

Processus d’échappement et équipements de sécurité. Ce type de système a des fonctions spécialisées et des exigences de certification, et les idées de configuration pour l'alimentation en air propre ne peuvent pas être simplement appliquées. La question de savoir si et comment il peut être utilisé à un endroit donné dépend des spécifications et de l'évaluation des risques adoptées par le projet.

Exemple de jugement de projet

Dans un même bâtiment d'usine, les objectifs de contrôle du poste de manipulation des plaquettes et du passage du personnel sont complètement différents.

Il y a des mouvements mécaniques et des expositions aux produits à proximité du poste de manipulation, et les exigences en matière de contrôle des particules sont élevées, elles peuvent donc constituer les principales cibles de protection de l'ULPA. Le principal contrôle du passage du personnel est la propreté générale de l'environnement. L’HEPA combiné à un nombre raisonnable de changements d’air est généralement suffisant. Si la même configuration est utilisée pour deux positions, soit la protection du poste de travail est insuffisante, soit le canal est surchargé.

L'approche correcte consiste à répertorier séparément les cibles de contrôle dans chaque zone, puis à les mapper au plan de filtrage. impliquant Pour les produits de filtre à air HEPA/ULPA de différentes qualités, les exigences de test et les méthodes de vérification doivent également être clairement indiquées dans les documents du projet.

Liste de contrôle de sélection et d'acceptation

À propos des packages d'application d'Aili Industrial

Les scénarios d’application de l’ULPA sont relativement dispersés. Certains sont des systèmes pour une pièce entière, et d’autres sont des systèmes d’alimentation en air locale du côté de l’équipement. Les conditions d’interface et les contraintes structurelles sont très différentes.

Le système de fabrication d'Aili Industrial couvre les filtres, les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle, la tôle et l'assemblage complet de machines, et peut fournir des produits de différentes structures. Filtre ULPA à très haute efficacité et équipement d'alimentation en air de support. Pour les projets côté appareil, les filtres peuvent être utilisés avec l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU ; pour les projets de salle blanche, cela peut être Vérifiez l'espace d'installation, le volume d'air et la méthode de contrôle avec L'unité de filtre de ventilateur FFU est adaptée pour confirmer la configuration du terminal.

Lors de votre demande, indiquez les objets de protection, les limites de la zone, le volume d'air cible et les conditions de pollution en amont, ce qui aidera à déterminer quel emplacement convient à l'ULPA et quelle structure adopter. La configuration spécifique est soumise aux documents techniques et aux conditions de réception confirmés par le projet.