Für welche Reinigungsszenarien werden ULPA-Filter hauptsächlich eingesetzt?

Wo wird ULPA verwendet? Wenn man sich nur den Branchennamen anschaut, ist es leicht, diese Frage falsch zu beantworten.

Es heißt nicht „alle Halbleiter verwenden ULPA“ und auch nicht „Arzneimittel müssen supereffizient sein“. Wo ULPA eingesetzt wird, hängt davon ab, wie streng die Partikelkontrollanforderungen an diesem Standort sind und welche Überprüfungsmethode angewendet wird. In derselben Fabrik verwenden einige Bereiche ULPA, andere HEPA und einige Standorte benötigen nicht einmal eine hocheffiziente Filterung. Dies liegt nicht daran, dass die Konfiguration nicht einheitlich ist, sondern daran, dass sie bei Bedarf zugewiesen wird.

Der gesamte Raumplan und der Teilplan sind zwei Ideen

Die Anwendungsszenarien von ULPA lassen sich grob in zwei Kategorien einteilen.

Gesamtraumlösung : Der gesamte Reinraum oder große Bereich nutzt ULPA als Endfiltration. Diese Art von Lösung beinhaltet eine Reihe von Systemdesignproblemen wie Filterabdeckung, Rück- und Rückluftorganisation sowie die Auswirkungen von Personalaktivitäten. Bei der Auswahl sollten Sie nicht nur auf die Bezeichnung der Raumklasse achten, sondern auch darauf achten, ob der Luftstrom gleichmäßig ist, ob tote Ecken vorhanden sind und ob der Rückluftweg sinnvoll ist.

Lokale Lösung : ULPA wird nur innerhalb wichtiger Arbeitsstationen oder Geräte verwendet und die umliegenden Bereiche werden durch Filter oder Systeme auf anderen Ebenen behandelt. Der Schwerpunkt dieser Art von Lösung liegt auf der Definition des Schutzumfangs – welcher Bereich den Standards entsprechen muss, wo die Grenzen liegen und ob die Bewegung der Ausrüstung die Luftstromabdeckung zerstört. Geräteseitige Anwendungen wie z Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit EFU fällt in diese Kategorie und das Filterelement muss zusammen mit der Gerätestruktur berücksichtigt werden.

Die beiden Lösungstypen können nicht dieselbe Auswahllogik anwenden. Bei Lösungen für den gesamten Raum liegt der Schwerpunkt mehr auf der Systembalance, während bei lokalen Lösungen der Schwerpunkt eher auf Schnittstellen und strukturellen Einschränkungen liegt.

Die Staubentwicklung im Inneren der Anlage ist ein unvermeidbares Problem

Das Innere von Halbleitergeräten und Präzisionsfertigungsanlagen ist oft nicht „sauber“.

Durch Roboterbewegungen, Reibung des Übertragungsmechanismus, Kabelverschleiß und Wartungsarbeiten können Partikel entstehen. Wenn diese Partikel in der Nähe sensibler Bereiche erzeugt werden, können lokale Konzentrationen beeinträchtigt werden, selbst wenn die einströmende Luft selbst qualifiziert ist.

Die ULPA-Luftversorgung kann mit der Luftverkehrsorganisation zusammenarbeiten, um diese Partikel zu entfernen, sie kann jedoch die Kontrolle der Schadstoffquelle nicht ersetzen . Liegt der Staubentstehungspunkt knapp über dem Wafer, haben eine Verbesserung des Filtergrades oder eine Erhöhung des Luftvolumens nur begrenzte Wirkung. In konkreten Projekten ist es oft effektiver, zunächst den Ort der Staubentwicklung zu lokalisieren und die Richtung des Luftstroms anzupassen, als ihn durch ein höherwertiges Filterelement zu ersetzen. involvierend Wenn die FFU-Lüfterfiltereinheit zusammen verwendet wird, müssen auch die Luftzufuhrrichtung der Einheit und die interne Struktur der Ausrüstung berücksichtigt werden.

Einige Standorte sind für den direkten Einsatz von ULPA nicht geeignet

ULPA ist keine universelle Lösung und es gibt einige Stellen, an denen Sie besonders vorsichtig sein müssen.

Situationen mit hoher Staubentwicklung und offensichtlichem Ölnebel. Diese Art von Luftstrom enthält eine große Anzahl an Partikeln oder viskosen Substanzen. Der direkte Eintritt in den ULPA führt schnell zu einer Verstopfung des Filtermaterials, einem schnellen Anstieg des Widerstands und einem häufigen Austausch. In dieser Position muss zunächst der Vorbehandlungsplan evaluiert werden, um den größten Teil der Last in der vorderen Stufe zu verdauen, damit die Terminal-ULPA normal funktionieren kann.

Fälle mit offensichtlicher Gasverschmutzung. ULPA beschäftigt sich mit Partikeln. Gerüche, flüchtige Lösungsmittel und saure Gase erfordern eine chemische Filterung oder andere Behandlungsmethoden. Bei der Konfiguration des chemischen Filterabschnitts sollte auf die Ordnung und Widerstandsüberlagerung mit dem Partikelfiltrationsabschnitt geachtet werden.

Prozessabsaugung und Sicherheitsausrüstung. Diese Art von System verfügt über spezielle Funktionen und Zertifizierungsanforderungen, und die Konfigurationsideen für die Reinluftversorgung können nicht einfach angewendet werden. Ob und wie es an einem bestimmten Standort eingesetzt werden kann, hängt von den Vorgaben und der Risikobewertung des Projekts ab.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Im selben Fabrikgebäude sind die Kontrollziele der Wafer-Handhabungsstation und des Personaldurchgangs völlig unterschiedlich.

In der Nähe der Handhabungsstation gibt es mechanische Bewegungen und Produktexposition, und die Anforderungen an die Partikelkontrolle sind relativ hoch, sodass sie möglicherweise die wichtigsten Schutzziele von ULPA sind. Die Hauptkontrolle des Personaldurchgangs ist die allgemeine Umweltsauberkeit. HEPA in Kombination mit einer angemessenen Anzahl von Luftwechseln reicht normalerweise aus. Wenn für zwei Positionen dieselbe Konfiguration verwendet wird, ist entweder der Workstation-Schutz unzureichend oder der Kanal ist überbelegt.

Der richtige Ansatz besteht darin, die Kontrollziele in jedem Bereich separat aufzulisten und sie dann dem Filterplan zuzuordnen. involvierend Für HEPA/ULPA-Luftfilterprodukte unterschiedlicher Qualität sollten die Prüfanforderungen und Verifizierungsmethoden ebenfalls klar in den Projektunterlagen angegeben werden.

Checkliste für Auswahl und Annahme

Über die Anwendungspakete von Aili Industrial

Die Anwendungsszenarien von ULPA sind relativ verstreut. Bei einigen handelt es sich um Ganzraumsysteme, bei anderen um lokale Luftversorgung am Geräteende. Die Schnittstellenbedingungen und strukturellen Randbedingungen sind sehr unterschiedlich.

Das Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme, Bleche und komplette Maschinenbaugruppen und kann Produkte unterschiedlicher Struktur liefern. Ultrahocheffizienter ULPA-Filter und unterstützende Luftversorgungsausrüstung. Für geräteseitige Projekte können Filter mit verwendet werden der geräteseitigen EFU-Lüfterfiltereinheit . Bei Reinraumprojekten kann dies der Fall sein Überprüfen Sie den Installationsraum, die Luftmenge und die Steuerungsmethode zusammen mit Die FFU-Lüfterfiltereinheit wird angepasst, um die Terminalkonfiguration zu bestätigen.

Geben Sie bei der Anfrage Schutzobjekte, Gebietsgrenzen, Zielluftvolumen und Verschmutzungsbedingungen vorgelagert an, um festzustellen, welcher Standort für ULPA geeignet ist und welche Struktur übernommen werden soll. Die konkrete Konfiguration unterliegt den vom Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Abnahmebedingungen.