¿Para qué escenarios de limpieza se utilizan principalmente los filtros ULPA?

¿Dónde se utiliza ULPA? Si sólo nos fijamos en el nombre de la industria, es fácil responder incorrectamente a esta pregunta.

No se trata de 'todos los semiconductores utilizan ULPA', ni tampoco 'los productos farmacéuticos deben ser súper eficientes'. El lugar donde se utiliza ULPA depende de qué tan estrictos sean los requisitos de control de partículas en ese lugar y cuál sea el método de verificación. En la misma fábrica, algunas áreas usan ULPA, otras usan HEPA y algunas ubicaciones ni siquiera necesitan filtración de alta eficiencia. Esto no se debe a que la configuración no sea uniforme, sino a que se asigna según demanda.

El plano completo de la habitación y el plano parcial son dos ideas.

Los escenarios de aplicación de ULPA se pueden dividir a grandes rasgos en dos categorías.

Solución para toda la sala : toda la sala limpia o un área grande utiliza ULPA como filtración terminal. Este tipo de solución implica una serie de cuestiones de diseño del sistema, como la cobertura del filtro, la organización del aire de retorno y de retorno y el impacto de las actividades del personal. Al seleccionar, no solo debe mirar el nombre del grado de la habitación, sino también considerar si el flujo de aire es uniforme, si hay rincones muertos y si la ruta del aire de retorno es razonable.

Solución local : ULPA solo se utiliza dentro de estaciones de trabajo o equipos clave, y las áreas circundantes son tratadas por otros niveles de filtros o sistemas. El objetivo de este tipo de solución es definir el alcance de la protección: qué área debe cumplir con los estándares, dónde están los límites y si el movimiento del equipo destruirá la cobertura del flujo de aire. Aplicaciones del lado del dispositivo como La unidad de filtrado del ventilador del lado del equipo EFU entra en esta categoría y el elemento filtrante debe considerarse junto con la estructura del equipo.

Los dos tipos de soluciones no pueden aplicar el mismo conjunto de lógica de selección. Las soluciones para toda la sala se centran más en el equilibrio del sistema, mientras que las soluciones locales se centran más en las interfaces y las limitaciones estructurales.

La producción de polvo dentro del equipo es un problema inevitable

El interior de los equipos semiconductores y de los equipos de fabricación de precisión a menudo no está 'limpio'.

Se pueden generar partículas debido al movimiento del robot, la fricción del mecanismo de transmisión, el desgaste del cable y las operaciones de mantenimiento. Si estas partículas se generan cerca de áreas sensibles, las concentraciones locales pueden verse afectadas incluso si el aire entrante está calificado.

El suministro de aire de ULPA puede cooperar con la organización de flujo de aire para eliminar estas partículas, pero no puede reemplazar el control de las fuentes de contaminación . Si el punto de generación de polvo está justo encima de la oblea, mejorar el nivel de filtración o aumentar el volumen de aire tendrá un efecto limitado. En proyectos reales, suele ser más eficaz localizar primero el lugar de generación de polvo y ajustar la dirección del flujo de aire que reemplazarlo con un elemento filtrante de mayor calidad. involucrando Cuando la unidad de filtro de ventilador FFU se utiliza en conjunto, también se debe considerar la dirección del suministro de aire de la unidad y la estructura interna del equipo.

Algunas ubicaciones no son aptas para el uso directo de ULPA

ULPA no es una solución universal y hay algunos lugares en los que se debe tener especial cuidado.

Situaciones con mucho polvo y neblina de aceite evidente. Este tipo de flujo de aire contiene una gran cantidad de partículas o sustancias viscosas. Ingresar directamente al ULPA bloqueará rápidamente el material del filtro, hará que la resistencia aumente rápidamente y requerirá un reemplazo frecuente. En esta posición, primero se debe evaluar el plan de pretratamiento para digerir la mayor parte de la carga en la etapa frontal para que la terminal ULPA pueda funcionar normalmente.

Ocasiones con evidente contaminación gaseosa. La ULPA se ocupa de partículas. Los olores, los disolventes volátiles y los gases ácidos requieren filtración química u otros métodos de tratamiento. Al configurar la sección de filtración química se debe prestar atención al orden y superposición de resistencias con la sección de filtración de partículas.

Equipos de escape y seguridad de proceso. Este tipo de sistema tiene funciones especializadas y requisitos de certificación, y las ideas de configuración para el suministro de aire limpio no se pueden aplicar simplemente. Si se puede utilizar en un lugar determinado y cómo hacerlo depende de las especificaciones y la evaluación de riesgos adoptadas por el proyecto.

Ejemplo de juicio de proyecto

En el mismo edificio de la fábrica, los objetivos de control de la estación de manipulación de obleas y del paso del personal son completamente diferentes.

Hay movimientos mecánicos y exposición de productos cerca de la estación de manipulación, y los requisitos para el control de partículas son altos, por lo que pueden ser los objetivos clave de protección de ULPA. El principal control del paso del personal es la limpieza ambiental general. HEPA combinado con una cantidad razonable de cambios de aire suele ser suficiente. Si se utiliza la misma configuración para dos posiciones, la protección de la estación de trabajo es insuficiente o el canal está demasiado comprometido.

El enfoque correcto es enumerar los objetivos de control en cada área por separado y luego asignarlos al plan de filtrado. involucrando Para productos de filtro de aire HEPA/ULPA de diferentes grados, los requisitos de prueba y los métodos de verificación también deben indicarse claramente en los documentos del proyecto.

Lista de verificación de selección y aceptación

Acerca de los paquetes de aplicaciones de Aili Industrial

Los escenarios de aplicación de ULPA están relativamente dispersos. Algunos son sistemas para toda la habitación y otros son sistemas de suministro de aire local al final del equipo. Las condiciones de la interfaz y las restricciones estructurales son muy diferentes.

El sistema de fabricación de Aili Industrial cubre filtros, motores, ventiladores, sistemas de control, chapa y ensamblaje completo de máquinas, y puede proporcionar productos de diferentes estructuras. Filtro ULPA de ultra alta eficiencia y equipo de suministro de aire de soporte. Para proyectos del lado del dispositivo, los filtros se pueden utilizar con la unidad de filtrado del ventilador del lado del equipo EFU ; para proyectos de sala limpia, puede ser Verifique el espacio de instalación, el volumen de aire y el método de control junto con La unidad de filtro del ventilador FFU coincide para confirmar la configuración del terminal.

Cuando realice una consulta, proporcione los objetos de protección, los límites del área, el volumen de aire objetivo y las condiciones de contaminación aguas arriba, lo que ayudará a determinar qué ubicación es adecuada para ULPA y qué estructura adoptar. La configuración específica está sujeta a los documentos técnicos y condiciones de aceptación confirmadas por el proyecto.