Le niveau de propreté et le niveau HEPA peuvent-ils correspondre ?

Cette question se pose souvent dans la communication de projet : à quel niveau de filtre correspond l'ISO 7 et l'ISO 5 doit-il être équipé de H14 ?

L'hypothèse de cette question est qu'il existe une table de conversion entre les deux ensembles de niveaux. En fait non. Le niveau de propreté décrit l'état de l'espace et le niveau HEPA décrit les performances du produit. Les deux objets d'évaluation sont différents, séparés par tout un ensemble de facteurs système tels que le volume d'alimentation en air, l'organisation du flux d'air, l'étanchéité et la gestion du fonctionnement.

Les traiter comme une correspondance biunivoque peut facilement conduire à des problèmes dans deux directions : lors de la sélection, déduire la qualité de l'élément filtrant en fonction de la qualité de la pièce, et lors de l'acceptation, utiliser le rapport sur l'élément filtrant pour expliquer les résultats de la pièce.

De quoi parlent les deux ensembles de niveaux ?

Les niveaux de propreté (tels que ISO 5, ISO 7 et ISO 8 dans la norme ISO 14644) évaluent le nombre de particules dans une unité de volume d'air, et le test doit être effectué dans des états, des points de mesure et des conditions d'échantillonnage spécifiés.

Le grade HEPA (H13, H14, U15, etc.) évalue l'efficacité de filtration du filtre pour les particules d'une granulométrie spécifique. Le test a spécifié le volume d'air, la méthode de génération de poussière et les moyens de détection.

L'un est l'indice d'acceptation de l'espace et l'autre est l'indice d'usine de produits. Le même produit de qualité HEPA installé dans différents systèmes peut produire des résultats complètement différents dans une pièce ; la même salle blanche standard peut utiliser différentes qualités de filtres.

Quelles variables se situent entre les deux ?

En supposant que l'objectif d'une pièce est un certain niveau de propreté, au moins ces couches doivent être transmises du filtre au résultat de la pièce :

Volume d'alimentation en air. Les particules sont contrôlées par dilution et élimination. Si le volume d'air est insuffisant, quelle que soit la qualité de l'élément filtrant, il n'atteindra pas l'objectif. Le nombre de changements d’air et la couverture du flux unidirectionnel doivent être calculés lors du processus de conception.

Organisation du flux d'air. Le fait que la couverture de la surface d'alimentation en air soit complète, que le chemin de l'air de retour soit lisse et qu'il y ait des tourbillons et des courts-circuits détermine directement si les particules peuvent être efficacement éliminées.

État scellé. Les fuites d'air de dérivation à l'extrémité, dans la boîte et dans la canalisation permettront à l'air non filtré de contourner l'élément filtrant. Ce type de problème est courant au niveau de l'interface finale. Pour la méthode de vérification de la structure d’étanchéité du réservoir de liquide, veuillez vous référer aux instructions pertinentes sur la vérification de la taille du tranchant du couteau.

Charge polluante dans les conditions d’exploitation. Si les particules introduites et sortantes par le personnel, l'équipement et les matériaux dépassent la capacité de dilution du système, la conformité statique ne signifie pas la conformité dynamique.

Statut d'entretien. Une fois que l'élément filtrant accumule de la poussière, la résistance augmente et le volume d'air diminue. Les performances après une période de fonctionnement peuvent être différentes de l'état initial.

Un problème avec l’une de ces variables peut entraîner un écart entre les résultats de la pièce et les attentes sans modifier la qualité du filtre lui-même.

Corriger l'ordre lors de la sélection

Une approche plus sûre consiste à travailler à l'envers : clarifiez d'abord les exigences de contrôle de la zone cible, puis déterminez le volume d'alimentation en air et l'organisation du flux d'air, puis sélectionnez le ventilateur en fonction de la résistance totale du trajet de l'air, et enfin déterminez la qualité et la structure de l'élément filtrant.

Dans cette séquence, la qualité de l'élément filtrant est le résultat et non le point de départ. Si vous définissez d'abord la qualité puis configurez le système, il est facile d'avoir une inadéquation lorsque la qualité est suffisante mais le volume d'air est insuffisant, ou le volume d'air est suffisant mais l'étanchéité n'est pas en place.

Les projets de rénovation sont un peu plus compliqués. Les ventilateurs, les conduits d'air et les extrémités du système d'origine sont tous fixes. Lors du remplacement de l'élément filtrant, si le changement de grade entraîne un changement de résistance, il faudra revenir en arrière et revérifier si le point de fonctionnement du ventilateur est suffisant. Vous ne pouvez pas simplement voir si l'élément filtrant peut être installé.

Les données d'acceptation doivent être classées séparément

Il est recommandé dans le document de projet que les deux types d'exigences soient rédigées séparément et acceptées séparément :

Côté filtre : qualité, normes applicables, volume d'air nominal, rapport d'essai et numéro unité par unité.

Côté pièce : volume d'air, organisation du flux d'air, répartition des points de mesure, état des tests (statiques ou dynamiques) et résultats de propreté.

De cette manière, lorsqu'un problème survient, il est possible de déterminer si le produit ne répond pas aux indicateurs convenus ou si l'état de fonctionnement du système ne répond pas aux conditions de conception. Mélangées dans un seul document, les limites des responsabilités sont floues et l'enquête n'a aucune direction.

Pour de telles zones locales à l’intérieur d’un équipement semi-conducteur, l’objet d’évaluation est le petit environnement à l’intérieur de l’équipement, qui est différent de l’ensemble de la salle blanche. La méthode d'essai et les conditions d'acceptation doivent être déterminées séparément en fonction de la structure de l'équipement.

À propos des packages de solutions d’Aili Industrial

Production industrielle Ai Li Filtre à air HEPA/ULPA et correspondant Unité de filtre de ventilateur FFU、Unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU et sortie d'alimentation en air à haut rendement. Les filtres et les équipements d'alimentation en air sont associés dans le même système, et la sélection de la qualité, l'adaptation du volume d'air et l'étanchéité de l'interface peuvent être confirmées ensemble pendant la phase de planification.

Pour les projets de salle blanche, il est recommandé de fournir ensemble la zone cible, l'état des tests, les exigences en matière de volume d'alimentation en air et les interfaces des terminaux afin de faciliter le jugement sur la manière de combiner le filtre et le système de manière plus appropriée. Pour les applications côté équipement, les dessins de l'équipement, les hauteurs disponibles et les instructions de maintenance sont des éléments importants pour la confirmation de la solution. Les performances spécifiques sont soumises aux données techniques du produit et aux résultats d'acceptation du projet.