清浄度レベルとHEPAレベルは1対1で対応できますか?

プロジェクトのコミュニケーションでは、次のような質問がよく起こります。ISO 7 はどのフィルター レベルに対応していますか? ISO 5 には H14 を装備する必要がありますか?

この質問の前提は、2 つのレベルのセット間に変換テーブルがあるということです。実際には違います。清浄度レベルは空間の状態を表し、HEPA レベルは製品の性能を表します。 2 つの評価対象は異なり、エア供給量、エアフロー構成、シール、運転管理などのシステム要素全体によって分けられます。

それらを 1 対 1 の対応として扱うと、2 つの方向で問題が発生しやすくなります。選択する場合は、部屋のグレードに応じてフィルタ エレメントのグレードを推測し、受け入れる場合は、フィルタ エレメントのレポートを使用して部屋の結果を説明します。

2 つのレベルのセットは何を話しているのでしょうか?

清浄度レベル (ISO 14644 の ISO 5、ISO 7、ISO 8 など) は空気の単位体積中の粒子の数を評価し、試験は指定された状態、測定点、サンプリング条件の下で実施する必要があります。

HEPA グレード (H13、H14、U15 など) は、特定の粒子サイズの粒子に対するフィルターの濾過効率を評価します。試験には風量、発塵方法、検出手段が規定されています。

1 つはスペース受け入れ指数、もう 1 つは製品工場指数です。同じ HEPA グレードの製品を異なるシステムに設置しても、部屋の結果がまったく異なる場合があります。同じ標準のクリーンルームでも異なるグレードのフィルターが使用される場合があります。

その間にはどのような変数があるでしょうか?

部屋のターゲットが特定の清浄度レベルであると仮定すると、少なくとも次のレイヤーがフィルターから部屋の結果に渡される必要があります。

エア供給量。 粒子は希釈と除去によって制御されます。風量が不足すると、いくら優れたフィルターエレメントを使用しても目標値に達しません。空気交換の回数と一方向の流れ範囲は、設計プロセス中に計算する必要があります。

エアフロー組織。 空気の供給面が完全に覆われているかどうか、戻り空気の経路がスムーズであるかどうか、渦や短絡がないかどうかによって、粒子を効果的に除去できるかどうかが直接決まります。

密閉状態。 端部、ボックス、パイプラインでのバイパス空気漏れにより、濾過されていない空気がフィルターエレメントをバイパスできます。この種の問題は、エンド インターフェイスでよく発生します。液体タンクの密閉構造の検証方法については、ナイフエッジサイズ検証の説明書を参照してください。

運転条件下での汚染負荷。 人員、設備、材料によって持ち込まれる粒子、および材料によって持ち込まれる粒子がシステムの希釈能力を超える場合、静的コンプライアンスは動的コンプライアンスを意味しません。

メンテナンス状況。 フィルターエレメントにゴミが溜まると抵抗が増加し風量が減少します。一定時間走行後の性能は初期状態と異なる場合があります。

これらの変数のいずれかに問題があると、フィルター グレード自体を変更しなくても、部屋の結果が期待から逸脱する可能性があります。

選択時の正しい順序

より安全なアプローチは、逆に作業することです。最初に対象エリアの制御要件を明確にし、次に供給空気量と空気の流れ構成を決定し、次に風路の総抵抗に基づいてファンを選択し、最後にフィルタエレメントのグレードと構造を決定します。

このシーケンスでは、フィルター要素のグレードは結果であり、開始点ではありません。グレードを先に設定してからシステムを構築すると、グレードは十分でも風量が足りない、風量は十分でもシールがしっかりしていないなどのミスマッチが発生しやすくなります。

改修プロジェクトはもう少し複雑です。元のシステムのファン、エアダクト、および端はすべて固定されています。フィルタエレメントを交換する際、グレードの変更により抵抗値が変化した場合、ファンの動作点が十分かどうかを再確認する必要があります。フィルターエレメントが取り付けられるかどうかだけを確認することはできません。

受入データは別途ファイルする必要があります

プロジェクト文書では、2 種類の要件を別々に記述し、別々に受け入れることが推奨されます。

フィルター側：グレード、適用規格、定格風量、試験成績書、ユニット別番号。

部屋側: 風量、空気の流れの構成、測定点の分布、試験ステータス (静的または動的)、および清浄度の結果。

これにより、問題が発生した際に、製品が合意された指標を満たしていないのか、システムの稼働状況が設計条件を満たしていないのかを判断することができます。 1 つの文書に混在しているため、責任の範囲は不明確であり、調査には方向性がありません。

このような半導体装置内の局所領域では、クリーンルーム全体とは異なり、装置内の狭い環境が評価対象となります。試験方法や合格条件は装置の構造に応じて別途決定する必要があります。

Aili Industrialのソリューションパッケージについて

アイリー工業生産 HEPA/ULPA エアフィルターとマッチング FFUファンフィルターユニット、EFU装置側ファンフィルタユニット と高効率エア供給口。フィルタとエア供給機器のマッチングを同一システム内で行い、グレード選定、風量マッチング、界面シールを計画段階で一括確認できます。

クリーンルームプロジェクトの場合、フィルタとシステムをより適切に組み合わせる判断を容易にするために、対象エリア、試験ステータス、空気供給量要件、端子インターフェースを一緒に提供することをお勧めします。機器側のアプリケーションの場合、機器の図面、利用可能な高さ、メンテナンスの指示は、ソリューションを確認するための重要な情報となります。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。