超薄型 EFU にはどのくらいの厚さの HEPA を取り付けることができますか?

この質問に数字で直接答えると、おそらく間違っています。

機器側の EFU の使用可能な高さは機器の構造によって決まり、この高さ内にファン、エアダクト、フィルタ、シール構造、取り付け公差を同時に挿入する必要があります。 HEPAがどれだけの厚さを占めることができるかは、どれだけのスペースが残っているか、そして残りのスペースが目標の空気量要件を満たすことができるかどうかによって決まります。したがって、本当の問題は、「どのくらいの厚さで設置できるか」ではなく、「どのフィルターエレメントをこの高さに設置しても、目標の風速を達成できるか」ということです。

高さの割り当てを最初に行い、最初にフィルター要素を選択しないでください

機器の図面を入手したら、まず利用可能な全高を分解します。

ボックスの底板と天板の厚み、ファンと羽根車の占有高さ、吸気口と排気口の分流スペース、フィルター本体の厚み、必要なシール構造（ガスケットや液タンク）の高さ、分解組立時の必要な動作マージン。

これらのアイテムの合計は、機器で許容される合計高さよりも小さくなければなりません。一般的なアプローチは、最初にファンとエアダクトを決定することです。これは、ファンとエアダクトには空気力学的制約があり、圧縮の余地がほとんどないためです。フィルタエレメントの厚さは比較的柔軟ですが、柔軟性とはランダムに選択することを意味するものではありません。

見落とされがちな点が 1 つあります。フィルター エレメントは挿入できるからといって、取り出せるわけではありません。 機器のカバー、ケーブル、安全ドア、可動部品が交換経路を妨げる可能性があります。コア サイズが設計段階で静的にのみ組み立てられている場合は、プロトタイプを設置することはできますが、お客様が現場でフィルター エレメントを交換することはできません。この状況は、機器側のプロジェクトでは珍しいことではありません。

フィルターエレメントが薄いのですが、値段はいくらですか？

同じ外形寸法でもフィルターエレメントを薄くすると有効濾過面積が減り、プリーツ空間が圧縮されます。

面積が小さくなると、同じ風量では濾材の通過風速が大きくなり、抵抗が大きくなり、塵埃保持能力が低下します。性能としては、初期の風速は大丈夫でも、一定期間使用すると抵抗が急激に上昇し、風速の減衰が大きくなり、交換サイクルが短くなります。

したがって、薄いフィルターエレメントは「厚いフィルターエレメントを平らにする」ほど単純ではありません。フィルターの材質選定やプリーツ構造などに狙いを絞った設計が必要となります。ソリューションによっては、低抵抗のフィルター素材に切り替えたり、プリーツの密度を調整したりすることで、限られた厚み内で有効面積を維持しようとするものもあります。一部のソリューションでは、より高い抵抗を受け入れ、より高い静圧のファンを使用して補償します。

どちらが適しているかは、装置がどれくらいの高さまで対応できるか、目標風速がどれくらいか、必要なメンテナンスサイクルがどれくらいかによって異なります。これらの条件が一つでも欠けていると選定できません。

フィルターエレメントの厚みと目標風速を合わせて計算してください。

候補の厚みを決定したら、目標風量におけるフィルターエレメントの抵抗データを取得し、それをファンの利用可能な静圧と比較する必要があります。

このステップでよくある誤解は、フィルター要素の初期抵抗のみに注目することです。一定期間走行すると抵抗が増加します。初期抵抗がファン能力ぎりぎりで機種を選定すると、その後の風速が大きく減衰してしまいます。合理的なアプローチは、マージンを残し、最終的な抵抗条件を計算に含めることです。

計算の結果、利用可能な高さ内でどのフィルター エレメントを選択しても目標風速に到達できないことが判明した場合、問題はフィルター エレメントではなく、EFU 自体の機器によって提供されるスペースにあり、この目標をサポートするには十分ではありません。この際、対象エリアを絞ることができないか、風速要件を緩和できないか、設備構造に調整の余地があるかなど、改めて設備側と協議する必要がある。

デバイスが異なれば、答えも異なります

半導体洗浄装置、EFEM、接着剤塗布・現像装置は内部構造が大きく異なり、使用可能な高さや吸気口の条件も異なります。一部のデバイスでは、通常の厚さのフィルターを収容できる十分なスペースが上部に確保されています。スペースが狭く、極薄のソリューションしか使用できないものもあります。

したがって、「超薄型 EFU にどの程度の厚さの HEPA を搭載できるか」という質問には、具体的な機器の図面に記載することによってのみ答えることができます。一般的な経験値は、まず全高制限と空気入口スペースを確認し、次に目標空気量に基づいてフィルタエレメントの必要な有効面積を逆差しし、最終的にこの高さで実現可能なフィルタエレメント構造を決定します。

Aili Industrialの超薄型EFUパッケージについて

アイ・リー・インダストリアル EFUの機器側ファンフィルターユニットは、 超薄型構造と小型サイズのカスタマイズをサポートしており、機器の図面に応じてマッチングできます。 HEPA/ULPAエアフィルター。ファン、モーター、制御システム、板金、フィルターが同じ製造システム内にあるため、計画段階で高さの割り当てと風量の計算を同時に完了できるため、最初にフィルターエレメントを決定してからファンを見つける必要がなくなります。

特にスペースが狭い場所では、装置の全高制限、吸気口の位置、目標表面風速、分解組立方向を併せて提示することで、極薄化の可否や適切なフィルタエレメントの厚みの判断が容易になります。液体タンクのシール構造については、タンク本体とナイフエッジの寸法も同時に確認する必要があります。詳細については、を参照してください。 液体タンクシールHEPA のインターフェース説明。