Какой толщины HEPA можно установить на ультратонкий EFU?

Если вы ответите на этот вопрос напрямую, указав число, вы, вероятно, ошибаетесь.

Доступная высота EFU со стороны оборудования определяется конструкцией оборудования, и в пределах этой высоты необходимо одновременно вставить вентилятор, воздуховод, фильтр, уплотнительную конструкцию и установочный допуск. Толщина HEPA, которую может занимать, зависит от того, сколько места осталось и может ли оставшееся пространство удовлетворить требования к целевому объему воздуха. Таким образом, реальный вопрос не в том, «какой толщины его можно установить», а в том, «какой фильтрующий элемент можно установить на этой высоте, чтобы достичь целевой скорости ветра».

Сначала определите высоту, не выбирайте сначала фильтрующий элемент.

После получения чертежей оборудования первым делом необходимо разобрать имеющуюся общую высоту:

Толщина нижней и верхней пластин коробки, высота, занимаемая вентилятором и крыльчаткой, пространство отвода воздуха на входе и выходе, толщина корпуса фильтра, необходимая высота уплотнительной конструкции (прокладки или бака для жидкости), а также необходимый запас хода при разборке и сборке.

Сумма этих элементов должна быть меньше общей высоты, разрешенной оборудованием. Распространенный подход состоит в том, чтобы сначала определить вентилятор и воздуховод, поскольку они подвержены аэродинамическим ограничениям и имеют мало места для сжатия; Толщина фильтрующего элемента относительно гибкая, но гибкость не означает случайный выбор.

Одна вещь легко упускается из виду: то , что фильтрующий элемент можно вставить, не означает, что его можно вынуть. Крышки оборудования, кабели, защитные дверцы и движущиеся части могут препятствовать пути замены. Если на стадии проектирования сердечник собирается только статически, прототип можно установить, но замена фильтрующего элемента на месте заказчиком невозможна. Такая ситуация не является редкостью в проектах, связанных с оборудованием.

Фильтрующий элемент тонкий, сколько стоит?

При тех же внешних размерах уменьшение толщины фильтрующего элемента означает, что эффективная площадь фильтрации уменьшается, а пространство складок сжимается.

По мере уменьшения площади скорость попутного ветра фильтрующего материала будет выше при том же объеме воздуха, сопротивление увеличится, а пылеемкость уменьшится. Проявление таково: начальная скорость ветра может быть нормальной, но после некоторого периода работы сопротивление быстро возрастает, скорость ветра значительно снижается, и цикл замены сокращается.

Поэтому тонкий фильтрующий элемент – это не так просто, как «сплющить толстый». Это требует целенаправленного проектирования при выборе фильтрующего материала и гофрированной структуры. Некоторые решения пытаются сохранить эффективную площадь в пределах ограниченной толщины, переключаясь на фильтрующие материалы с низким сопротивлением или регулируя плотность складок; некоторые решения допускают более высокое сопротивление и для компенсации используют вентиляторы с более высоким статическим давлением.

Какой из них подойдет, зависит от того, какую высоту может поднять оборудование, какова целевая скорость ветра и длительность цикла технического обслуживания. Если какое-либо из этих условий отсутствует, выбор будет невозможен.

Толщину фильтрующего элемента и целевую скорость ветра следует рассчитывать вместе.

После определения предполагаемой толщины вам необходимо получить данные о сопротивлении фильтрующего элемента при целевом объеме воздуха, а затем сравнить их с доступным статическим давлением вентилятора.

Распространенным заблуждением на этом этапе является то, что нужно смотреть только на начальное сопротивление фильтрующего элемента. Сопротивление повысится после бега в течение определенного периода времени. Если при выборе модели первоначальное сопротивление просто застряло на границе мощности вентилятора, скорость ветра значительно уменьшится в более поздний период. Разумный подход — оставить запас и включить в расчет конечные условия сопротивления.

Если после расчета обнаруживается, что какой бы фильтрующий элемент ни был выбран в пределах доступной высоты, заданная скорость ветра не может быть достигнута, то проблема не в фильтрующем элементе, а в пространстве, предусмотренном оборудованием для самого ЭФУ, которого недостаточно для обеспечения этой цели. В это время необходимо еще раз обсудить со стороной оборудования: можно ли сузить целевую зону, можно ли смягчить требования к скорости ветра или есть ли возможности для корректировки в конструкции оборудования.

Разные устройства, разные ответы

Внутренние конструкции оборудования для очистки полупроводников, EFEM, а также оборудования для нанесения клеевого покрытия и проявки сильно различаются, а также различаются доступные высоты и условия впуска воздуха. В некоторых устройствах сверху зарезервировано достаточно места для размещения фильтров стандартной толщины; некоторые имеют ограниченное пространство и могут использовать только ультратонкие решения.

Поэтому на вопрос «какой толщины HEPA можно установить в ультратонкие ЭФУ» можно ответить, только нанеся это на чертежи конкретного оборудования. Общая экспериментальная ценность такова: сначала подтвердите общий предел высоты и пространство для воздухозаборника, затем вычтите необходимую эффективную площадь фильтрующего элемента на основе целевого объема воздуха и, наконец, определите возможную структуру фильтрующего элемента на этой высоте.

Об ультратонком корпусе EFU от Aili Industrial

Ай Ли Индастриал Блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU имеет сверхтонкую конструкцию и малые размеры, а также может быть подобран в соответствии с чертежами оборудования. Воздушный фильтр HEPA/ULPA . Поскольку вентиляторы, двигатели, системы управления, листовой металл и фильтры находятся в одной производственной системе, расчеты распределения высоты и объема воздуха могут выполняться одновременно на этапе планирования, что устраняет необходимость сначала определять фильтрующий элемент, а затем искать вентилятор.

Для мест, где пространство особенно ограничено, общий предел высоты оборудования, положение воздухозаборника, целевая скорость приземного ветра, а также направление разборки и сборки могут быть указаны вместе, чтобы облегчить принятие решения о том, возможно ли ультратонкое решение, и о подходящей толщине фильтрующего элемента. Когда дело доходит до уплотнительной конструкции резервуара для жидкости, необходимо одновременно проверить размеры корпуса резервуара и ножевой кромки. Подробную информацию см. уплотнения бака для жидкости HEPA . Описание интерфейса