Quelle épaisseur de HEPA peut-on installer sur un EFU ultra-fin ?

Si vous répondez directement à cette question par un chiffre, vous vous trompez probablement.

La hauteur disponible de l'EFU côté équipement est déterminée par la structure de l'équipement, et dans cette hauteur, le ventilateur, le conduit d'air, le filtre, la structure d'étanchéité et la tolérance d'installation doivent être insérés en même temps. L'épaisseur que peut occuper le HEPA dépend de l'espace restant et de la capacité de l'espace restant à répondre aux exigences de volume d'air cible. La vraie question n’est donc pas « quelle épaisseur peut-on installer », mais « quel élément filtrant peut-on installer à cette hauteur pour atteindre la vitesse de vent cible ».

Faites d'abord la répartition de la hauteur, ne choisissez pas l'élément filtrant en premier

Après avoir obtenu les dessins des équipements, la première chose à faire est de démonter la hauteur totale disponible :

L'épaisseur de la plaque inférieure et de la plaque supérieure du caisson, la hauteur occupée par le ventilateur et la roue, l'espace de dérivation d'entrée et de sortie d'air, l'épaisseur du corps du filtre, la hauteur requise de la structure d'étanchéité (joint ou réservoir de liquide), et la marge de fonctionnement requise lors du démontage et du montage.

La somme de ces éléments doit être inférieure à la hauteur totale autorisée par l'équipement. Une approche courante consiste à déterminer d'abord le ventilateur et le conduit d'air, car ils sont soumis à des contraintes aérodynamiques et ont peu de place pour la compression ; l'épaisseur de l'élément filtrant est relativement flexible - mais flexibilité ne signifie pas choisir au hasard.

Une chose est facilement négligée : ce n'est pas parce que l'élément filtrant peut être mis en place qu'il peut être retiré. Les capots d'équipement, les câbles, les portes de sécurité et les pièces mobiles peuvent bloquer le chemin de remplacement. Si la taille du noyau n'est assemblée que statiquement pendant la phase de conception, le prototype peut être installé, mais l'élément filtrant ne peut pas être remplacé sur place par le client. Cette situation n’est pas rare dans les projets côté équipement.

L’élément filtrant est fin, quel est le prix ?

Sous les mêmes dimensions extérieures, rendre l'élément filtrant plus fin signifie que la zone de filtrage efficace est réduite et que l'espace plissé est comprimé.

À mesure que la surface diminue, la vitesse du vent passant du matériau filtrant sera plus élevée sous le même volume d'air, la résistance augmentera et la capacité de rétention de la poussière diminuera. Les performances sont les suivantes : la vitesse initiale du vent peut être correcte, mais après une période de fonctionnement, la résistance augmente rapidement, la vitesse du vent s'atténue considérablement et le cycle de remplacement est raccourci.

Par conséquent, un élément filtrant mince n’est pas aussi simple que « d’aplatir un élément filtrant épais ». Cela nécessite une conception ciblée dans la sélection des matériaux filtrants et la structure plissée. Certaines solutions tentent de maintenir la zone efficace dans une épaisseur limitée en passant à des matériaux filtrants à faible résistance ou en ajustant la densité des plis ; certaines solutions acceptent une résistance plus élevée et utilisent des ventilateurs avec une pression statique plus élevée pour compenser.

Celui qui convient dépend de la hauteur que l'équipement peut donner, de la vitesse du vent cible et de la durée du cycle de maintenance nécessaire. Si l’une de ces conditions manque, la sélection sera impossible.

L'épaisseur de l'élément filtrant et la vitesse du vent cible doivent être calculées ensemble.

Après avoir déterminé l'épaisseur candidate, vous devez obtenir les données de résistance de l'élément filtrant au volume d'air cible, puis les comparer avec la pression statique disponible du ventilateur.

Un malentendu courant à cette étape est de considérer uniquement la résistance initiale de l’élément filtrant. La résistance augmentera après avoir fonctionné pendant un certain temps. Si la résistance initiale est juste bloquée à la limite de la capacité du ventilateur lors de la sélection du modèle, la vitesse du vent s'atténuera considérablement par la suite. Une approche raisonnable consiste à laisser une marge et à inclure les conditions de résistance finales dans le calcul.

Si après le calcul, il s'avère que quel que soit l'élément filtrant sélectionné dans la hauteur disponible, la vitesse du vent cible ne peut pas être atteinte, alors le problème ne vient pas de l'élément filtrant, mais de l'espace fourni par l'équipement pour l'EFU lui-même, qui n'est pas suffisant pour atteindre cet objectif. À ce stade, il est nécessaire de discuter à nouveau avec le côté équipement : si la zone cible peut être rétrécie, si les exigences en matière de vitesse du vent peuvent être assouplies ou s'il y a une marge d'ajustement dans la structure de l'équipement.

Différents appareils, différentes réponses

Les structures internes des équipements de nettoyage de semi-conducteurs, EFEM et des équipements de revêtement et de développement de colle sont très différentes, et les hauteurs disponibles et les conditions d'entrée d'air sont différentes. Certains appareils disposent de suffisamment d'espace réservé en haut pour accueillir des filtres d'épaisseur régulière ; certains ont un espace restreint et ne peuvent utiliser que des solutions ultra fines.

Par conséquent, la question de savoir « quelle épaisseur de HEPA peut être installée dans un EFU ultra-mince » ne peut être résolue qu'en le plaçant sur des dessins d'équipement spécifiques. La valeur générale de l'expérience est la suivante : confirmez d'abord la limite de hauteur totale et l'espace d'entrée d'air, puis soustrayez la surface efficace requise de l'élément filtrant en fonction du volume d'air cible, et enfin déterminez la structure réalisable de l'élément filtrant à cette hauteur.

À propos du boîtier EFU ultra-mince d'Aili Industrial

Ai Li industriel L'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU prend en charge une structure ultra-mince et une personnalisation de petite taille, et peut être adaptée selon les dessins de l'équipement. Filtre à air HEPA/ULPA . Étant donné que les ventilateurs, les moteurs, les systèmes de contrôle, la tôle et les filtres se trouvent dans le même système de fabrication, les calculs d'allocation de hauteur et de volume d'air peuvent être effectués en même temps pendant la phase de planification, éliminant ainsi le besoin de déterminer d'abord l'élément filtrant, puis de trouver le ventilateur.

Pour les endroits où l'espace est particulièrement restreint, la limite de hauteur totale de l'équipement, la position de l'entrée d'air, la vitesse du vent de surface cible et la direction de démontage et d'assemblage peuvent être fournis ensemble pour faciliter l'évaluation de la faisabilité de la solution ultra-mince et de l'épaisseur appropriée de l'élément filtrant. En ce qui concerne la structure d'étanchéité du réservoir de liquide, les dimensions du corps du réservoir et du tranchant du couteau doivent également être vérifiées en même temps. Pour plus de détails, veuillez vous référer à joint de réservoir de liquide HEPA . Description de l'interface du