Que dois-je faire si le volume d'air est insuffisant après avoir utilisé le filtre H14 dans l'EFU ?

Une fois l'EFU côté équipement remplacé par du H14, le volume d'air est insuffisant, ce qui constitue un problème typique dans l'appariement des équipements à semi-conducteurs. Différent du FFU au plafond de la salle blanche, l'EFU est installé à l'intérieur de l'équipement, et l'espace de déplacement est très limité, et les idées de traitement sont également différentes.

Parlons d’abord de la conclusion : ne vous précipitez pas pour régler d’abord la vitesse. Le volume d'air de l'EFU est insuffisant et la résistance du filtre n'est qu'une des raisons possibles. L’espace d’entrée d’air de l’équipement, l’obstruction de la sortie d’air et le chemin des conduits d’air peuvent tous constituer des conditions limitantes. Regarder dans la mauvaise direction et ajuster la vitesse ne fait souvent que repousser le problème.

Déterminez d’abord ce dont vous avez besoin en matière d’équipement

L'EFU dessert des zones locales à l'intérieur de l'équipement, telles que la zone de transfert de tranche et à proximité de l'ouverture de la cavité. Ce dont ces zones ont besoin n'est pas d'un « volume de vent important », mais de maintenir une vitesse du vent et une couverture de flux d'air stables à des endroits spécifiques.。

Par conséquent, la première étape n'est pas d'examiner le volume d'air de l'EFU lui-même, mais de revenir aux dessins de l'équipement pour confirmer : quelle est la portée que la zone cible doit couvrir, quelle vitesse du vent en surface est requise et quelle est la fluctuation autorisée de la vitesse du vent. Une fois ces données déterminées, nous pouvons déduire le volume d’air que l’EFU doit fournir et la pression statique requise dans ce trajet d’air.

De nombreux jugements de 'volume d'air insuffisant' sont en réalité dus au fait que la cible elle-même n'est pas quantifiée - nous savons seulement qu'elle est plus petite que l'originale, mais nous ne savons pas si elle est suffisamment petite pour être utilisée.

La résistance de l'élément filtrant doit être observée tout au long du trajet de l'air.

Le H14 a généralement une résistance plus élevée que le H13, cela ne fait aucun doute. Mais la pression statique réellement disponible de l’EFU ne concerne pas uniquement l’élément filtrant.

Pour les EFU à l’intérieur de l’équipement, l’entrée d’air est souvent proche du rack, des câbles, des pièces mobiles et même du capot de sécurité. Le côté sortie d'air peut avoir une structure de guidage ou faire directement face à une zone sensible. Ceux-ci consommeront une partie de la pression statique. La résistance de l'élément filtrant plus la résistance du boîtier, de l'entrée d'air, de la sortie d'air et de l'interface de l'équipement constituent la résistance totale que le ventilateur doit réellement surmonter.

Lors du calcul de ce compte, vous devez obtenir les données de résistance de H14 au volume d'air cible, puis les comparer avec la courbe PQ du ventilateur EFU. Si le nouveau point de fonctionnement s'écarte de la plage correspondant à la vitesse du vent cible, cela signifie que le niveau de sélection ne correspond pas, et il est peu important de discuter du réglage de la vitesse à ce stade.

Plusieurs directions lorsque l'espace est limité

La surface de filtration de l'EFU est limitée par l'ouverture de l'équipement, ce qui constitue une contrainte forte. Lorsque le volume d’air n’est pas suffisant, les directions qui peuvent être évaluées sont grossièrement les suivantes :

Remplacez par une structure d'élément filtrant avec une zone de filtration efficace plus grande. Sous les mêmes dimensions, la résistance peut être différente en ajustant les plis ou la forme structurelle. À condition que la profondeur interne de l’équipement le permette.

Ajustez la configuration du ventilateur. Sous la hauteur autorisée et les conditions électriques de l'équipement, évaluez s'il existe des options de ventilateurs avec une pression statique plus élevée. Cependant, il convient de noter qu'augmenter la capacité du ventilateur ne signifie pas résoudre le problème : si le goulot d'étranglement se situe dans l'espace d'entrée d'air ou si la sortie d'air est bloquée, l'effet du remplacement du ventilateur sera limité.

Optimiser le chemin d’air interne de l’équipement. Vérifiez si l'entrée d'air est bloquée par des câbles ou des tuyaux d'air, et si le côté sortie d'air fait face aux pièces structurelles pour former un reflux. Ce type de changement ne nécessite généralement pas de remplacement de pièces, mais nécessite la coopération de l'usine d'équipement pour ajuster la structure.

Revérifiez la zone cible. Si la structure de l'équipement détermine que l'EFU ne peut couvrir que certaines zones, vous pouvez envisager de réduire la plage cible afin que l'EFU puisse se concentrer sur la desserte des emplacements les plus sensibles et gérer les zones restantes séparément.

Aucune de ces voies n’est forcément correcte, cela dépend des contraintes réelles de l’équipement. L’essentiel est de confirmer d’abord où se trouve le goulot d’étranglement, puis de choisir une direction.

La logique de traitement est différente de celle de FFU

au plafond L'unité de filtre à ventilateur FFU dispose d'un espace supérieur relativement spacieux, de bonnes conditions d'entrée d'air et de davantage de moyens pour résoudre les problèmes de volume d'air. L'EFU est installé dans l'équipement et la hauteur disponible, l'espace d'entrée d'air et le chemin de maintenance sont tous déterminés à l'avance, laissant beaucoup moins de place à la modification.

Par conséquent, lors de la phase de sélection de l'EFU, il est nécessaire de préciser : quelle hauteur l'équipement peut fournir, où se trouve l'entrée d'air, quels obstacles se trouvent autour et quelle vitesse du vent est requise dans la zone cible. Plus ces données sont complètes, mieux il est possible de déterminer dès la phase de dessin si le H14 peut être utilisé ou si la structure doit être modifiée. Nul besoin d’attendre l’installation du prototype pour constater que le volume d’air est insuffisant.

À propos du package EFU d’Aili Industrial

Ai Li industriel L'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU prend en charge une structure ultra-mince et une personnalisation de petite taille, et peut être associée à Des filtres à air HEPA/ULPA sont utilisés et les ventilateurs, moteurs, systèmes de contrôle et filtres sont associés dans le même système de fabrication. Cela signifie que la résistance de l'élément filtrant, la pression statique du ventilateur et l'espace disponible pour l'équipement peuvent être calculés ensemble pendant la phase de planification, au lieu de regarder en arrière pour trouver des problèmes une fois l'ensemble de la machine installé.

Pour les équipements déjà en fonctionnement qui doivent être basculés vers H14, les dessins de l'équipement, les hauteurs disponibles, les volumes d'air cibles et les paramètres EFU existants peuvent être fournis pour faciliter le jugement si la sélection de l'élément filtrant doit être ajustée ou si le chemin d'air interne de l'équipement doit être optimisé. En impliquant la position de la structure d'étanchéité du réservoir de liquide, la taille de l'interface peut également être vérifiée ensemble. Pour plus de détails, veuillez vous référer à Instructions pour sceller le réservoir de liquide HEPA .