Was soll ich tun, wenn die Luftmenge nach Verwendung des H14-Filters im EFU nicht ausreicht?

Nachdem die geräteseitige EFU durch H14 ersetzt wurde, reicht das Luftvolumen nicht aus, was ein typisches Problem bei der Anpassung von Halbleitergeräten darstellt. Im Gegensatz zur FFU an der Decke des Reinraums wird die EFU im Inneren der Anlage installiert. Der Platz zum Bewegen ist sehr begrenzt und auch die Verarbeitungsideen sind unterschiedlich.

Lassen Sie uns zunächst über die Schlussfolgerung sprechen: Beeilen Sie sich nicht, zuerst die Geschwindigkeit anzupassen. Das EFU-Luftvolumen reicht nicht aus und der Filterwiderstand ist nur einer der möglichen Gründe. Der Lufteinlassraum des Geräts, die Behinderung des Luftauslasses und der Luftkanalweg können allesamt einschränkende Bedingungen sein. In die falsche Richtung zu schauen und die Geschwindigkeit anzupassen, verschiebt das Problem oft nur nach hinten.

Finden Sie zunächst heraus, was Sie von der Ausrüstung benötigen

EFU versorgt lokale Bereiche innerhalb der Anlage, beispielsweise den Wafertransferbereich und in der Nähe der Hohlraumöffnung. Was diese Gebiete brauchen, ist nicht „großes Windvolumen“, sondern die Aufrechterhaltung einer stabilen Windgeschwindigkeit und Luftströmungsabdeckung an bestimmten Standorten.。

Daher besteht der erste Schritt nicht darin, sich die Luftvolumenzahl der EFU selbst anzusehen, sondern auf die Gerätezeichnungen zurückzugehen, um zu bestätigen, wie viel Reichweite das Zielgebiet abdecken muss, welche Oberflächenwindgeschwindigkeit erforderlich ist und wie hoch die zulässigen Windgeschwindigkeitsschwankungen sind. Sobald diese Daten ermittelt sind, können wir ableiten, wie viel Luftvolumen die EFU bereitstellen muss und wie viel statischer Druck in diesem Luftweg erforderlich ist.

Viele Urteile über „unzureichendes Luftvolumen“ sind tatsächlich auf die Tatsache zurückzuführen, dass das Ziel selbst nicht quantifiziert ist – wir wissen nur, dass es kleiner als das Original ist, aber wir wissen nicht, ob es klein genug ist, um verwendet zu werden.

Der Widerstand des Filterelements sollte entlang des gesamten Luftwegs betrachtet werden.

H14 hat im Allgemeinen eine höhere Beständigkeit als H13, daran besteht kein Zweifel. Der tatsächlich verfügbare statische Druck von EFU hängt jedoch nicht nur vom Filterelement ab.

Bei der EFU im Inneren des Geräts befindet sich der Lufteinlass häufig in der Nähe des Racks, der Kabel, der beweglichen Teile und sogar der Sicherheitsabdeckung. Die Luftaustrittsseite kann eine Leitstruktur aufweisen oder direkt einem sensiblen Bereich zugewandt sein. Diese verbrauchen einen Teil des statischen Drucks. Der Widerstand des Filterelements plus der Widerstand von Box, Lufteinlass, Luftauslass und Geräteschnittstelle ergibt den Gesamtwiderstand, den der Ventilator tatsächlich überwinden muss.

Bei der Berechnung dieses Kontos müssen Sie die Widerstandsdaten von H14 bei der Zielluftmenge ermitteln und diese dann mit der PQ-Kurve des EFU-Lüfters vergleichen. Wenn der neue Betriebspunkt von dem Bereich abweicht, der der Zielwindgeschwindigkeit entspricht, bedeutet dies, dass das Auswahlniveau nicht übereinstimmt, und es ist zu diesem Zeitpunkt von geringer Bedeutung, die Geschwindigkeitsanpassung zu diskutieren.

Mehrere Richtungen, wenn der Platz begrenzt ist

Der Filterbereich des EFU ist durch die Öffnung der Ausrüstung begrenzt, was eine harte Einschränkung darstellt. Wenn die Luftmenge nicht ausreicht, können ungefähr folgende Richtungen ausgewertet werden:

Ersetzen Sie es durch eine Filterelementstruktur mit einer größeren effektiven Filterfläche. Bei gleichen Abmessungen kann der Widerstand durch Anpassung der Falten oder der Strukturform unterschiedlich sein. Sofern die Innentiefe der Ausstattung dies zulässt.

Passen Sie die Lüfterkonfiguration an. Bewerten Sie unter Berücksichtigung der zulässigen Höhe und der elektrischen Bedingungen des Geräts, ob es Lüfteroptionen mit höherem statischen Druck gibt. Es ist jedoch zu beachten, dass eine Erhöhung der Lüfterkapazität keine Lösung des Problems bedeutet – wenn der Engpass im Lufteinlassraum liegt oder der Luftauslass blockiert ist, ist die Wirkung des Lüfteraustauschs begrenzt.

Optimieren Sie den internen Luftweg des Geräts. Prüfen Sie, ob der Lufteinlass durch Kabel oder Luftrohre blockiert ist und ob die Luftauslassseite den Bauteilen zugewandt ist, so dass ein Rückstau entsteht. Diese Art von Änderung erfordert normalerweise keinen Austausch von Teilen, erfordert jedoch die Mitarbeit des Geräteherstellers, um die Struktur anzupassen.

Überprüfen Sie den Zielbereich erneut. Wenn aufgrund der Gerätestruktur festgelegt ist, dass die EFU nur einige Bereiche abdecken kann, können Sie erwägen, den Zielbereich einzugrenzen, sodass sich die EFU auf die Versorgung der empfindlichsten Standorte konzentrieren und die übrigen Bereiche separat verwalten kann.

Keiner dieser Wege ist unbedingt richtig, er hängt von den tatsächlichen Einschränkungen der Ausrüstung ab. Der Schlüssel besteht darin, zunächst zu bestätigen, wo sich der Engpass befindet, und dann eine Richtung auszuwählen.

Die Verarbeitungslogik unterscheidet sich von der der FFU

an der Decke Die FFU-Lüfterfiltereinheit verfügt über einen relativ großen oberen Raum, gute Lufteinlassbedingungen und mehr Möglichkeiten zur Bewältigung von Luftvolumenproblemen. Die EFU wird im Gerät installiert und die verfügbare Höhe, der Lufteinlassraum und der Wartungspfad werden alle im Voraus festgelegt, sodass viel weniger Spielraum für Änderungen bleibt.

Daher muss in der EFU-Auswahlphase klargestellt werden, wie viel Höhe die Ausrüstung bieten kann, wo sich der Lufteinlass befindet, welche Hindernisse sich in der Nähe befinden und welche Windgeschwindigkeit im Zielgebiet erforderlich ist. Je vollständiger diese Eingaben sind, desto besser lässt sich bereits im Zeichnungsstadium feststellen, ob der H14 verwendet werden kann oder ob die Struktur geändert werden muss. Sie müssen nicht warten, bis der Prototyp installiert ist, um festzustellen, dass die Luftmenge nicht ausreicht.

Über das EFU-Paket von Aili Industrial

Ai Li industriell Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit von EFU unterstützt eine ultradünne Struktur und eine individuelle Anpassung an kleine Größen und kann mit angepasst werden Es kommen HEPA/ULPA-Luftfilter zum Einsatz und Ventilatoren, Motoren, Steuerungssysteme und Filter sind im gleichen Fertigungssystem aufeinander abgestimmt. Dies bedeutet, dass der Filterelementwiderstand, der statische Ventilatordruck und der verfügbare Geräteraum bereits in der Planungsphase gemeinsam berechnet werden können, anstatt erst nach der Installation der gesamten Maschine nach Problemen zu suchen.

Für Geräte, die bereits in Betrieb sind und auf H14 umgestellt werden müssen, können Gerätezeichnungen, verfügbare Höhen, Zielluftmengen und bestehende EFU-Parameter bereitgestellt werden, um die Beurteilung zu erleichtern, ob die Filterelementauswahl angepasst oder der interne Luftweg der Geräte optimiert werden muss. Anhand der Position der Dichtungsstruktur des Flüssigkeitstanks kann auch die Schnittstellengröße gemeinsam überprüft werden. Einzelheiten finden Sie unter Anleitung zur HEPA-Abdichtung von Flüssigkeitstanks .