Tôi nên làm gì nếu lượng không khí không đủ sau khi sử dụng bộ lọc H14 trong EFU?
Sau khi thay thế EFU phía thiết bị bằng H14, lượng không khí không đủ, đây là một vấn đề điển hình trong việc khớp thiết bị bán dẫn. Khác với FFU trên trần phòng sạch, EFU được lắp đặt bên trong thiết bị, không gian di chuyển rất hạn chế và ý tưởng xử lý cũng khác nhau.
Hãy nói về kết luận trước: đừng vội điều chỉnh tốc độ trước. Lượng không khí EFU không đủ và lực cản của bộ lọc chỉ là một trong những nguyên nhân có thể xảy ra. Không gian hút gió của thiết bị, tắc nghẽn thoát khí và đường dẫn khí đều có thể là những điều kiện hạn chế. Nhìn sai hướng và điều chỉnh tốc độ thường chỉ đẩy vấn đề lùi lại.
Đầu tiên hãy tìm hiểu những gì bạn cần từ thiết bị
EFU phục vụ các khu vực cục bộ bên trong thiết bị, chẳng hạn như khu vực chuyển wafer và gần lỗ khoang. Điều mà những khu vực này cần không phải là “lượng gió lớn” mà là duy trì tốc độ gió ổn định và độ bao phủ luồng không khí tại các địa điểm cụ thể.。
Do đó, bước đầu tiên không phải là nhìn vào số lượng không khí của chính EFU mà quay lại bản vẽ thiết bị để xác nhận: phạm vi mà khu vực mục tiêu cần bao phủ là bao nhiêu, tốc độ gió bề mặt được yêu cầu là bao nhiêu và dao động tốc độ gió cho phép là bao nhiêu. Sau khi xác định được những dữ liệu này, chúng tôi có thể suy ra lượng không khí mà EFU cần cung cấp và áp suất tĩnh cần thiết trong đường dẫn khí này là bao nhiêu.
Nhiều nhận định về “khối lượng không khí không đủ” thực ra là do bản thân mục tiêu không được định lượng - chúng ta chỉ biết rằng nó nhỏ hơn ban đầu chứ không biết liệu nó có đủ nhỏ để sử dụng hay không.
Điện trở của phần tử lọc phải được xem dọc theo toàn bộ đường dẫn khí.
H14 thường có điện trở cao hơn H13, không nghi ngờ gì về điều đó. Nhưng áp suất tĩnh thực tế có sẵn của EFU không chỉ nhìn vào phần tử lọc.
Đối với EFU bên trong thiết bị, cửa hút gió thường nằm gần giá đỡ, dây cáp, bộ phận chuyển động và thậm chí cả nắp an toàn. Phía thoát khí có thể có cấu trúc dẫn hướng hoặc hướng trực tiếp vào khu vực nhạy cảm. Những thứ này sẽ ăn hết một số áp suất tĩnh. Điện trở của phần tử lọc cộng với điện trở của hộp, cửa gió vào, cửa gió và giao diện thiết bị là tổng điện trở mà quạt thực sự phải vượt qua.
Khi tính toán tài khoản này, bạn cần lấy dữ liệu điện trở của H14 ở thể tích không khí mục tiêu, sau đó so sánh với đường cong PQ của quạt EFU. Nếu điểm vận hành mới lệch khỏi phạm vi tương ứng với tốc độ gió mục tiêu, điều đó có nghĩa là mức lựa chọn không khớp và việc thảo luận về việc điều chỉnh tốc độ tại thời điểm này không có ý nghĩa gì.
Một số hướng khi không gian bị hạn chế
Vùng lọc của EFU bị giới hạn bởi độ mở của thiết bị, đây là một hạn chế cứng. Khi thể tích không khí không đủ, các hướng có thể được đánh giá đại khái như sau:
Thay thế bằng cấu trúc phần tử lọc có diện tích lọc hiệu quả lớn hơn. Trong cùng một kích thước, điện trở có thể khác nhau bằng cách điều chỉnh các nếp gấp hoặc dạng kết cấu. Cung cấp độ sâu bên trong của thiết bị cho phép.
Điều chỉnh cấu hình quạt. Trong điều kiện độ cao và điện cho phép của thiết bị, hãy đánh giá xem có lựa chọn quạt nào có áp suất tĩnh cao hơn hay không. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng việc tăng công suất quạt không có nghĩa là giải quyết được vấn đề - nếu nút cổ chai nằm ở không gian hút gió hoặc cửa thoát gió bị tắc thì hiệu quả của việc thay quạt sẽ bị hạn chế.
Tối ưu hóa đường dẫn khí bên trong của thiết bị. Kiểm tra xem cửa hút gió có bị chặn bởi dây cáp hoặc ống dẫn khí hay không và liệu phía cửa thoát gió có đối diện với các bộ phận kết cấu để tạo thành dòng chảy ngược hay không. Loại thay đổi này thường không yêu cầu thay thế linh kiện mà cần có sự hợp tác của nhà máy sản xuất thiết bị để điều chỉnh kết cấu.
Kiểm tra lại khu vực mục tiêu. Nếu cấu trúc thiết bị xác định EFU chỉ có thể bao phủ một số khu vực, bạn có thể xem xét thu hẹp phạm vi mục tiêu để EFU có thể tập trung phục vụ những vị trí nhạy cảm nhất và xử lý riêng các khu vực còn lại.
Không có đường dẫn nào trong số này nhất thiết phải đúng, nó phụ thuộc vào những ràng buộc thực tế của thiết bị. Điều quan trọng là trước tiên phải xác nhận nút cổ chai ở đâu và sau đó chọn hướng đi.
Logic xử lý khác với logic của FFU
trên trần nhà Bộ lọc quạt FFU có không gian phía trên tương đối rộng rãi, điều kiện hút gió tốt và nhiều phương tiện hơn để giải quyết các vấn đề về lượng không khí. EFU được lắp đặt trong thiết bị và chiều cao sẵn có, không gian hút gió và lộ trình bảo trì đều được xác định trước nên sẽ có ít chỗ hơn cho việc sửa đổi.
Do đó, trong giai đoạn lựa chọn EFU, cần phải làm rõ: thiết bị có thể cung cấp độ cao bao nhiêu, cửa hút gió ở đâu, có vật cản xung quanh và tốc độ gió yêu cầu trong khu vực mục tiêu là bao nhiêu. Các đầu vào này càng đầy đủ thì càng có thể xác định tốt hơn ở giai đoạn vẽ xem liệu H14 có thể được sử dụng hay không hoặc liệu cấu trúc có cần thay đổi hay không. Không cần phải đợi cho đến khi nguyên mẫu được lắp đặt mới phát hiện ra rằng lượng không khí không đủ.
Giới thiệu về gói EFU của Aili Industrial
công nghiệp Ái Lý Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU hỗ trợ cấu trúc siêu mỏng và tùy chỉnh kích thước nhỏ và có thể phù hợp với Bộ lọc không khí HEPA/ULPA được sử dụng và quạt, động cơ, hệ thống điều khiển và bộ lọc được kết hợp trong cùng một hệ thống sản xuất. Điều này có nghĩa là điện trở của phần tử bộ lọc, áp suất tĩnh của quạt và không gian thiết bị sẵn có có thể được tính toán cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch, thay vì phải nhìn lại để tìm sự cố sau khi lắp đặt toàn bộ máy.
Đối với thiết bị đã hoạt động và cần chuyển sang H14, bản vẽ thiết bị, chiều cao sẵn có, thể tích không khí mục tiêu và các thông số EFU hiện có có thể được cung cấp để tạo điều kiện thuận lợi cho việc đánh giá xem việc lựa chọn phần tử bộ lọc có cần được điều chỉnh hay đường dẫn khí bên trong của thiết bị cần được tối ưu hóa hay không. Liên quan đến vị trí của cấu trúc bịt kín bể chứa chất lỏng, kích thước giao diện cũng có thể được kiểm tra cùng nhau. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo Hướng dẫn dán kín bình chứa chất lỏng HEPA .
