Что делать, если после использования фильтра Н14 в ЭФУ объем воздуха недостаточен?

После замены EFU со стороны оборудования на H14 объем воздуха недостаточен, что является типичной проблемой при согласовании полупроводникового оборудования. В отличие от FFU на потолке чистой комнаты, EFU устанавливается внутри оборудования, а пространство для перемещения очень ограничено, а идеи обработки также различаются.

Сначала сделаем вывод: не спешите сначала регулировать скорость. Объем воздуха ЭФУ недостаточен, и сопротивление фильтра – лишь одна из возможных причин. Пространство для впуска воздуха в оборудование, препятствия для выхода воздуха и путь воздуховода могут быть ограничивающими условиями. Глядя в неправильном направлении и регулируя скорость, зачастую вы просто отодвигаете проблему назад.

Сначала определитесь, что вам нужно от оборудования

EFU обслуживает локальные области внутри оборудования, такие как зона переноса пластин и рядом с отверстием полости. Этим областям нужен не «большой объем ветра», а поддержание стабильной скорости ветра и охвата воздушного потока в определенных местах.。

Поэтому первым шагом является не смотреть на объем воздуха самого EFU, а вернуться к чертежам оборудования, чтобы подтвердить: какую дальность действия должна покрыть целевая область, какая скорость приземного ветра требуется и каковы допустимые колебания скорости ветра. Как только эти данные будут определены, мы сможем сделать вывод, какой объем воздуха должен обеспечить EFU и какое статическое давление требуется на этом воздушном пути.

Многие суждения о «недостаточном объеме воздуха» на самом деле связаны с тем, что сама цель не определена количественно — мы знаем только, что она меньше оригинала, но не знаем, достаточно ли она мала, чтобы ее можно было использовать.

Сопротивление фильтрующего элемента следует смотреть по всему воздушному пути.

H14 обычно имеет более высокое сопротивление, чем H13, в этом нет никаких сомнений. Но фактическое доступное статическое давление ЭФУ зависит не только от фильтрующего элемента.

Для EFU внутри оборудования воздухозаборник часто находится рядом со стойкой, кабелями, движущимися частями и даже защитной крышкой. Сторона выхода воздуха может иметь направляющую конструкцию или быть обращена непосредственно к чувствительной зоне. Они съедят часть статического давления. Сопротивление фильтрующего элемента плюс сопротивление коробки, воздухозаборника, воздуховыпускного отверстия и интерфейса оборудования — это общее сопротивление, которое действительно должен преодолеть вентилятор.

При расчете этого счета вам необходимо получить данные сопротивления H14 при целевом объеме воздуха, а затем сравнить их с кривой PQ вентилятора EFU. Если новая рабочая точка отклонилась от диапазона, соответствующего целевой скорости ветра, это означает, что уровень выбора не соответствует, и обсуждение регулировки скорости в настоящее время не имеет большого значения.

Несколько направлений, когда пространство ограничено

Площадь фильтра ЭФУ ограничена отверстием оборудования, что является жестким ограничением. Когда объема воздуха недостаточно, направления, которые можно оценить, примерно следующие:

Замените фильтрующим элементом конструкции с большей эффективной площадью фильтрации. При одинаковых размерах сопротивление может быть разным за счет регулировки складок или формы конструкции. При условии, что позволяет внутренняя глубина оборудования.

Отрегулируйте конфигурацию вентилятора. Учитывая допустимую высоту и электрические условия оборудования, оцените, имеются ли варианты вентиляторов с более высоким статическим давлением. Однако следует отметить, что увеличение мощности вентилятора не означает решения проблемы – если узкое место находится в воздухозаборном пространстве или заблокировано воздуховыпускное отверстие, эффект от замены вентилятора будет ограничен.

Оптимизируйте внутренний воздушный путь оборудования. Проверьте, не заблокировано ли впускное отверстие для воздуха кабелями или воздухопроводами, а также обращена ли сторона выпуска воздуха к деталям конструкции, образуя обратный поток. Этот тип изменения обычно не требует замены деталей, но требует сотрудничества завода-изготовителя оборудования для корректировки конструкции.

Еще раз проверьте целевую область. Если структура оборудования определяет, что EFU может покрывать только некоторые области, вы можете рассмотреть возможность сужения целевого диапазона, чтобы EFU мог сосредоточиться на обслуживании наиболее чувствительных мест и обрабатывать остальные области отдельно.

Ни один из этих путей не обязательно является правильным, это зависит от реальных ограничений оборудования. Главное — сначала определить, где находится узкое место, а затем выбрать направление.

Логика обработки отличается от логики FFU.

на потолке Блок фильтра-вентилятора FFU имеет относительно просторное пространство, хорошие условия на входе воздуха и дополнительные средства для решения проблем с объемом воздуха. EFU устанавливается в оборудование, а доступная высота, пространство для воздухозаборника и путь обслуживания определяются заранее, что оставляет гораздо меньше возможностей для модификации.

Поэтому на этапе выбора ЭФУ необходимо прояснить: какую высоту может обеспечить оборудование, где находится воздухозаборник, какие препятствия есть вокруг и какая скорость ветра требуется в целевом районе. Чем более полными являются эти входные данные, тем лучше на этапе чертежа можно определить, можно ли использовать H14 или необходимо изменить структуру. Нет необходимости ждать установки прототипа, чтобы обнаружить, что объем воздуха недостаточен.

О пакете EFU от Aili Industrial

Ай Ли Индастриал Вентиляционный фильтр со стороны оборудования EFU имеет сверхтонкую структуру и небольшой размер, а также может сочетаться с воздушные фильтры HEPA/ULPA , а вентиляторы, двигатели, системы управления и фильтры собираются в одной производственной системе. Используются Это означает, что сопротивление фильтрующего элемента, статическое давление вентилятора и доступное пространство для оборудования можно рассчитать вместе на этапе планирования, вместо того, чтобы искать проблемы после установки всей машины.

Для оборудования, которое уже находится в эксплуатации и требует перевода на H14, могут быть предоставлены чертежи оборудования, доступные высоты, целевые объемы воздуха и существующие параметры EFU, чтобы облегчить принятие решения о необходимости корректировки выбора фильтрующего элемента или необходимости оптимизации внутреннего воздушного пути оборудования. Учитывая положение уплотнительной конструкции резервуара для жидкости, размер интерфейса также можно проверить вместе. Подробную информацию см. Инструкции по герметизации бака с жидкостью HEPA .