EFUでH14フィルターを使用した後、風量が不足した場合はどうすればよいですか?

装置側 EFU を H14 に交換すると、半導体装置のマッチングでよくある風量不足が発生します。 EFUはクリーンルームの天井にあるFFUとは異なり、装置内に設置されるため、移動できるスペースが非常に限られており、処理の考え方も異なります。

結論から先に話しましょう。最初は急いで速度を調整しないでください。 EFU の空気量が不十分であり、フィルタ抵抗は考えられる原因の 1 つにすぎません。機器の吸気スペース、排気口の障害物、およびエアダクト経路はすべて制限条件となる可能性があります。間違った方向を見て速度を調整しても、多くの場合、問題が後退するだけです。

まずは機器に何が必要かを把握する

EFU は、ウェーハ搬送エリアやキャビティ開口部付近など、装置内の局所的なエリアにサービスを提供します。これらの地域に必要なのは、「大きな風量」ではなく、特定の場所で安定した風速と気流範囲を維持することです。。

したがって、最初のステップは EFU 自体の風量数値を見るのではなく、機器図面に戻って、対象エリアがどのくらいの範囲をカバーする必要があるか、必要な表面風速はどれくらいか、許容される風速変動はどの程度であるかを確認することです。これらのデータが決定されると、EFU が提供する必要がある空気量と、この空気経路で必要な静圧がどのくらいかを推測できます。

「風量が足りない」という判断の多くは、実はターゲットそのものが定量化されていないことによるもので、元のものより小さいということだけはわかっていて、使用できるほど小さいかどうかはわかりません。

フィルターエレメントの抵抗は、空気経路全体に沿って見る必要があります。

H14 は一般的に H13 よりも高い耐性を持っていますが、それは間違いありません。しかし、EFU の実際に利用可能な静圧はフィルターエレメントだけを考慮したものではありません。

装置内の EFU の場合、吸気口は多くの場合、ラック、ケーブル、可動部品、さらには安全カバーの近くにあります。空気出口側はガイド構造になっている場合や、敏感なエリアに直接面している場合があります。これらは静圧の一部を消費します。フィルターエレメントの抵抗とボックス、空気入口、空気出口、および機器のインターフェースの抵抗を加えたものが、ファンが実際に克服しなければならない合計抵抗です。

この計算を行う際には、目標風量における H14 の抵抗データを取得し、EFU ファンの PQ 曲線と比較する必要があります。新しい動作点が目標風速に対応する範囲から逸脱している場合、それは選択レベルが一致していないことを意味し、この時点で速度調整について議論する意味はほとんどありません。

スペースが限られている場合の複数の方向

EFU のフィルター領域は装置の開口部によって制限され、これは厳しい制約です。風量が足りない場合、評価できる方向性はおおよそ以下のとおりです。

有効濾過面積の大きいフィルターエレメント構造に交換してください。 同じ寸法でもプリーツや構造形状を調整することで抵抗力が変わる場合があります。装置の内部の深さが許す限り。

ファン構成を調整します。 装置の許容高さと電気的条件の下で、より高い静圧を備えたファンのオプションがあるかどうかを評価してください。ただし、ファンの容量を増やしても問題が解決するわけではないことに注意してください。ボトルネックが吸気口スペースにある場合や、排気口が塞がれている場合、ファンを交換しても効果は限定的です。

機器内部の空気経路を最適化します。 空気入口がケーブルや空気配管などでふさがれていないか、空気出口側が構造部品に面していて逆流が生じていないか確認してください。この種の変更には通常、部品の交換は必要ありませんが、構造の調整には設備工場の協力が必要です。

対象エリアを再確認してください。 機器の構造により、EFU が一部のエリアのみをカバーできると判断された場合は、EFU が最も敏感な場所に集中してサービスを提供し、残りのエリアを個別に処理できるように、ターゲット範囲を狭めることを検討できます。

これらのパスのどれも必ずしも正しいわけではなく、機器の実際の制約によって異なります。重要なのは、まずボトルネックがどこにあるのかを確認し、それから方向性を選択することです。

FFUとは処理ロジックが異なります

天井に FFU ファン フィルター ユニットには、比較的十分な上部スペース、良好な吸気条件、および風量の問題に対処するための手段が多数あります。 EFUは装置に組み込まれており、利用可能な高さ、吸気スペース、メンテナンス経路がすべて事前に決定されているため、変更の余地が非常に少なくなります。

したがって、EFU の選択段階では、機器がどのくらいの高さまで対応できるか、吸気口がどこにあるのか、周囲にどのような障害物があるのか​​、対象エリアでどの程度の風速が必要なのかを明確にする必要があります。これらの入力が完全であればあるほど、図面の段階で H14 が使用できるかどうか、または構造を変更する必要があるかどうかをより適切に判断できます。プロトタイプを設置するまで風量不足に気づく必要はありません。

Aili IndustrialのEFUパッケージについて

アイ・リー・インダストリアル EFU装置側ファンフィルタユニットは、 超薄型構造と小型サイズのカスタマイズをサポートしており、次のようなものに合わせることができます。 HEPA/ULPA エア フィルター が使用され、ファン、モーター、制御システム、フィルターが同じ製造システムで適合されています。これは、機械全体を設置した後に問題を振り返るのではなく、計画段階でフィルターエレメントの抵抗、ファンの静圧、利用可能な機器スペースを一緒に計算できることを意味します。

すでに稼働しており、H14 への切り替えが必要な機器については、機器の図面、利用可能な高さ、目標空気量、および既存の EFU パラメーターを提供することで、フィルターエレメントの選択を調整する必要があるか、または機器の内部空気経路を最適化する必要があるかを判断しやすくすることができます。液タンクのシール構造の位置と合わせて界面サイズも併せて確認できます。詳細については、を参照してください。 HEPA をシールする液体タンクの手順 。