EFU에 H14 필터를 사용한 후 공기량이 부족할 경우 어떻게 해야 하나요?

장비측 EFU를 H14로 교체한 후 공기량이 부족한 것은 반도체 장비 매칭의 전형적인 문제입니다. EFU는 클린룸 천정에 있는 FFU와 달리 장비 내부에 설치되어 있어 이동할 수 있는 공간이 매우 제한적이며 가공 아이디어도 다릅니다.

먼저 결론부터 말씀드리겠습니다. 먼저 속도를 조절하려고 서두르지 마세요. EFU 공기량이 부족하고 필터 저항은 가능한 이유 중 하나일 뿐입니다. 장비 공기 흡입구 공간, 공기 배출구 막힘 및 공기 덕트 경로가 모두 제한 조건일 수 있습니다. 잘못된 방향을 보고 속도를 조절하면 문제가 뒤로 미뤄지는 경우가 많습니다.

먼저 장비에서 필요한 것이 무엇인지 파악하십시오.

EFU는 웨이퍼 이송 영역 및 캐비티 개구부 근처와 같은 장비 내부의 국소 영역을 제공합니다. 이들 지역에 필요한 것은 '큰 풍량'이 아니라 특정 위치에서 안정적인 풍속과 기류 범위를 유지하는 것입니다.。

따라서 첫 번째 단계는 EFU 자체의 풍량 수치를 보는 것이 아니라 장비 도면으로 돌아가 대상 영역이 어느 정도 범위를 커버해야 하는지, 필요한 표면 풍속은 얼마인지, 허용 풍속 변동은 얼마인지 확인하는 것입니다. 이러한 데이터가 결정되면 EFU가 제공해야 하는 공기량과 이 공기 경로에 필요한 정압의 양을 추론할 수 있습니다.

'풍량 부족'에 대한 많은 판단은 실제로 목표 자체가 정량화되지 않았기 때문에 발생합니다. 원래보다 작다는 것만 알지만 사용할 수 있을 만큼 작은지 여부는 알 수 없습니다.

필터 요소의 저항은 전체 공기 경로를 따라 관찰되어야 합니다.

H14는 일반적으로 H13보다 저항이 더 높으며 이에 대해서는 의심의 여지가 없습니다. 그러나 EFU의 실제 사용 가능한 정압은 필터 요소에만 국한되지 않습니다.

장비 내부 EFU의 경우 공기 흡입구가 랙, 케이블, 움직이는 부품, 심지어 안전 커버에 가까운 경우가 많습니다. 공기 출구측은 가이드 구조를 가질 수도 있고 민감한 부위를 직접 향할 수도 있습니다. 이것은 정압의 일부를 소모합니다. 필터 요소의 저항과 상자, 공기 흡입구, 공기 배출구 및 장비 인터페이스의 저항을 더한 것이 팬이 실제로 극복해야 하는 총 저항입니다.

이 계정을 계산할 때 목표 풍량에서 H14의 저항 데이터를 얻은 다음 이를 EFU 팬의 PQ 곡선과 비교해야 합니다. 새로운 작동점이 목표 풍속에 해당하는 범위를 벗어났다면 이는 선택 수준이 일치하지 않음을 의미하므로 현재 속도 조정을 논의하는 것은 별 의미가 없습니다.

공간이 제한된 경우 여러 방향

EFU의 필터 면적은 장비 개방에 따라 제한되는데 이는 엄격한 제약입니다. 풍량이 충분하지 않은 경우 평가할 수 있는 방향은 대략 다음과 같습니다.

유효 여과 면적이 더 큰 필터 엘리먼트 구조로 교체하십시오. 동일한 치수에서도 주름이나 구조 형태를 조정하여 저항력이 달라질 수 있습니다. 장비의 내부 깊이가 허용된다면.

팬 구성을 조정합니다. 장비의 허용 높이 및 전기적 조건 하에서 더 높은 정압을 갖는 팬 옵션이 있는지 평가하십시오. 하지만 팬 용량을 늘린다고 해서 문제가 해결되는 것은 아니라는 점에 유의해야 합니다. 공기 흡입구 공간에 병목 현상이 발생하거나 공기 배출구가 막히면 팬 교체 효과가 제한됩니다.

장비의 내부 공기 경로를 최적화하십시오. 공기 입구가 케이블이나 공기 파이프로 막혀 있는지, 공기 출구 쪽이 구조 부품을 향하여 역류가 발생하는지 확인하십시오. 이러한 유형의 변경에는 일반적으로 부품 교체가 필요하지 않지만 구조 조정을 위해 장비 공장의 협력이 필요합니다.

대상 지역을 다시 확인하십시오. 장비 구조에서 EFU가 일부 영역만 다룰 수 있다고 판단하는 경우 EFU가 가장 민감한 위치를 서비스하는 데 집중하고 나머지 영역을 별도로 처리할 수 있도록 대상 범위를 좁히는 것을 고려할 수 있습니다.

이러한 경로 중 어느 것도 반드시 정확할 필요는 없으며 장비의 실제 제약 조건에 따라 다릅니다. 핵심은 먼저 병목 현상이 발생한 위치를 확인한 다음 방향을 선택하는 것입니다.

처리 논리는 FFU와 다릅니다.

천장에 FFU 팬 필터 장치는 상대적으로 충분한 상부 공간, 양호한 공기 흡입구 조건 및 풍량 문제를 처리할 수 있는 더 많은 수단을 갖추고 있습니다. EFU는 장비에 설치되며 사용 가능한 높이, 공기 흡입 공간, 유지 관리 경로가 모두 사전에 결정되므로 수정할 여지가 훨씬 적습니다.

따라서 EFU 선택 단계에서는 장비가 어느 정도의 높이를 제공할 수 있는지, 공기 흡입구는 어디에 있는지, 주변에 장애물은 무엇인지, 대상 지역에서는 어느 정도의 풍속이 필요한지 등을 명확히 해야 합니다. 이러한 입력이 완전할수록 도면 단계에서 H14를 사용할 수 있는지 또는 구조를 변경해야 하는지 여부를 더 잘 결정할 수 있습니다. 공기량이 부족한 것을 발견하기 위해 프로토타입이 설치될 때까지 기다릴 필요가 없습니다.

Aili Industrial의 EFU 패키지 소개

아이 리 산업 EFU 장비측 팬 필터 장치는 초박형 구조와 소형 크기 맞춤화를 지원하며 다음과 일치할 수 있습니다. HEPA/ULPA 공기 필터가 사용되며 팬, 모터, 제어 시스템 및 필터가 동일한 제조 시스템에서 일치합니다. 이는 전체 기계를 설치한 후 문제를 찾기 위해 되돌아보는 대신 필터 요소 저항, 팬 정압 및 사용 가능한 장비 공간을 계획 단계에서 함께 계산할 수 있음을 의미합니다.

이미 작동 중이고 H14로 전환해야 하는 장비의 경우 장비 도면, 사용 가능한 높이, 목표 공기량 및 기존 EFU 매개변수를 제공하여 필터 요소 선택을 조정해야 하는지 또는 장비의 내부 공기 경로를 최적화해야 하는지 쉽게 판단할 수 있습니다. 액체탱크 밀봉 구조의 위치에 따라 인터페이스 크기도 함께 확인할 수 있습니다. 자세한 내용은 다음을 참조하세요. 액체 탱크 밀봉 HEPA 지침 .