¿Qué debo hacer si el volumen de aire es insuficiente después de usar el filtro H14 en la EFU?

Después de reemplazar la EFU del lado del equipo con H14, el volumen de aire es insuficiente, lo cual es un problema típico en la adaptación de equipos semiconductores. A diferencia de la FFU en el techo de la sala limpia, la EFU se instala dentro del equipo y el espacio para moverse es muy limitado y las ideas de procesamiento también son diferentes.

Primero hablemos de la conclusión: no se apresure a ajustar la velocidad primero. El volumen de aire de EFU es insuficiente y la resistencia del filtro es sólo una de las posibles razones. El espacio de entrada de aire del equipo, la obstrucción de la salida de aire y la ruta del conducto de aire pueden ser condiciones limitantes. Mirar en la dirección equivocada y ajustar la velocidad a menudo simplemente hace retroceder el problema.

Primero averigüe qué necesita del equipo.

EFU sirve a áreas locales dentro del equipo, como el área de transferencia de oblea y cerca de la abertura de la cavidad. Lo que estas áreas necesitan no es 'un gran volumen de viento', sino mantener una velocidad del viento estable y una cobertura del flujo de aire en lugares específicos.。

Por lo tanto, el primer paso no es mirar el número de volumen de aire de la EFU en sí, sino volver a los dibujos del equipo para confirmar: cuánto rango debe cubrir el área objetivo, qué velocidad del viento en la superficie se requiere y cuál es la fluctuación permitida de la velocidad del viento. Una vez que se determinan estos datos, podemos inferir cuánto volumen de aire debe proporcionar la EFU y cuánta presión estática se requiere en esta ruta de aire.

Muchas valoraciones sobre 'volumen de aire insuficiente' se deben en realidad al hecho de que el objetivo en sí no está cuantificado; sólo sabemos que es más pequeño que el original, pero no sabemos si es lo suficientemente pequeño como para ser utilizado.

La resistencia del elemento filtrante debe observarse a lo largo de todo el recorrido del aire.

El H14 generalmente tiene mayor resistencia que el H13, de eso no hay duda. Pero la presión estática real disponible de EFU no se refiere únicamente al elemento filtrante.

Para la EFU dentro del equipo, la entrada de aire suele estar cerca del bastidor, los cables, las piezas móviles e incluso la cubierta de seguridad. El lado de salida de aire puede tener una estructura de guía o estar directamente frente a un área sensible. Estos consumirán parte de la presión estática. La resistencia del elemento filtrante más la resistencia de la caja, la entrada de aire, la salida de aire y la interfaz del equipo es la resistencia total que el ventilador realmente tiene que superar.

Al calcular esta cuenta, debe obtener los datos de resistencia de H14 en el volumen de aire objetivo y luego compararlos con la curva PQ del ventilador EFU. Si el nuevo punto de operación se ha desviado del rango correspondiente a la velocidad del viento objetivo, significa que el nivel de selección no coincide y tiene poca importancia discutir el ajuste de la velocidad en este momento.

Varias direcciones cuando el espacio es limitado.

El área de filtrado de la EFU está limitada por la apertura del equipo, lo cual es una restricción estricta. Cuando el volumen de aire no es suficiente, las direcciones que se pueden evaluar son aproximadamente las siguientes:

Reemplácelo con una estructura de elemento filtrante con un área de filtración efectiva más grande. Bajo las mismas dimensiones, la resistencia puede ser diferente ajustando los pliegues o la forma estructural. Siempre que la profundidad interna del equipo lo permita.

Ajuste la configuración del ventilador. Bajo la altura permitida y condiciones eléctricas del equipo, evaluar si existen opciones de ventiladores con mayor presión estática. Sin embargo, cabe señalar que aumentar la capacidad del ventilador no significa resolver el problema: si el cuello de botella está en el espacio de entrada de aire o la salida de aire está bloqueada, el efecto de cambiar el ventilador será limitado.

Optimice el recorrido del aire interno del equipo. Compruebe si la entrada de aire está bloqueada por cables o tuberías de aire y si el lado de salida de aire está orientado hacia las partes estructurales para formar un reflujo. Este tipo de cambio generalmente no requiere el reemplazo de piezas, pero requiere la cooperación de la fábrica del equipo para ajustar la estructura.

Vuelva a comprobar el área objetivo. Si la estructura del equipo determina que la EFU solo puede cubrir algunas áreas, puede considerar reducir el rango objetivo para que la EFU pueda concentrarse en atender las ubicaciones más sensibles y manejar las áreas restantes por separado.

Ninguno de estos caminos es necesariamente correcto, depende de las limitaciones reales del equipo. La clave es primero confirmar dónde está el cuello de botella y luego elegir una dirección.

La lógica de procesamiento es diferente a la de FFU.

sobre el techo La unidad de filtro de ventilador FFU tiene un espacio superior relativamente amplio, buenas condiciones de entrada de aire y más medios para lidiar con los problemas de volumen de aire. La EFU se instala en el equipo y la altura disponible, el espacio de entrada de aire y la ruta de mantenimiento se determinan de antemano, lo que deja mucho menos espacio para modificaciones.

Por lo tanto, en la etapa de selección de EFU es necesario dejar claro: cuánta altura puede proporcionar el equipo, dónde está la entrada de aire, qué obstrucciones hay alrededor y qué velocidad del viento se requiere en el área objetivo. Cuanto más completas sean estas entradas, mejor se podrá determinar en la fase de dibujo si el H14 se puede utilizar o si es necesario cambiar la estructura. No es necesario esperar hasta que se instale el prototipo para descubrir que el volumen de aire es insuficiente.

Acerca del paquete EFU de Aili Industrial

Ai Li industrial La unidad de filtro de ventilador del lado del equipo EFU admite una estructura ultrafina y una personalización de tamaño pequeño, y se puede combinar con Se utilizan filtros de aire HEPA/ULPA y los ventiladores, motores, sistemas de control y filtros se combinan en el mismo sistema de fabricación. Esto significa que la resistencia del elemento filtrante, la presión estática del ventilador y el espacio disponible para el equipo se pueden calcular juntos durante la etapa de planificación, en lugar de mirar hacia atrás para encontrar problemas después de instalar toda la máquina.

Para los equipos que ya están en funcionamiento y deben cambiarse a H14, se pueden proporcionar dibujos del equipo, alturas disponibles, volúmenes de aire objetivo y parámetros EFU existentes para facilitar la evaluación de si es necesario ajustar la selección del elemento filtrante o si es necesario optimizar la ruta de aire interna del equipo. En cuanto a la posición de la estructura de sellado del tanque de líquido, el tamaño de la interfaz también se puede verificar en conjunto. Para más detalles, consulte Instrucciones para el sellado de tanques de líquido HEPA .