ISO 5 クリーン ルームでは H14 を使用する必要がありますか?

「レベル 100 に到達したい場合は、H14 を受講する必要がありますか?」という質問によく遭遇します。

この質問の背後にはよくある混乱があります。部屋の清浄度レベルとフィルター レベルの間には1 対 1 の関係があります。実際、これらは 2 つの異なる標準システムであり、異なる質問に答えます。

ISO 5 は空間内の空気の粒子濃度を記述し、H14 はテスト条件下でのフィルターの性能を記述します。 この 2 つは関連していますが、直接変換することはできません。 ISO 5 では、どのグレードのフィルターを使用する必要があるかについて規定していません。プロジェクトではエアフロー構成が良好なH13を使用するケースが多くありますが、シール性や風量分布が良好でないH14を使用するケースもあります。

2 つの標準セットは何を規定するのでしょうか?

ISO 14644 の清浄度レベルは、空気の単位体積中の粒子の数を評価します。 ISO 5 に達すると、指定されたテスト条件下で 1 立方メートルあたり 0.5μm 以上の粒子が 3520 個以下であることを意味します。これは宇宙の状態を説明したものです。

H13 および H14 は、特定の粒子サイズの粒子に対するフィルターの濾過効率を評価するフィルター効率分類規格に由来しています。試験には風量、発塵方法、検出手段が規定されています。製品の性能についての説明です。

1 つは部屋の受け入れ指数、もう 1 つは製品の工場指数です。プロジェクトで問題が発生した場合、部屋の結果を説明するために製品指標がよく使用されます。フィルター要素は認定されていると報告されますが、部屋は認定されていません。逆に、部屋が標準に達している場合は、フィルターエレメントは良好であると想定されます。これらの推論はどちらも当てはまりません。

ISO5を達成できるかどうかを決めるのはフィルターエレメントだけではありません。

H14を備えていても、お部屋が標準に満たない場合があります。一般的な理由の種類:

エアーの供給量が足りない。 ISO 5 では通常、より多くの空気交換と一方向の流れの適用範囲が必要です。フィルターエレメントのグレードは十分ですが、最終風量が不足しており、粒子の希釈・除去効率が不十分です。

エアフロー構成が無理がある。 空気供給面の不十分な被覆、戻り空気経路の障害、局所的な渦電流または短絡により、特定の場所で粒子濃度が高くなります。この場合、フィルターエレメントのグレードを上げると改善は限られます。

シールがきちんと貼られていない。 ターミナルバイパス空気漏れにより、ろ過されていない空気がクリーンエリアに直接流入します。フィルターエレメントがどんなに高品位であっても、バイパスはそれをバイパスします。このような問題は、現場での漏れ検出を通じて特定する必要があります。具体的なトラブルシューティングの考え方については、液体タンクのシール構造の界面検証方法を参照してください。

汚染源自体は強力です。 プロセス装置、人員の操作、材料の出入りによって発生する粒子負荷がシステムの希釈能力を超える場合、フィルターエレメントのレベルをアップグレードするだけでは解決できません。

H13で十分ですか？

システム設計が適切であれば、H13 は多くの ISO 5 プロジェクトで使用できます。

鍵となるのは、空気供給リンク全体で粒子を制御できるかどうかです。端の空気量が不十分であるか、空気流の範囲が不完全であるか、シールが適切に行われているか、動作中の汚染負荷がどのくらい大きいかなどです。これらの条件が満たされれば、H13 は合理的なシステム設計で ISO 5 を達成することが可能です。逆にH14を装着した場合はシール性やエア量に問題があり、まだ基準に達していませんでした。

したがって、機種選定の際にH13かH14かということを気にするのではなく、対象エリアのパーティクル制御要件は何か、エア供給量はどのくらい必要か、エアの流れをどうするか、端界面のシールをどうするか、どのような状態で合格を判断するかなどを明確にしたほうがよいでしょう。これらは決まっています。フィルター レベルは派生結果であり、前提条件ではありません。

受け入れるには 2 つのことを分離する必要があります

プロジェクト文書には、フィルター製品のグレードと試験の要件、および部屋の清浄度の許容条件の 2 種類の要件を別々に記述することをお勧めします。

このようにして、問題が発生したときに、製品が合意された指標を満たしていないのか、システムの動作状態が設計要件を満たしていないのかを特定できます。併記すると責任の境界は不明確で、調査には方向性がない。

半導体装置などの局所的な領域では、クリーンルーム全体とは状況が異なります。装置端の給気ユニットは装置構造に応じて別途計算する必要があり、工場クリーンルームの構成思想をそのまま適用することはできません。

アイリ産業のクリーンソリューションパッケージについて

アイリー工業生産 HEPA/ULPA エアフィルターとマッチング FFUファンフィルターユニット、EFU装置側ファンフィルタユニット と高効率エア供給口。フィルターとエア供給機器を同一システムでマッチング。最初にフィルタエレメントのグレードを決めてからシステムのマッチングを見つけるのではなく、計画段階でグレードの選択、風量のマッチング、界面のシールを一緒に確認することができます。

ISO 5 プロジェクトの場合は、フィルターレベルとシステム構成のより適切な組み合わせを判断しやすくするために、対象エリア、テストステータス、空気供給量要件、ターミナルインターフェイスを一緒に提供することをお勧めします。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。