Должны ли чистые помещения ISO 5 использовать H14?
Мы часто сталкиваемся с таким вопросом: если мы хотим достичь 100 уровня, обязательно ли брать H14?
За этим вопросом кроется распространённая путаница: между уровнем чистоты помещения и уровнем фильтра существует взаимосвязь один к одному . По сути, это две разные стандартные системы и отвечают на разные вопросы.
ISO 5 описывает концентрацию частиц в воздухе в помещении, а H14 описывает эффективность фильтра в условиях испытаний. Они связаны, но не могут быть преобразованы напрямую. ISO 5 не определяет, какой класс фильтра следует использовать. В проекте много случаев использования H13 с хорошей организацией воздушного потока, а также есть случаи использования H14 без хорошей герметизации и объемного распределения воздуха.
Что регулируют эти два набора стандартов?
Уровень чистоты ISO 14644 оценивает количество частиц в единице объема воздуха. Достижение ISO 5 означает, что при определенных условиях испытаний в кубическом метре содержится не более 3520 частиц размером ≥0,5 мкм. Это описание состояния космоса.
H13 и H14 взяты из стандарта классификации эффективности фильтров, который оценивает эффективность фильтрации частиц определенного размера. В ходе испытания были определены объем воздуха, метод образования пыли и средства обнаружения. Это описание характеристик продукта.
Один из них — это приемочный индекс помещения, а другой — заводской индекс изделия. Когда в проектах возникают проблемы, для объяснения результатов помещения часто используются показатели продукта: фильтрующий элемент считается аттестованным, а помещение - нет; или наоборот, если помещение соответствует нормам, предполагается, что фильтрующий элемент должен быть в порядке. Ни один из этих выводов не верен.
Достижение ISO 5 определяет не только фильтрующий элемент.
Даже если оно оснащено H14, помещение может оказаться не на должном уровне. Распространенные типы причин:
Недостаточный объем подачи воздуха. ISO 5 обычно требует более высоких воздухообменов и однонаправленного потока воздуха. Класс фильтрующего элемента достаточен, но объем воздуха на выходе недостаточен, а эффективность разбавления и удаления частиц недостаточна.
Организация воздушного потока неразумна. Недостаточное покрытие поверхности подачи воздуха, препятствие на пути возврата воздуха, местные вихревые токи или короткие замыкания приведут к тому, что концентрация частиц в определенных местах будет высокой. В этом случае увеличение класса фильтрующего элемента даст ограниченное улучшение.
Уплотнение сделано не правильно. Утечка воздуха через байпас терминала позволяет нефильтрованному воздуху поступать непосредственно в чистую зону. Каким бы качественным ни был фильтрующий элемент, байпас его обойдет. Такие проблемы необходимо обнаруживать путем обнаружения утечек на месте. Конкретные идеи по устранению неполадок см. в методе проверки интерфейса уплотнительной конструкции резервуара для жидкости.
Сам источник загрязнения сильный. Если нагрузка частиц, вызванная технологическим оборудованием, действиями персонала, а также входом и выходом материала, превышает способность системы разбавления, ее невозможно решить простой модернизацией уровня фильтрующего элемента.
Х13 достаточно?
H13 может использоваться во многих проектах ISO 5 при условии наличия конструкции системы.
Ключ заключается в том, может ли весь канал подачи воздуха контролировать частицы: объем воздуха на конце недостаточен, охват воздушного потока неполный, герметичность выполнена хорошо и насколько велика нагрузка загрязнения во время работы. Если эти условия соблюдены, H13 вполне возможно достичь ISO 5 при разумном проектировании системы. Наоборот, при установке Н14 были проблемы с герметизацией и объёмом воздуха, а результат всё равно был не на должном уровне.
Поэтому вместо того, чтобы при выборе модели беспокоиться о H13 или H14, лучше сначала уточнить эти вопросы: каковы требования к ограничению частиц целевой зоны, какой объем подачи воздуха требуется, как организовать поток воздуха, как герметизировать торцевой интерфейс и на каком состоянии должна быть основана приемка. Они полны решимости. Уровень фильтра — это производный результат, а не обязательное условие.
Принятие должно разделять две вещи
В проектном документе рекомендуется отдельно прописывать два типа требований: требования к марке и испытаниям фильтрующего изделия и условия приемки чистоты помещения.
Таким образом, при возникновении проблемы можно ее локализовать – не соответствует ли продукт согласованным показателям или рабочее состояние системы не соответствует проектным требованиям. В целом границы ответственности неясны, а расследование не имеет направления.
Для локальных зон, таких как полупроводниковое оборудование, ситуация отличается от ситуации во всем чистом помещении. Блок подачи воздуха на стороне оборудования должен рассчитываться отдельно в соответствии со структурой оборудования, и идея конфигурации заводского чистого помещения не может быть применена напрямую.
О пакете экологически чистых решений Aili Industrial
Промышленное производство Ай Ли Воздушный фильтр HEPA/ULPA и соответствующие компоненты Фильтрующий вентилятор вентилятора ФФУ、Вентиляционный фильтр со стороны оборудования EFU и высокоэффективный выход для подачи воздуха. Фильтры и оборудование для подачи воздуха объединены в одну систему. Выбор марки, соответствие объема воздуха и уплотнение интерфейса могут быть подтверждены вместе на этапе планирования, вместо того, чтобы сначала определять марку фильтрующего элемента, а затем искать соответствие системы.
Для проектов ISO 5 рекомендуется указать целевую зону, статус испытаний, требования к объему подачи воздуха и интерфейс терминала вместе, чтобы облегчить принятие решения о более подходящей комбинации уровня фильтра и конфигурации системы. Конкретные характеристики зависят от технических данных продукта и результатов приемки проекта.
