Могут ли уровень чистоты и уровень HEPA соответствовать один в один?

Этот вопрос часто возникает при общении по проекту: какому уровню фильтра соответствует ISO 7 и нужно ли ISO 5 оснащать фильтром H14?

При ответе на этот вопрос предполагается, что между двумя наборами уровней существует таблица преобразования. На самом деле нет. Уровень чистоты описывает состояние помещения, а уровень HEPA описывает производительность продукта. Два объекта оценки различны, разделены целым набором системных факторов, таких как объем подачи воздуха, организация воздушного потока, герметизация и управление эксплуатацией.

Если рассматривать их как взаимно однозначное соответствие, это может легко привести к проблемам в двух направлениях: при выборе делать вывод о классе фильтрующего элемента в соответствии с классом помещения, а при принятии использовать отчет о фильтрующем элементе для объяснения результатов в помещении.

О чем говорят эти два набора уровней?

Уровни чистоты (например, ISO 5, ISO 7 и ISO 8 в ISO 14644) оценивают количество частиц в единице объема воздуха, и испытание должно проводиться при определенных состояниях, точках измерения и условиях отбора проб.

Класс HEPA (H13, H14, U15 и т. д.) оценивает эффективность фильтрации частиц определенного размера. В тесте указан объем воздуха, метод образования пыли и средства обнаружения.

Один из них — это индекс приемки пространства, а другой — индекс фабрики продукта. Один и тот же продукт класса HEPA, установленный в разных системах, может давать совершенно разные результаты в помещении; в одном и том же стандартном чистом помещении могут использоваться фильтры разных классов.

Какие переменные находятся между ними?

Предполагая, что целью помещения является определенный уровень чистоты, по крайней мере, эти слои должны быть переданы из фильтра в результат помещения:

Объем подачи воздуха. Частицы контролируются путем разбавления и удаления. Если объем воздуха недостаточен, каким бы хорошим ни был фильтрующий элемент, он не достигнет цели. Количество воздухообменов и охват однонаправленного потока должны быть рассчитаны в процессе проектирования.

Организация воздушного потока. Полное покрытие поверхности подачи воздуха, плавность пути возврата воздуха, наличие завихрений и коротких замыканий напрямую определяет, можно ли эффективно удалять частицы.

Запечатанное состояние. Утечка байпасного воздуха на конце, коробке и трубопроводе позволит нефильтрованному воздуху обходить фильтрующий элемент. Подобные проблемы часто встречаются на конечном интерфейсе. Информацию о методе проверки конструкции уплотнения резервуара для жидкости см. в соответствующих инструкциях по проверке размера ножевой кромки.

Нагрузка загрязнения в условиях эксплуатации. Если частицы, вносимые и выносимые персоналом, оборудованием и материалами, превышают способность системы разбавлять, статическое соответствие не означает динамическое соответствие.

Статус обслуживания. После того, как фильтрующий элемент накапливает пыль, сопротивление увеличивается, а объем воздуха уменьшается. Производительность после работы в течение определенного периода времени может отличаться от исходного состояния.

Проблема с любой из этих переменных может привести к отклонению результатов помещения от ожиданий без изменения самого класса фильтра.

Правильный порядок при выборе

Более безопасный подход — действовать в обратном порядке: сначала уточнить требования к контролю целевой области, затем определить объем подачи воздуха и организацию воздушного потока, затем выбрать вентилятор на основе общего сопротивления воздушного пути и, наконец, определить марку и конструкцию фильтрующего элемента.

В этой последовательности класс фильтрующего элемента является результатом, а не отправной точкой. Если вы сначала устанавливаете уклон, а затем настраиваете систему, легко получить несоответствие, когда уклон достаточен, но объем воздуха недостаточен, или объем воздуха достаточен, но уплотнение отсутствует.

Проекты реконструкции немного сложнее. Вентиляторы, воздуховоды и концы оригинальной системы зафиксированы. Если при замене фильтрующего элемента изменение класса приводит к изменению сопротивления, необходимо вернуться и еще раз проверить, достаточна ли рабочая точка вентилятора. Вы не можете просто посмотреть, можно ли установить фильтрующий элемент.

Данные о приемке должны быть поданы отдельно

В проектном документе рекомендуется два типа требований прописывать раздельно и принимать раздельно:

Сторона фильтра: марка, применимые стандарты, номинальный объем воздуха, протокол испытаний и номер единицы.

Со стороны помещения: объем воздуха, организация воздушного потока, распределение точек измерения, статус испытаний (статический или динамический) и результаты чистоты.

Таким образом, при возникновении проблемы можно определить, не соответствует ли продукт согласованным показателям или рабочее состояние системы не соответствует расчетным условиям. Смешанные в один документ, границы ответственности неясны, а расследование не имеет направления.

Для таких локальных зон внутри полупроводникового оборудования объектом оценки является небольшая среда внутри оборудования, которая отличается от всего чистого помещения. Метод испытаний и условия приемки необходимо определять отдельно в зависимости от конструкции оборудования.

О пакетах решений Aili Industrial

Промышленное производство Ай Ли Воздушный фильтр HEPA/ULPA и соответствующие компоненты Фильтрующий вентилятор вентилятора ФФУ、Вентиляционный фильтр со стороны оборудования EFU и высокоэффективный выход для подачи воздуха. Фильтры и оборудование для подачи воздуха подбираются в одной системе, а выбор марки, соответствие объема воздуха и уплотнение границ раздела могут быть подтверждены вместе на этапе планирования.

Для проектов чистых помещений рекомендуется указать целевую зону, статус испытаний, требования к объему подачи воздуха и интерфейсы терминалов вместе, чтобы облегчить принятие решения о том, как более целесообразно объединить фильтр и систему. Для приложений со стороны оборудования чертежи оборудования, доступная высота и указания по техническому обслуживанию являются важными исходными данными для подтверждения решения. Конкретные характеристики зависят от технических данных продукта и результатов приемки проекта.