Können Reinheitsgrad und HEPA-Wert eins zu eins übereinstimmen?

In der Projektkommunikation stellt sich häufig die Frage: Welcher Filterstufe entspricht ISO 7 und muss ISO 5 mit H14 ausgestattet sein?

Bei dieser Frage wird davon ausgegangen, dass es eine Umrechnungstabelle zwischen den beiden Ebenensätzen gibt. Eigentlich nein. Der Sauberkeitsgrad beschreibt den Zustand des Raums und der HEPA-Wert beschreibt die Produktleistung. Die beiden Bewertungsobjekte sind unterschiedlich und werden durch eine ganze Reihe von Systemfaktoren wie Luftzufuhrvolumen, Luftstromorganisation, Abdichtung und Betriebsführung getrennt.

Wenn man sie als eine Eins-zu-Eins-Entsprechung behandelt, kann dies leicht zu Problemen in zwei Richtungen führen: Bei der Auswahl die Filterelementqualität anhand der Raumbewertung ableiten und bei der Annahme den Filterelementbericht verwenden, um die Raumergebnisse zu erläutern.

Worüber sprechen die beiden Ebenensätze?

Reinheitsstufen (z. B. ISO 5, ISO 7 und ISO 8 in ISO 14644) bewerten die Anzahl der Partikel in einer Luftvolumeneinheit, und der Test muss unter bestimmten Zuständen, Messpunkten und Probenahmebedingungen durchgeführt werden.

Die HEPA-Klasse (H13, H14, U15 usw.) bewertet die Filtrationseffizienz des Filters für Partikel einer bestimmten Partikelgröße. Der Test hat das Luftvolumen, die Stauberzeugungsmethode und die Erkennungsmittel spezifiziert.

Einer ist der Platzakzeptanzindex und der andere ist der Produktfabrikindex. Das gleiche HEPA-Produkt, das in verschiedenen Systemen installiert ist, kann zu völlig unterschiedlichen Raumergebnissen führen. Im gleichen Standard-Reinraum können unterschiedliche Filterqualitäten verwendet werden.

Welche Variablen liegen dazwischen?

Geht man davon aus, dass das Ziel eines Raumes ein bestimmter Sauberkeitsgrad ist, müssen mindestens diese Schichten vom Filter auf das Raumergebnis übertragen werden:

Luftzufuhrvolumen. Partikel werden durch Verdünnung und Entfernung kontrolliert. Wenn die Luftmenge nicht ausreicht, wird das Filterelement, egal wie gut das Filterelement ist, nicht das Ziel erreichen. Die Anzahl der Luftwechsel und die unidirektionale Strömungsabdeckung müssen während des Entwurfsprozesses berechnet werden.

Organisation des Luftstroms. Ob die Luftzufuhroberfläche vollständig abgedeckt ist, ob der Rückluftweg glatt ist und ob Wirbel und Kurzschlüsse vorhanden sind, bestimmt direkt, ob die Partikel effektiv entfernt werden können.

Versiegelter Zustand. Durch die Bypass-Luftleckage am Ende, im Kasten und in der Rohrleitung kann ungefilterte Luft das Filterelement umgehen. Diese Art von Problem tritt häufig an der Endschnittstelle auf. Informationen zur Überprüfungsmethode der Dichtungsstruktur des Flüssigkeitstanks finden Sie in den entsprechenden Anweisungen zur Überprüfung der Messerkantengröße.

Schadstoffbelastung unter Betriebsbedingungen. Wenn die durch Personal, Geräte und Materialien ein- und ausgebrachten Partikel die Verdünnungskapazität des Systems überschreiten, bedeutet statische Compliance nicht automatisch dynamische Compliance.

Wartungsstatus. Nachdem sich im Filterelement Staub angesammelt hat, erhöht sich der Widerstand und das Luftvolumen nimmt ab. Die Leistung kann nach längerer Laufzeit vom Ausgangszustand abweichen.

Ein Problem mit einer dieser Variablen kann dazu führen, dass die Raumergebnisse von den Erwartungen abweichen, ohne dass sich der Filtergrad selbst ändert.

Richtige Reihenfolge bei der Auswahl

Ein sichererer Ansatz besteht darin, umgekehrt vorzugehen: Zuerst die Kontrollanforderungen des Zielbereichs klären, dann das Luftzufuhrvolumen und die Luftstromorganisation bestimmen, dann den Ventilator basierend auf dem Gesamtwiderstand des Luftwegs auswählen und schließlich die Qualität und Struktur des Filterelements bestimmen.

In dieser Reihenfolge ist der Filterelementgrad das Ergebnis und nicht der Ausgangspunkt. Wenn Sie zuerst den Grad festlegen und dann das System konfigurieren, kann es leicht zu einer Abweichung kommen, wenn der Grad ausreichend ist, aber das Luftvolumen nicht ausreicht, oder das Luftvolumen ausreichend ist, aber die Dichtung nicht vorhanden ist.

Renovierungsprojekte sind etwas komplizierter. Die Ventilatoren, Luftkanäle und Enden des Originalsystems sind alle fest montiert. Wenn beim Austausch des Filterelements der Sortenwechsel zu einer Änderung des Widerstands führt, muss noch einmal überprüft werden, ob der Betriebspunkt des Lüfters ausreichend ist. Es ist nicht einfach zu erkennen, ob das Filterelement eingebaut werden kann.

Abnahmedaten sind gesondert zu hinterlegen

Im Projektdokument wird empfohlen, die beiden Arten von Anforderungen getrennt zu verfassen und getrennt zu akzeptieren:

Filterseite: Qualität, geltende Normen, Nennluftvolumen, Prüfbericht und Stückzahl.

Raumseitig: Luftmenge, Luftströmungsorganisation, Messstellenverteilung, Prüfstatus (statisch oder dynamisch) und Sauberkeitsergebnisse.

Auf diese Weise kann beim Auftreten eines Problems festgestellt werden, ob das Produkt die vereinbarten Indikatoren nicht erfüllt oder der Betriebszustand des Systems nicht den Designbedingungen entspricht. In einem Dokument zusammengefasst, sind die Grenzen der Zuständigkeiten unklar und die Untersuchung weist keine Richtung auf.

Für solche lokalen Bereiche innerhalb von Halbleiteranlagen ist das Bewertungsobjekt die kleine Umgebung innerhalb der Anlage, die sich vom gesamten Reinraum unterscheidet. Die Prüfmethode und die Abnahmebedingungen müssen je nach Anlagenstruktur gesondert festgelegt werden.

Über die Lösungspakete von Aili Industrial

Ai Li industrielle Produktion HEPA/ULPA-Luftfilter und passendes Zubehör FFU-Lüfterfiltereinheit、Geräteseitige EFU-Lüfterfiltereinheit und hocheffizienter Luftzufuhrauslass. Filter und Luftversorgungsgeräte werden im selben System aufeinander abgestimmt, und die Auswahl der Sorte, die Anpassung des Luftvolumens und die Schnittstellenabdichtung können während der Planungsphase gemeinsam bestätigt werden.

Bei Reinraumprojekten wird empfohlen, den Zielbereich, den Teststatus, die Anforderungen an das Luftversorgungsvolumen und die Anschlussschnittstellen zusammen anzugeben, um die Beurteilung zu erleichtern, wie Filter und System besser kombiniert werden können. Bei geräteseitigen Anwendungen sind Gerätezeichnungen, verfügbare Höhen und Wartungsanweisungen wichtige Eingaben für die Lösungsbestätigung. Die spezifische Leistung hängt von den technischen Daten des Produkts und den Ergebnissen der Projektabnahme ab.