청정도와 HEPA 수준이 일대일로 대응할 수 있나요?
이 질문은 프로젝트 커뮤니케이션에서 자주 발생합니다. ISO 7은 어떤 필터 수준에 해당하며 ISO 5에는 H14가 장착되어야 합니까?
이 질문에 대한 가정은 두 레벨 세트 사이에 변환 테이블이 있다는 것입니다. 실제로는 그렇지 않습니다. 청결도 수준은 공간의 상태를 나타내며, HEPA 수준은 제품 성능을 나타냅니다. 두 가지 평가 대상은 서로 다르며 공기 공급량, 공기 흐름 구성, 밀봉 및 작동 관리와 같은 전체 시스템 요소 집합으로 구분됩니다.
일대일 대응으로 처리하면 선택 시 방 등급에 따라 필터 요소 등급을 추론하고 수락 시 필터 요소 보고서를 사용하여 방 결과를 설명하는 두 가지 방향에서 쉽게 문제가 발생할 수 있습니다.
두 가지 수준 세트는 무엇에 대해 이야기하고 있습니까?
청정도 수준(예: ISO 14644의 ISO 5, ISO 7 및 ISO 8)은 공기 단위 부피당 입자 수를 평가하며 테스트는 지정된 상태, 측정 지점 및 샘플링 조건에서 수행되어야 합니다.
HEPA 등급(H13, H14, U15 등)은 특정 입자 크기의 입자에 대한 필터의 여과 효율을 평가합니다. 시험에는 풍량, 먼지 발생 방법 및 검출 수단이 명시되어 있습니다.
하나는 공간수용지수이고, 다른 하나는 제품공장지수이다. 서로 다른 시스템에 설치된 동일한 HEPA 등급 제품이라도 완전히 다른 실내 결과를 생성할 수 있습니다. 동일한 표준 클린룸은 다른 필터 등급을 사용할 수 있습니다.
그 사이에는 어떤 변수가 있나요?
방의 대상이 특정 청결도 수준이라고 가정하면 최소한 다음 레이어가 필터에서 방 결과로 전달되어야 합니다.
공기 공급량. 입자는 희석 및 제거를 통해 제어됩니다. 공기량이 부족하면 필터 요소가 아무리 좋아도 목표에 도달하지 못합니다. 공기 변화 횟수와 단방향 흐름 범위는 설계 과정에서 계산되어야 합니다.
공기 흐름 조직. 공기 공급 표면 적용 범위가 완전한지, 복귀 공기 경로가 원활한지, 소용돌이와 단락이 있는지 여부가 입자를 효과적으로 제거할 수 있는지 여부를 직접적으로 결정합니다.
밀봉된 상태. 끝, 상자 및 파이프라인에서 공기 누출을 우회하면 여과되지 않은 공기가 필터 요소를 우회할 수 있습니다. 이런 종류의 문제는 최종 인터페이스에서 흔히 발생합니다. 액체 탱크 밀봉 구조의 검증 방법은 나이프 에지 크기 검증에 대한 관련 지침을 참조하십시오.
작동 조건에서의 오염 부하. 인력, 장비 및 재료에 의해 들어오고 나가는 입자가 시스템의 희석 용량을 초과하는 경우 정적 컴플라이언스가 동적 컴플라이언스를 의미하지는 않습니다.
유지보수 상태. 필터 요소에 먼지가 쌓이면 저항이 증가하고 공기량이 감소합니다. 일정 시간 동안 실행한 후의 성능은 초기 상태와 다를 수 있습니다.
이러한 변수 중 하나에 문제가 있으면 필터 등급 자체를 변경하지 않고도 방 결과가 예상에서 벗어날 수 있습니다.
선택할 때 올바른 순서
더 안전한 접근 방식은 역으로 작업하는 것입니다. 먼저 대상 영역의 제어 요구 사항을 명확히 한 다음 공기 공급량과 공기 흐름 구성을 결정한 다음 공기 경로의 전체 저항을 기반으로 팬을 선택하고 마지막으로 필터 요소의 등급과 구조를 결정합니다.
이 순서에서 필터 요소 등급은 시작점이 아니라 결과입니다. 등급을 먼저 설정한 후 시스템을 구성하게 되면 등급은 충분하지만 풍량이 부족하거나, 풍량은 충분하지만 실링이 제대로 되지 않는 경우가 발생하기 쉽습니다.
개조 프로젝트는 좀 더 복잡합니다. 팬, 공기 덕트 및 원래 시스템의 끝 부분이 모두 고정되어 있습니다. 필터 엘리먼트 교체 시 등급 변화로 인해 저항 변화가 발생하는 경우 다시 돌아가서 팬 작동 지점이 충분한지 다시 확인해야 합니다. 필터 엘리먼트 설치 가능 여부만 볼 수는 없습니다.
합격자료는 별도로 제출해야 함
프로젝트 문서에서는 두 가지 유형의 요구 사항을 별도로 작성하고 별도로 수용하도록 권장합니다.
필터 측: 등급, 적용 규격, 정격 공기량, 테스트 보고서 및 장치별 번호.
방 측면: 공기량, 공기 흐름 구성, 측정 지점 분포, 테스트 상태(정적 또는 동적) 및 청결도 결과.
이를 통해 문제 발생 시 제품이 합의된 지표를 충족하지 못하는지, 시스템 운영 상태가 설계 조건을 충족하지 않는지 판단할 수 있다. 하나의 문서에 뒤섞여 책임의 경계가 불명확하고 수사 방향도 불명확하다.
이러한 반도체 장비 내부의 국부적인 영역의 경우 평가 대상은 전체 클린룸과 다른 장비 내 작은 환경입니다. 시험 방법 및 합격 조건은 장비 구조에 따라 별도로 결정되어야 합니다.
Aili Industrial의 솔루션 패키지 소개
아이 리(Ai Li) 산업 생산 HEPA/ULPA 공기 필터 및 매칭 FFU 팬 필터 장치、EFU 장비측 팬 필터 유닛 및 고효율 공기 공급구. 필터와 공기 공급 장비는 동일한 시스템에서 매칭되며 등급 선택, 풍량 매칭 및 인터페이스 씰링은 계획 단계에서 함께 확인할 수 있습니다.
클린룸 프로젝트의 경우 필터와 시스템을 보다 적절하게 결합하는 방법에 대한 판단을 용이하게 하기 위해 대상 영역, 테스트 상태, 공기 공급량 요구 사항 및 터미널 인터페이스를 함께 제공하는 것이 좋습니다. 장비 측면 적용의 경우 장비 도면, 사용 가능한 높이 및 유지 관리 방향은 솔루션 확인을 위한 중요한 입력입니다. 구체적인 성능은 제품 기술 데이터 및 프로젝트 승인 결과에 따라 달라질 수 있습니다.
