Pourquoi l'EFU a-t-elle besoin d'un filtre chimique adapté ?

L'EFU (Equipment Fan Filter Unit) est généralement installée à l'intérieur de l'équipement ou dans une zone locale de l'équipement pour fournir de l'air propre à la zone de transfert de tranche, à la station d'inspection optique et à la position d'assemblage de précision. Sa configuration standard est un ventilateur et un filtre à particules, chargé de contrôler les particules dans l'air.

Cependant, le filtre à particules ne peut pas gérer la pollution gazeuse à l’intérieur de l’équipement. Plaquettes, lentilles optiques, capteurs, surfaces métalliques de précision, ces objets sensibles n'ont pas seulement peur des particules, mais peuvent aussi avoir peur de certains gaz. Les gaz acides peuvent corroder les circuits métalliques, les gaz alcalins peuvent affecter la résine photosensible et les vapeurs organiques peuvent former un mince film sur la surface. Si l'EFU contrôle uniquement les particules, ces gaz pénétreront dans l'équipement avec l'air fourni et provoqueront des effets néfastes à des endroits critiques. Pour les différences spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la différence entre les filtres chimiques et les filtres HEPA .

D’où vient la pollution gazeuse au niveau des équipements ?

Dans la zone desservie par l’EFU, la pollution gazeuse peut provenir de plusieurs directions.

Libération de matière à l'intérieur de l'appareil. Les joints, lubrifiants, câbles, pièces structurelles en plastique et adhésifs peuvent libérer des traces de matière organique aux températures de fonctionnement. Ces rejets ne sont généralement pas en concentrations élevées, mais l’espace interne de l’équipement est fermé et les polluants s’accumulent facilement. Pour les méthodes d'investigation spécifiques, veuillez vous référer à de l'opportunité de procéder à un échantillonnage de l'air avant de choisir un filtre chimique . Discutez

Libération du processus. Certains procédés génèrent ou utilisent intrinsèquement des substances gazeuses. Par exemple, le processus de photolithographie peut impliquer des composants alcalins et le processus de nettoyage peut utiliser des solvants organiques. Si ces substances se diffusent à l'intérieur de l'équipement, l'arrivée d'air de l'EFU peut les amener dans des zones sensibles.

entrée externe. L'entrée d'air de l'EFU peut provenir de l'environnement de la salle blanche autour de l'équipement, ou peut être introduite de l'extérieur par des canalisations. S'il y a une pollution gazeuse dans la salle blanche elle-même, ou s'il y a des sources d'émission à proximité de la sortie d'air frais, les apports externes affecteront également l'intérieur de l'équipement.

Opérations de maintenance du personnel. Lors du remplacement des matériaux, du nettoyage des équipements et de la réalisation des opérations de maintenance, une pollution gazeuse peut être introduite ou générée pendant une courte période de temps.

Ce n'est qu'en clarifiant ces sources que nous pourrons déterminer si l'EFU a besoin d'une section de filtre chimique et où la section de filtre doit être placée. Pour une configuration spécifique, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles MAU doit configurer la section de filtration chimique .

Sélection autour des objets de protection de l'appareil

Le fait que l'EFU soit équipé d'un filtre chimique dépend des objets sensibles à l'intérieur de l'appareil.

Équipement semi-conducteur. Pendant le transport, le stockage et le traitement des plaquettes, la surface peut être affectée par une contamination gazeuse. Les gaz acides, les gaz alcalins, les vapeurs organiques et les dopants peuvent causer des problèmes dans différents processus. L'équipement est équipé d'une section de filtration chimique, qui peut réduire la concentration du gaz cible dans l'environnement local.

Équipement d'inspection optique. Si des matières organiques ou des composants corrosifs se déposent sur les surfaces des lentilles, des filtres et des capteurs photoélectriques, la transmission de la lumière ou la précision de détection peuvent être affectées. L'EFU prenant en charge la filtration chimique peut faire face à ce type de pollution gazeuse.

Matériel d'assemblage de précision. Certains contacts métalliques et mécanismes de précision sont sensibles aux gaz corrosifs. Une contamination gazeuse à l'intérieur de l'appareil peut entraîner des modifications de la résistance de contact ou une oxydation de la surface.

Tous les EFU ne nécessitent pas de filtres chimiques. S'il n'y a pas de sources de pollution gazeuse à l'intérieur de l'équipement et que l'apport externe est bien contrôlé, seule la section filtre à particules peut répondre aux exigences. La configuration dépend de la sensibilité de l'équipement, de la source de pollution et des données de détection réelles.

Structure et ventilateur assortis

L’espace côté appareil est souvent restreint. Lors de l'installation d'une section de filtration chimique sur l'EFU, plusieurs conditions doivent être vérifiées.

Espace d'installation. La hauteur, la profondeur et la largeur disponibles à l’intérieur de l’EFU sont limitées. L'épaisseur, la forme et l'interface de la section de filtration chimique doivent correspondre à la structure de l'EFU. L'EFU ultra-mince est équipé d'une couche filtrante chimique, qui peut nécessiter une conception spéciale. Veuillez vous référer à la structure spécifique Discussion sur la question de savoir si l'EFU ultra-mince peut également être équipé d'une couche filtrante chimique .

Résistance et marge du ventilateur. Les sections de filtration chimique augmentent la résistance du système. La capacité du ventilateur EFU à maintenir le volume d'air cible doit être calculée en fonction du point de fonctionnement après avoir ajouté la résistance. Si la marge est insuffisante, il peut être nécessaire d'ajuster la configuration du ventilateur ou d'optimiser la structure de la section filtrante. Pour les méthodes comptables spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la mesure dans laquelle la résistance supplémentaire du filtre chimique augmentera la consommation électrique du ventilateur .

Sceller et contourner. L'espace EFU côté équipement est compact et la structure d'étanchéité doit être fiable. Le contournement du cadre permet à l'air non traité de contourner le matériau filtrant, affectant ainsi la concentration en sortie. Pour les méthodes d'inspection spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la façon de vérifier le contournement du cadre après l'installation du filtre chimique .

Maintenir le chemin. La section du filtre chimique peut avoir un cycle de remplacement différent de celui du filtre à particules. L'espace interne de l'équipement est limité et l'espace de fonctionnement ainsi que le chemin de démontage et d'assemblage pour le remplacement de l'élément filtrant doivent être confirmés pendant la phase de conception. impliquant La solution globale, l'interface et la méthode de maintenance de l'unité de filtre à ventilateur du côté de l'équipement EFU doivent être vérifiées ensemble pendant la phase de planification.

Ordre et coordination des segments de filtrage

Lorsqu'il y a à la fois une section de filtration des particules et une section de filtration chimique dans l'EFU, l'ordre doit être confirmé.

Une séquence courante est la section de filtration chimique avant la section de filtration des particules. De cette manière, la section filtre à particules peut intercepter des traces de poussières pouvant être générées par des produits chimiques et protéger la qualité de l'alimentation en air du terminal. Mais cet ordre n'est pas absolu. Si le milieu chimique est sensible aux poussières, les particules peuvent également être pré-filtrées dans un premier temps puis passer par la section de filtration chimique.

La perte de poudre et le dégazage des milieux chimiques doivent être confirmés. Certains matériaux filtrants chimiques peuvent générer de la poussière ou libérer des traces de composants pendant le fonctionnement. Si la section chimique est placée après le filtre à particules, cette partie des poussières va rentrer directement à l’intérieur de l’équipement. Lors de la sélection, confirmez la compatibilité propre du support. Pour les méthodes de vérification spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la manière de vérifier les exigences de faible dégazage de l'ULPA .

Les deux propriétés sont vérifiées séparément. L'efficacité et l'étanchéité du filtre à particules sont confirmées selon les normes correspondantes ; la concentration de sortie de gaz cible de la section de filtration chimique est testée de manière indépendante. Vous ne pouvez pas effectuer un seul type de test. Pour les méthodes d'échantillonnage spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur les points d'échantillonnage pour la vérification des performances des filtres chimiques .

Exemple de jugement de projet

Il existe un mécanisme de transfert de tranche à l’intérieur d’un certain équipement semi-conducteur. Après un certain temps de fonctionnement, des défauts inconnus ont été découverts à la surface de certaines tranches.

Le contrôle des particules a été vérifié comme étant normal. Plus tard, il a été constaté qu’il y avait des traces de vapeurs organiques à l’intérieur de l’équipement. La source était le lubrifiant et le matériau d’étanchéité à l’intérieur de l’équipement. Les filtres à particules n'ont pas la capacité de traiter ce type de gaz.

Plan d'ajustement : Ajouter une section de filtration chimique des gaz organiques sur le chemin d'alimentation en air de l'équipement EFU. Avant l'installation, l'espace interne de l'EFU, la marge du ventilateur et l'accès de maintenance ont été vérifiés, et une fine structure de filtration chimique a été sélectionnée. Après l'installation, la concentration de vapeur organique à l'intérieur de l'équipement et l'état de surface de la plaquette ont été détectés pour confirmer que l'amélioration était évidente.

Ce cas montre que la pollution gazeuse côté équipement nécessite des solutions de filtration ciblées, qui ne peuvent être résolues par des filtres à particules. impliquant Pour la configuration de la série de produits de filtres chimiques , il est recommandé que la structure de l'équipement, le gaz cible et les conditions de fonctionnement soient fournis au fournisseur pour vérification.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

À propos du package de filtration chimique EFU d’Aili Industrial

L'essentiel du filtre chimique de support EFU est de faire correspondre les caractéristiques de pollution finale de l'équipement, les conditions d'espace et les objectifs de protection, puis de sélectionner le support et la structure correspondants.

Aili Industrial dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir des séries de produits de filtres chimiques et des équipements d'alimentation en air de support. Pour les projets côté équipement, nous pouvons vous aider à vérifier la configuration et l'interface de la section de filtration chimique en fonction de la structure de l'équipement, du gaz cible, du volume d'air et des exigences de maintenance. Lorsque le filtre est associé à l'EFU, au FFU et à d'autres équipements, la résistance, les méthodes de maintenance et les points d'échantillonnage peuvent être uniformément confirmés.

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