Tại sao EFU cần bộ lọc hóa học phù hợp?

EFU (Bộ lọc quạt thiết bị) thường được lắp đặt bên trong thiết bị hoặc ở khu vực cục bộ của thiết bị để cung cấp nguồn không khí sạch cho khu vực chuyển wafer, trạm kiểm tra quang học và vị trí lắp ráp chính xác. Cấu hình tiêu chuẩn của nó là một quạt cộng với bộ lọc hạt, có nhiệm vụ kiểm soát các hạt vật chất trong không khí.

Tuy nhiên, bộ lọc hạt không thể xử lý được ô nhiễm khí bên trong thiết bị. Tấm wafer, thấu kính quang học, cảm biến, bề mặt kim loại chính xác, những vật thể nhạy cảm này không chỉ sợ các hạt mà còn có thể sợ một số loại khí nhất định. Khí axit có thể ăn mòn mạch kim loại, khí kiềm có thể ảnh hưởng đến chất quang dẫn và hơi hữu cơ có thể tạo thành một lớp màng mỏng trên bề mặt. Nếu EFU chỉ kiểm soát các hạt, các khí này sẽ đi vào thiết bị cùng với không khí cung cấp và gây ra các tác động bất lợi tại các vị trí quan trọng. Để biết sự khác biệt cụ thể, vui lòng tham khảo Thảo luận về sự khác biệt giữa bộ lọc hóa học và bộ lọc HEPA .

Ô nhiễm khí ở đầu thiết bị đến từ đâu?

Trong khu vực do EFU phục vụ, ô nhiễm khí có thể đến từ nhiều hướng.

Giải phóng vật liệu bên trong thiết bị. Các vòng đệm, chất bôi trơn, dây cáp, các bộ phận kết cấu bằng nhựa và chất kết dính có thể giải phóng một lượng nhỏ chất hữu cơ ở nhiệt độ vận hành. Các chất thải này thường có nồng độ không cao nhưng không gian bên trong thiết bị lại kín, các chất ô nhiễm dễ tích tụ. Để biết phương pháp điều tra cụ thể, vui lòng tham khảo xem có nên lấy mẫu không khí trước khi chọn bộ lọc hóa học hay không . Thảo luận

Quá trình phát hành. Một số quy trình vốn đã tạo ra hoặc sử dụng các chất khí. Ví dụ, quy trình quang khắc có thể liên quan đến các thành phần kiềm và quy trình làm sạch có thể sử dụng dung môi hữu cơ. Nếu các chất này khuếch tán bên trong thiết bị, nguồn cung cấp không khí EFU có thể đưa chúng đến các khu vực nhạy cảm.

đầu vào bên ngoài. Không khí đi vào EFU có thể đến từ môi trường phòng sạch xung quanh thiết bị hoặc có thể được đưa vào từ bên ngoài thông qua đường ống. Nếu có ô nhiễm khí ngay trong phòng sạch hoặc nếu có nguồn phát thải gần cửa thoát khí trong lành thì đầu vào bên ngoài cũng sẽ ảnh hưởng đến bên trong thiết bị.

Hoạt động bảo trì nhân sự. Khi thay thế vật liệu, làm sạch thiết bị và thực hiện các hoạt động bảo trì, ô nhiễm khí có thể được đưa vào hoặc tạo ra trong một khoảng thời gian ngắn.

Chỉ bằng cách làm rõ các nguồn này, chúng tôi mới có thể xác định xem EFU có cần bộ phận lọc hóa học hay không và nên đặt bộ phận bộ lọc ở đâu. Cấu hình cụ thể vui lòng tham khảo Thảo luận về lý do tại sao MAU cần cấu hình phần lọc hóa học .

Lựa chọn xung quanh đối tượng bảo vệ thiết bị

EFU có được trang bị bộ lọc hóa học hay không phụ thuộc vào các vật thể nhạy cảm bên trong thiết bị.

Thiết bị bán dẫn. Trong quá trình vận chuyển, bảo quản và xử lý các tấm bán dẫn, bề mặt có thể bị ảnh hưởng do ô nhiễm khí. Khí axit, khí kiềm, hơi hữu cơ và chất tạp chất có thể gây ra vấn đề trong các quy trình khác nhau. Thiết bị được trang bị bộ phận lọc hóa học, có thể làm giảm nồng độ khí mục tiêu trong môi trường cục bộ.

Thiết bị kiểm tra quang học. Nếu chất hữu cơ hoặc thành phần ăn mòn đọng lại trên bề mặt thấu kính, bộ lọc và cảm biến quang điện thì độ truyền ánh sáng hoặc độ chính xác của việc phát hiện có thể bị ảnh hưởng. EFU hỗ trợ lọc hóa học có thể giải quyết loại ô nhiễm khí này.

Thiết bị lắp ráp chính xác. Một số điểm tiếp xúc kim loại và cơ cấu chính xác rất nhạy cảm với khí ăn mòn. Ô nhiễm khí bên trong thiết bị có thể gây ra những thay đổi về điện trở tiếp xúc hoặc quá trình oxy hóa bề mặt.

Không phải tất cả EFU đều yêu cầu bộ lọc hóa học. Nếu không có nguồn gây ô nhiễm dạng khí bên trong thiết bị và đầu vào bên ngoài được kiểm soát tốt thì chỉ có phần lọc hạt mới đáp ứng được yêu cầu. Việc có cấu hình hay không tùy thuộc vào độ nhạy của thiết bị, nguồn ô nhiễm và dữ liệu phát hiện thực tế.

Cấu trúc và quạt phù hợp

Không gian phía thiết bị thường chật hẹp. Khi lắp đặt bộ phận lọc hóa học vào EFU, cần phải kiểm tra một số điều kiện.

Không gian lắp đặt. Chiều cao, chiều sâu và chiều rộng có sẵn bên trong EFU bị hạn chế. Độ dày, hình dạng và giao diện của phần lọc hóa học phải phù hợp với cấu trúc EFU. EFU siêu mỏng được trang bị lớp lọc hóa học, có thể yêu cầu thiết kế đặc biệt. Hãy tham khảo cấu trúc cụ thể Thảo luận về việc liệu EFU siêu mỏng có thể được trang bị lớp lọc hóa học hay không .

Lực cản và biên độ quạt. Phần lọc hóa học làm tăng sức đề kháng của hệ thống. Liệu quạt EFU có thể duy trì lượng không khí mục tiêu hay không cần được tính toán dựa trên điểm làm việc sau khi thêm lực cản. Nếu biên độ không đủ, có thể cần phải điều chỉnh cấu hình quạt hoặc tối ưu hóa cấu trúc phần bộ lọc. Để biết phương pháp kế toán cụ thể, vui lòng tham khảo Thảo luận về việc điện trở tăng thêm của bộ lọc hóa học sẽ làm tăng mức tiêu thụ điện của quạt đến mức nào .

Niêm phong và bỏ qua. Không gian EFU ở phía thiết bị nhỏ gọn và cấu trúc bịt kín phải đáng tin cậy. Bỏ qua khung cho phép không khí chưa được xử lý đi qua vật liệu lọc, ảnh hưởng đến nồng độ đầu ra. Để biết các phương pháp kiểm tra cụ thể, vui lòng tham khảo Thảo luận về cách kiểm tra bỏ qua khung sau khi lắp đặt bộ lọc hóa học .

Duy trì đường đi. Phần bộ lọc hóa học có thể có chu kỳ thay thế khác với bộ lọc hạt. Không gian bên trong của thiết bị bị hạn chế, không gian vận hành cũng như đường tháo gỡ và lắp ráp để thay thế phần tử lọc phải được xác nhận trong giai đoạn thiết kế. liên quan đến Giải pháp tổng thể, giao diện và phương pháp bảo trì của bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU cần được kiểm tra cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch.

Lọc thứ tự và phối hợp phân khúc

Khi có cả phần lọc hạt và phần lọc hóa học trong EFU thì cần phải xác nhận đơn hàng.

Trình tự chung là công đoạn lọc hóa học trước công đoạn lọc hạt. Bằng cách này, phần lọc hạt có thể chặn một lượng bụi có thể được tạo ra bởi môi trường hóa học và bảo vệ chất lượng cung cấp không khí của thiết bị đầu cuối. Nhưng trật tự này không phải là tuyệt đối. Nếu môi trường hóa học nhạy cảm với bụi, các hạt cũng có thể được lọc trước trước rồi mới đi qua phần lọc hóa học.

Sự thất thoát bột và thoát khí của môi trường hóa học phải được xác nhận. Một số vật liệu lọc hóa học có thể tạo ra bụi hoặc giải phóng các thành phần vi lượng trong quá trình vận hành. Nếu bộ phận hóa chất được đặt sau bộ lọc hạt, phần bụi này sẽ xâm nhập trực tiếp vào bên trong thiết bị. Khi chọn, hãy xác nhận tính tương thích rõ ràng của phương tiện. Để biết các phương pháp xác minh cụ thể, vui lòng tham khảo Thảo luận về cách xác minh các yêu cầu về lượng khí thải thấp của ULPA .

Cả hai thuộc tính đều được xác minh riêng biệt. Hiệu quả và độ kín của bộ lọc hạt được xác nhận theo tiêu chuẩn tương ứng; nồng độ khí đầu ra mục tiêu của phần lọc hóa học được kiểm tra độc lập. Bạn không thể chỉ thực hiện một loại thử nghiệm. Để biết phương pháp lấy mẫu cụ thể, vui lòng tham khảo Thảo luận về các điểm lấy mẫu để xác minh hiệu suất của bộ lọc hóa học .

Ví dụ về đánh giá dự án

Có một cơ chế chuyển wafer bên trong một thiết bị bán dẫn nhất định. Sau khi chạy một thời gian, bề mặt của một số tấm bán dẫn đã phát hiện ra những khuyết tật chưa xác định.

Việc kiểm soát hạt đã được kiểm tra là bình thường. Sau đó, người ta phát hiện có một lượng hơi hữu cơ bên trong thiết bị. Nguyên nhân là do chất bôi trơn và vật liệu bịt kín bên trong thiết bị. Bộ lọc hạt không có khả năng xử lý loại khí này.

Phương án điều chỉnh: Thêm bộ phận lọc hóa học cho khí hữu cơ trên đường cấp khí của thiết bị EFU. Trước khi lắp đặt, chúng tôi đã kiểm tra không gian bên trong của EFU, lề quạt và khả năng tiếp cận bảo trì, đồng thời chọn cấu trúc lọc hóa học mỏng. Sau khi lắp đặt, nồng độ hơi hữu cơ bên trong thiết bị và tình trạng bề mặt tấm bán dẫn đã được phát hiện để xác nhận rằng sự cải thiện là rõ ràng.

Trường hợp này cho thấy ô nhiễm khí ở đầu thiết bị cần có các giải pháp lọc có mục tiêu, điều này không thể giải quyết được bằng các bộ lọc hạt. liên quan đến Đối với cấu hình của dòng sản phẩm lọc hóa học , nên cung cấp cấu trúc thiết bị, khí mục tiêu và điều kiện vận hành cho nhà cung cấp để xác minh.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Giới thiệu về gói lọc hóa chất EFU của Aili Industrial

Cốt lõi của bộ lọc hóa học hỗ trợ EFU là phù hợp với các đặc tính ô nhiễm ở đầu thiết bị, điều kiện không gian và mục tiêu bảo vệ, sau đó chọn phương tiện và cấu trúc phù hợp.

Aili Industrial có khả năng sản xuất độc lập về bộ lọc, động cơ, quạt, hệ thống điều khiển và gia công kim loại tấm, đồng thời có thể cung cấp dòng sản phẩm lọc hóa học và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án về mặt thiết bị, chúng tôi có thể hỗ trợ kiểm tra cấu hình và giao diện của phần lọc hóa học dựa trên cấu trúc thiết bị, khí mục tiêu, thể tích không khí và yêu cầu bảo trì. Khi bộ lọc được kết hợp với EFU, FFU và các thiết bị khác, điện trở, phương pháp bảo trì và điểm lấy mẫu có thể được xác nhận thống nhất.

Sản phẩm liên quan:Dòng sản phẩm lọc hóa chất、Bộ lọc hóa học phù hợp FFU、Hộp lọc hóa chất MAU . Cung cấp cấu trúc thiết bị, khí mục tiêu và điều kiện hệ thống khi có nhu cầu giúp xác nhận giải pháp lọc phù hợp. Việc lựa chọn cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.