لماذا يحتاج EFU إلى مرشح كيميائي مطابق؟

عادةً ما يتم تثبيت EFU (وحدة تصفية مروحة المعدات) داخل الجهاز أو في منطقة محلية من الجهاز لتوفير إمداد الهواء النظيف إلى منطقة نقل الرقاقة ومحطة الفحص البصري وموضع التجميع الدقيق. تكوينها القياسي عبارة عن مروحة بالإضافة إلى مرشح الجسيمات، وهو المسؤول عن التحكم في الجسيمات في الهواء.

ومع ذلك، لا يستطيع مرشح الجسيمات التعامل مع التلوث الغازي داخل المعدات. الرقائق والعدسات البصرية وأجهزة الاستشعار والأسطح المعدنية الدقيقة، هذه الأجسام الحساسة لا تخاف من الجسيمات فحسب، بل قد تخاف أيضًا من غازات معينة. قد تؤدي الغازات الحمضية إلى تآكل الدوائر المعدنية، وقد تؤثر الغازات القلوية على مقاوم الضوء، وقد تشكل الأبخرة العضوية طبقة رقيقة على السطح. إذا كانت وحدة EFU تتحكم فقط في الجسيمات، فسوف تدخل هذه الغازات إلى المعدات مع هواء الإمداد وتتسبب في تأثيرات ضارة في المواقع الحرجة. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة الفرق بين المرشحات الكيميائية ومرشحات HEPA .

من أين يأتي التلوث الغازي في نهاية المعدات؟

في المنطقة التي تخدمها EFU، قد يأتي التلوث الغازي من عدة اتجاهات.

إطلاق المواد داخل الجهاز. قد تؤدي الأختام ومواد التشحيم والكابلات والأجزاء الهيكلية البلاستيكية والمواد اللاصقة إلى إطلاق كميات ضئيلة من المواد العضوية في درجات حرارة التشغيل. عادة لا تكون هذه الإطلاقات بتركيزات عالية، ولكن المساحة الداخلية للمعدات تكون مغلقة ومن السهل تراكم الملوثات. لمعرفة طرق التحقيق المحددة، يرجى الرجوع إلى ما إذا كان يجب أخذ عينات من الهواء قبل اختيار مرشح كيميائي . ناقش

الافراج عن العملية. بعض العمليات تولد أو تستخدم بطبيعتها مواد غازية. على سبيل المثال، قد تشتمل عملية الطباعة الحجرية الضوئية على مكونات قلوية، وقد تستخدم عملية التنظيف مذيبات عضوية. إذا انتشرت هذه المواد داخل الجهاز، فقد ينقلها مصدر الهواء EFU إلى المناطق الحساسة.

المدخلات الخارجية. قد يأتي مدخل الهواء إلى وحدة EFU من بيئة الغرفة النظيفة المحيطة بالمعدات، أو قد يتم إدخاله من الخارج عبر خطوط الأنابيب. إذا كان هناك تلوث غازي في الغرفة النظيفة نفسها، أو إذا كانت هناك مصادر انبعاث بالقرب من مخرج الهواء النقي، فإن المدخلات الخارجية سوف تؤثر أيضًا على الجزء الداخلي من المعدات.

عمليات صيانة الموظفين. عند استبدال المواد، ومعدات التنظيف، وإجراء عمليات الصيانة، قد يحدث أو يتولد تلوث غازي لفترة قصيرة من الزمن.

فقط من خلال توضيح هذه المصادر يمكننا تحديد ما إذا كان EFU يحتاج إلى قسم مرشح كيميائي وأين يجب وضع قسم المرشح. للحصول على تكوين محدد، يرجى الرجوع إلى مناقشة سبب حاجة MAU إلى تكوين قسم الترشيح الكيميائي .

التحديد حول كائنات حماية الجهاز

يعتمد ما إذا كان EFU مزودًا بمرشح كيميائي على الأشياء الحساسة داخل الجهاز.

معدات أشباه الموصلات. أثناء نقل وتخزين ومعالجة الرقائق، قد يتأثر السطح بالتلوث الغازي. قد تسبب الغازات الحمضية والغازات القلوية والأبخرة العضوية والمنشطات مشاكل في العمليات المختلفة. تم تجهيز المعدات بقسم ترشيح كيميائي، والذي يمكن أن يقلل من تركيز الغاز المستهدف في البيئة المحلية.

معدات الفحص البصري. إذا ترسبت مادة عضوية أو مكونات مسببة للتآكل على أسطح العدسات والمرشحات وأجهزة الاستشعار الكهروضوئية، فقد تتأثر نفاذية الضوء أو دقة الكشف. يمكن لـ EFU الداعم للترشيح الكيميائي التعامل مع هذا النوع من التلوث الغازي.

معدات التجميع الدقيقة. بعض الاتصالات المعدنية وآليات الدقة حساسة للغازات المسببة للتآكل. قد يتسبب التلوث الغازي داخل الجهاز في حدوث تغييرات في مقاومة التلامس أو أكسدة السطح.

لا تتطلب جميع وحدات EFU مرشحات كيميائية. إذا لم تكن هناك مصادر تلوث غازية داخل المعدات وتم التحكم بشكل جيد في المدخلات الخارجية، فإن قسم مرشح الجسيمات فقط يمكنه تلبية المتطلبات. يعتمد تكوينه على حساسية المعدات ومصدر التلوث وبيانات الكشف الفعلية.

مطابقة الهيكل والمروحة

غالبًا ما تكون المساحة على جانب الجهاز ضيقة. عند تركيب قسم الترشيح الكيميائي لـ EFU، يجب التحقق من عدة شروط.

مساحة التثبيت. الارتفاع والعمق والعرض المتاح داخل EFU محدود. يجب أن يتطابق سمك وشكل وواجهة قسم الترشيح الكيميائي مع هيكل EFU. تم تجهيز وحدة EFU فائقة النحافة بطبقة مرشح كيميائية، والتي قد تتطلب تصميمًا خاصًا. يرجى الرجوع إلى الهيكل المحدد مناقشة حول ما إذا كان من الممكن أيضًا تجهيز EFU الرقيق جدًا بطبقة مرشح كيميائي .

المقاومة وهامش المروحة. تعمل أقسام الترشيح الكيميائي على زيادة مقاومة النظام. يجب حساب ما إذا كانت مروحة EFU يمكنها الحفاظ على حجم الهواء المستهدف بناءً على نقطة العمل بعد إضافة المقاومة. إذا كان الهامش غير كاف، فقد يكون من الضروري ضبط تكوين المروحة أو تحسين هيكل قسم المرشح. لمعرفة طرق المحاسبة المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة مدى زيادة المقاومة المضافة للمرشح الكيميائي في استهلاك المروحة للكهرباء .

الختم والتجاوز. مساحة EFU على جانب المعدات مدمجة، ويجب أن يكون هيكل الختم موثوقًا به. يسمح تجاوز الإطار للهواء غير المعالج بتجاوز مادة المرشح، مما يؤثر على تركيز المخرج. لمعرفة طرق التفتيش المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة حول كيفية التحقق من تجاوز الإطار بعد تركيب المرشح الكيميائي .

الحفاظ على المسار. قد يكون لقسم المرشح الكيميائي دورة استبدال مختلفة عن مرشح الجسيمات. المساحة الداخلية للمعدات محدودة، ويجب تأكيد مساحة التشغيل ومسار التفكيك والتجميع لاستبدال عنصر المرشح أثناء مرحلة التصميم. تنطوي لوحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU معًا أثناء مرحلة التخطيط. يجب التحقق من الحل الشامل والواجهة وطريقة الصيانة

تصفية ترتيب القطعة وتنسيقها

عندما يكون هناك قسم لترشيح الجسيمات وقسم لترشيح المواد الكيميائية في وحدة EFU، يجب تأكيد الأمر.

التسلسل الشائع هو قسم الترشيح الكيميائي قبل قسم ترشيح الجسيمات. بهذه الطريقة، يمكن لقسم مرشح الجسيمات اعتراض كميات ضئيلة من الغبار التي قد تتولد عن طريق الوسائط الكيميائية وحماية جودة مصدر الهواء الطرفي. لكن هذا الترتيب ليس مطلقا. إذا كان الوسط الكيميائي حساسًا للغبار، فيمكن أيضًا ترشيح الجزيئات مسبقًا أولاً ثم المرور عبر قسم الترشيح الكيميائي.

يجب التأكد من فقدان المسحوق وإطلاق الغازات من الوسائط الكيميائية. قد تولد بعض مواد الترشيح الكيميائي غبارًا أو تطلق مكونات ضئيلة أثناء التشغيل. إذا تم وضع القسم الكيميائي بعد مرشح الجسيمات، فإن هذا الجزء من الغبار سيدخل مباشرة إلى داخل الجهاز. عند التحديد، تأكد من التوافق النظيف للوسائط. لمعرفة طرق التحقق المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة حول كيفية التحقق من متطلبات إطلاق الغازات المنخفضة لـ ULPA .

يتم التحقق من كلا الخاصيتين بشكل منفصل. يتم تأكيد كفاءة وختم مرشح الجسيمات وفقًا للمعايير المقابلة؛ يتم اختبار تركيز مخرج الغاز المستهدف لقسم الترشيح الكيميائي بشكل مستقل. لا يمكنك إجراء نوع واحد فقط من الاختبارات. للحصول على طرق محددة لأخذ العينات، يرجى الرجوع إلى مناقشة نقاط أخذ العينات للتحقق من أداء المرشح الكيميائي .

مثال حكم المشروع

توجد آلية نقل الرقاقة داخل بعض معدات أشباه الموصلات. وبعد التشغيل لفترة من الوقت، تم العثور على عيوب غير معروفة على سطح بعض الرقائق.

تم فحص التحكم في الجسيمات ليكون طبيعيًا. وفي وقت لاحق، تبين وجود كمية ضئيلة من البخار العضوي داخل المعدات. وكان المصدر هو مادة التشحيم ومواد الختم الموجودة داخل المعدات. لا تتمتع مرشحات الجسيمات بالقدرة على التعامل مع هذا النوع من الغاز.

خطة التعديل: إضافة قسم الترشيح الكيميائي للغازات العضوية على مسار إمداد الهواء الخاص بالمعدات EFU. قبل التثبيت، تم فحص المساحة الداخلية لوحدة EFU وهامش المروحة والوصول إلى الصيانة، وتم اختيار هيكل ترشيح كيميائي رقيق. بعد التثبيت، تم الكشف عن تركيز البخار العضوي داخل المعدات وحالة سطح الرقاقة للتأكد من أن التحسن كان واضحا.

توضح هذه الحالة أن التلوث الغازي في نهاية المعدات يتطلب حلول ترشيح مستهدفة، والتي لا يمكن حلها بواسطة مرشحات الجسيمات. تنطوي لتكوين سلسلة منتجات المرشح الكيميائي ، يوصى بتوفير هيكل المعدات والغاز المستهدف وظروف التشغيل إلى المورد للتحقق منها.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

حول حزمة الترشيح الكيميائي EFU من Aili Industrial

جوهر المرشح الكيميائي الداعم EFU هو مطابقة خصائص التلوث النهائي للمعدات، وظروف المساحة وأهداف الحماية، ثم تحديد الوسائط والهيكل المطابقين.

تتمتع Aili Industrial بقدرات تصنيع مستقلة في مجال المرشحات والمحركات والمراوح وأنظمة التحكم ومعالجة الصفائح المعدنية، ويمكنها توفير سلسلة منتجات المرشحات الكيميائية ومعدات إمداد الهواء الداعمة. بالنسبة للمشاريع المتعلقة بالمعدات، يمكننا المساعدة في التحقق من التكوين والواجهة الخاصة بقسم الترشيح الكيميائي استنادًا إلى هيكل المعدات والغاز المستهدف وحجم الهواء ومتطلبات الصيانة. عندما تتم مطابقة المرشح مع EFU وFFU والمعدات الأخرى، يمكن تأكيد المقاومة وطرق الصيانة ونقاط أخذ العينات بشكل موحد.

المنتجات ذات الصلة:سلسلة منتجات الفلتر الكيميائي、FFU مطابقة الفلتر الكيميائي、مرشح كيميائي صندوقي MAU . قم بتوفير هيكل المعدات والغاز المستهدف وظروف النظام عند الاستفسار للمساعدة في تأكيد حل الترشيح المناسب. يخضع الاختيار المحدد للوثائق الفنية ونتائج الاختبار التي يؤكدها المشروع.